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- [实用新型]气体喷淋结构-CN201220222250.6有效
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姜勇
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中微半导体设备(上海)有限公司
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2012-05-16
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2012-12-12
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C23C16/455
- 一种气体喷淋结构,包括:气体喷淋头、第一气体腔、第二气体腔、冷却隔热板;以及至少一个第一气体流道,自第一气体腔向下贯通至化学气相沉积反应腔室,用于将第一反应气体导入反应腔室,其包括上下对接的第一通道部和第三通道部自第二气体腔向下贯通至反应腔室,与第一气体流道平行并分开设置,用于将第二反应气体导入反应腔室,其包括上下对接的第二通道部和第四通道部;其中,第一通道部和第三通道部对接的接口以及第二通道部和第四通道部对接的接口偏离气体喷淋头和冷却隔热板的贴合面本实用新型可以避免反应气体在进入反应腔室前混合并发生化学反应,并且结构简单、加工便利。
- 气体喷淋结构
- [实用新型]喷淋管道结构-CN201520878276.X有效
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2015-11-03
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2017-01-04
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A23N12/02
- 本实用新型涉及管道结构的技术领域,公开喷淋管道结构,包括与水泵的出水端口连接的总管道及若干个分管道,若干个分管道分别与总管道连通,若干个分管道呈并列状间隔布置,各个分管道上分别设有喷头,且喷头与分管道连通,喷淋管道结构运用在清洗果蔬农作物时,喷淋管道结构安装在清洗槽上方,各个分管道位于清洗槽的上方水泵抽取水后,水流经过总管道,流向各个分管道后,再由各个分管道上的喷头喷出,对处在清洗槽内的不同位置果蔬农作物进行清洗
- 喷淋管道结构
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