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[发明专利]孔径测量装置-CN201310377325.7在审
发明人：许媛 -专利权人：常州华尔澜工具有限公司
申请日： 2013-08-27 - 公布日： 2015-03-18 - 主分类号： G01B5/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种孔径测量装置，包括筒体，筒体的圆周壁上对称设有一对径向孔，各个径向孔中滑动配合一个触头，触头的一端伸入到筒体的轴向孔中，触头的另一端从位于筒体圆周壁面上的径向孔的孔口穿出，触头伸入到筒体的轴向孔的端部设有斜面本发明可准确测量孔径，并且不会对孔壁产生伤害。
孔径测量装置

[发明专利]孔径测量装置-CN202110031524.7在审
发明人：李青;李赫然;廖民安;王耀君;范少荣;胡恒广 -专利权人：河北光兴半导体技术有限公司;东旭光电科技股份有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2021-01-11 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： G01B5/12 文献下载
摘要：本公开涉及一种孔径测量装置，用于测量待测孔的尺寸，该孔径测量装置包括移动组件、检测装置、至少两个接触件，接触件的底端设置有用于与待测孔的孔壁相抵触第一触头，移动组件用于在向下移动时驱动两个第一触头相互远离地张开，以使两个第一触头均与待测孔的孔壁相抵触，检测装置用于测量移动组件的滑动距离。通过上述孔径测量装置，在对待测孔进行测量过程中，不需要人为对待测孔的内径进行找准，具有测量速度快、测量精准度高的优点。
孔径测量装置

[发明专利]孔径测量装置-CN202110895212.0有效
发明人：吴贤龙;蔡明元 -专利权人：南京泰普森自动化设备有限公司
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： G01B21/10 文献下载
摘要：本申请公开了一种孔径测量装置，该孔径测量装置包括：柱状体，该柱状体固定安装于机架上，所述柱状体的径向方向开设有多个沿所述柱状体的轴向方向延伸的安装槽；多个测量组件，该多个测量组件分别安装于多个所述安装槽内，所述测量组件包括沿所述安装槽的延伸方向布置的多个传感器测头；和驱动组件，该驱动组件安装于所述柱状体上且与所述测量组件传动连接，用于在测量状态下驱动所述传感器测头从所述安装槽同步伸出，或在非测量状态下驱动所述传感器测头同步收回所述安装槽内根据本申请的技术方案，提供了一种能够同时测量孔结构的直径和圆柱度的测量装置。
孔径测量装置

[实用新型]孔径测量装置-CN201020259151.6有效
发明人：曹艳美;马云青;陈珏然 -专利权人：福群科技集团有限公司
申请日： 2010-06-30 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： G01B5/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种孔径测量装置，包括孔径测量机构、驱动机构、被测工件固定夹具及控制模块，所述孔径测量机构包括一活动测量针、两个固定测量针、测量驱动器、位移传感器，所述测量驱动器用于驱动该活动测量针，使所述活动测量针和两个固定测量针都与待测圆孔内壁接触，所述位移传感器用于检测该活动测量针在孔径测量过程中产生的位移量；所述控制模块与所述位移传感器相连并根据所述位移量计算所述待测圆孔的内径。本实用新型孔径测量装置能精确测量产品孔径的尺寸，且有效避免批锋的产生。
孔径测量装置

[实用新型]孔径测量装置-CN201921176607.X有效
发明人：张阳;刘敏 -专利权人：南京华测达精密机械有限公司
申请日： 2019-07-24 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： G01B5/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种孔径测量装置，包括底座、支撑块、两相对设置在支撑块端壁上的立柱、设置在支撑块底壁用于插入孔槽内的插柱以及百分表，两立柱远离支撑块的一端固定在底座的顶壁上，插柱的底部侧壁相对设有固定检测件以及弹性检测组件固定检测件和弹性检测组件配合检测孔槽的直径，支撑块侧壁设有检测孔，支撑块内设有与检测孔相连通的第一空腔，第一空腔内滑移设有驱动弹性检测组件沿插柱径向伸缩的控制组件，百分表的测头插入检测孔内并与控制组件抵触，第一空腔内设有用于固定百分表测量轴的固定组件；该测量装置可对孔径尺寸较小的工件进行孔距测量，同时可对孔槽内的不同深度进行孔距测量，适用范围广，测量效率高。
孔径测量装置

[发明专利]一种蜗轮内孔及轴肩测量装置-CN201710668582.4有效
发明人：陈卸件;俞兴;洪灵;程旗凯;陈源通;王京;余晓春;朱振;潘浩雷;张庆权;黄小健;陈艳丽;金璐;洪丰 -专利权人：浙江硕和机器人科技有限公司
申请日： 2017-08-07 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G01B11/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种蜗轮内孔及轴肩测量装置，包括底座和相间隔的设置在底座上的孔径测量装置和轴肩测量装置，所述孔径测量装置包括孔径测量仪和测量底座，所述孔径测量仪包括光发射头和光接收头以及呈长条装的座板。本发明的蜗轮内孔及轴肩测量装置，通过孔径测量装置的设置，便可以有效的测量蜗轮转轴上的孔的孔径，而通过轴肩测量装置的设置，便可以有效的测量蜗轮转轴上的蜗轮体的轴肩，如此便能够有效的实现测量误差小，且测量效率高的效果
一种蜗轮测量装置

[实用新型]一种蜗轮内孔及轴肩测量装置-CN201720981099.7有效
发明人：陈卸件;俞兴;洪灵;程旗凯;陈源通;王京;余晓春;朱振;潘浩雷;张庆权;黄小健;陈艳丽;金璐;洪丰 -专利权人：浙江硕和机器人科技有限公司
申请日： 2017-08-07 - 公布日： 2018-02-16 - 主分类号： G01B11/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蜗轮内孔及轴肩测量装置，包括底座和相间隔的设置在底座上的孔径测量装置和轴肩测量装置，所述孔径测量装置包括孔径测量仪和测量底座，所述孔径测量仪包括光发射头和光接收头以及呈长条装的座板。本实用新型的蜗轮内孔及轴肩测量装置，通过孔径测量装置的设置，便可以有效的测量蜗轮转轴上的孔的孔径，而通过轴肩测量装置的设置，便可以有效的测量蜗轮转轴上的蜗轮体的轴肩，如此便能够有效的实现测量误差小，且测量效率高的效果
一种蜗轮测量装置

[发明专利]一种孔径测量装置-CN202111395798.0在审
发明人：贾清山;张宝华;王叠;胡宝明;黄道军;曹志明;慈泓 -专利权人：中建铁路投资建设集团有限公司
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2022-01-21 - 主分类号： E21B47/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种孔径测量装置，包括底部支撑件、顶部支撑件和连接于底部支撑件和顶部支撑件之间的向下打开向上收缩的孔径测量结构，孔径测量结构包括多个测量支片，多个测量支片的底部相间隔地连接于底部支撑件，多个测量支片的顶部相间隔地连接于顶部支撑件；孔径测量装置还包括固定绳和测量绳，固定绳的底端连接于底部支撑件，测量绳的底端连接于顶部支撑件，固定绳和测量绳上均设置有高度标识层以在孔径测量结构带动顶部支撑件上下移动时显示固定绳和测量绳之间的高度差值以得到孔径值本发明孔径测量装置结构巧妙，使用方便，测量快捷，能够适用于各种场景。
一种孔径测量装置

[实用新型]一种孔径测量装置-CN202122889712.1有效
发明人：贾清山;张宝华;王叠;胡宝明;黄道军;曹志明;慈泓 -专利权人：中建铁路投资建设集团有限公司
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： E21B47/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种孔径测量装置，包括底部支撑件、顶部支撑件和连接于底部支撑件和顶部支撑件之间的向下打开向上收缩的孔径测量结构，孔径测量结构包括多个测量支片，多个测量支片的底部相间隔地连接于底部支撑件，多个测量支片的顶部相间隔地连接于顶部支撑件；孔径测量装置还包括固定绳和测量绳，固定绳的底端连接于底部支撑件，测量绳的底端连接于顶部支撑件，固定绳和测量绳上均设置有高度标识层以在孔径测量结构带动顶部支撑件上下移动时显示固定绳和测量绳之间的高度差值以得到孔径值本实用新型孔径测量装置结构巧妙，使用方便，测量快捷，能够适用于各种场景。
一种孔径测量装置

[发明专利]大数值孔径物镜的波像差拼接测量装置及测量方法-CN202110180217.5有效
发明人：卢云君;唐锋;王向朝;郭福东 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种大数值孔径的物镜波像差测量装置及测量方法，测量装置包含波面测量模块、标准球面反射镜、可提供旋转和倾斜调整的旋转机构。待测物镜置于波面测量模块和标准球面反射镜中间，其光轴与波面测量模块光轴重合。将待测物镜全数值孔径范围内的波前划分为一系列子孔径波前，由旋转机构控制标准球面反射镜实现各子孔径的定位，由波面测量模块对子孔径数据进行测量，通过对子孔径数据进行拼接计算，最终得到待测物镜在全数值孔径范围内的波像差信息同时，通过标定波面测量模块的系统误差，提高了拼接测量精度。本发明具有测量通用性好、测量装置简单、可测的待测物镜数值孔径可扩展的特点，尤其适用于数值孔径N.A为0.9及以上的物镜波像差测量。
数值孔径物镜波像差拼接测量装置测量方法

[发明专利]孔径测量装置及其测量方法-CN200810216020.7有效
发明人：马云青;曹艳美;陈珏然 -专利权人：福群电子（深圳）有限公司
申请日： 2008-09-04 - 公布日： 2009-02-25 - 主分类号： G01B7/13 文献下载
摘要：本发明公开了一种孔径测量装置，包括孔径测量机构、驱动机构、被测工件固定夹具及控制模块，所述孔径测量机构包括一活动测量针、两个固定测量针、测量驱动器、位移传感器，所述测量驱动器用于驱动该活动测量针，使所述活动测量针和两个固定测量针都与待测圆孔内壁接触，所述位移传感器用于检测该活动测量针在孔径测量过程中产生的位移量；所述控制模块与所述位移传感器相连并根据所述位移量计算所述待测圆孔的内径。本发明还公开了一种孔径测量方法。本发明孔径测量装置及其测量方法，能精确测量产品孔径的尺寸，且有效避免批锋的产生。
孔径测量装置及其测量方法

[实用新型]一种测量装置-CN202320909601.9有效
发明人：郭鹏宗;汪加欢;潘童;李果 -专利权人：中复神鹰碳纤维股份有限公司
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01B5/12 文献下载
摘要：本实用新型提供的测量装置，用于测量待测件的尺寸，其包括孔径测量结构和测试平台。其中，孔径测量结构设置于测试平台上，待测件上设置有开孔，待测件的开孔能够套设于孔径测量结构，使得孔径测量结构快速测得待测件的开孔的尺寸。测试平台包括至少一个测距尺，测距尺由孔径测量结构向孔径测量结构的径向外侧延伸，测距尺用于测量待测件的外轮廓与开孔的中心之间的距离。如此，测量装置能够同时测量待测件的孔径、待测件的尺寸以及确定待测件的开孔的中心位置，从而，能够准确定位待测件的开孔中心，有利于简化测量流程，提高测量效率。
一种测量装置

[发明专利]一种对锪窝孔的在线检测装置及检测方法-CN202011473186.4在审
发明人：王伟华;张晋;周新房;许斌;朱晓娇 -专利权人：西安飞机工业（集团）有限责任公司
申请日： 2020-12-15 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： G01B5/12 文献下载
摘要：一种对锪窝孔的在线检测装置及检测方法，含有检测组件、轴套、驱动电机、轴承座，驱动电机通过轴套带动检测组件转动，轴承座通过一个连接角座固定在进给滑台上，该进给滑台受进给电机的驱动，所述的检测组件含有孔探外壳、孔径测量头、孔径尺寸转换针、孔径测量珠、窝深测量锥、孔径测量传感器和窝深测量传感器，将孔径测量头伸入到所需测量的锪窝孔内，通过驱动旋转电机带动检测组件转动，孔径测量头上的孔径测量珠受孔壁挤压，推动孔径尺寸转换针向后移动，孔径测量传感器将孔径尺寸转换针的位移值转换成孔径尺寸输出，将孔径测量头穿过所需测量的锪窝孔内，使窝深测量锥前端的锥面与锪窝的锥面接触，直到孔探外壳前端中心孔的孔壁与产品平面接触，窝深测量传感器将窝深测量锥的压缩位移转换成锪窝深度尺寸输出
一种锪窝孔在线检测装置方法

[发明专利]投影物镜的数值孔径的在线检测装置及方法-CN201810416484.6在审
发明人：苏佳妮;齐月静;卢增雄;杨光华;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2018-05-03 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及光刻机性能参数的检测技术领域，具体涉及一种投影物镜的数值孔径的在线检测装置及方法。本发明旨在解决投影物镜在安装前后检测到的数值孔径存在差异的技术问题。为此目的，本发明提供了一种投影物镜的数值孔径的在线检测装置，该在线检测装置包括能够设置于掩模台上的散射元件、能够设置于工件台上的数值孔径测量装置，光源经过散射元件的散射光束覆盖投影物镜并通过投影物镜投影在数值孔径测量装置上，数值孔径测量装置能够根据散射光束投影在数值孔径测量装置上的投影光束检测投影物镜的数值孔径。本发明的在线检测装置能够对安装完成后的投影物镜的数值孔径进行原位在线、快速测量，从而提高投影物镜的数值孔径检测准确性。
投影物镜数值孔径在线检测装置数值孔径测量散射光束散射元件检测检测技术领域投影物镜投影快速测量投影光束性能参数光刻机掩模光源投影覆盖

[发明专利]贯通孔洞孔径测量装置及贯通孔洞有效孔径测量方法-CN202111301505.8在审
发明人：郑付刚 -专利权人：中国电建集团成都勘测设计研究院有限公司
申请日： 2021-11-04 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： G01B11/12 文献下载
摘要：本发明涉及孔径测量技术领域，尤其是贯穿孔洞有效孔径测量装置及方法；本发明所要解决的技术问题是提供一种测量孔洞孔径更方便的贯通孔洞孔径测量装置，还提供一种计算过程更简单的贯通孔洞有效孔径测量方法。贯通孔洞孔径测量装置，包括激光发射组件和激光显示组件，激光发射组件包括第一支撑架、测量杆和激光发射器，激光显示组件包括第二支撑架和显示板；测量杆可转动地设置在第一支撑架上，测量杆的轴线与测量杆的旋转轴垂直，激光发射器设置在测量杆上并可沿测量杆的长度方向运动；显示板固定在第二支撑架上。
贯通孔洞孔径测量装置有效测量方法

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