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[发明专利]厚度检测装置及利用该装置的厚度检测方法-CN201480046738.X有效
发明人：朴喜载;黄映珉;赵泰英 -专利权人： SNU精度株式会社
申请日： 2014-09-23 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明涉及厚度检测装置，本发明的厚度检测装置利用反射光度计(Reflectometer)，其特征在于包括：光源，用于发射光；滤光部，接收从所述光源发射的光后，相对于不同的多个频率选择性地透射所述光而调制为具有强度分布的光，并能调节所述具有强度分布的光的波长宽度；光学系统，将由所述滤光部调制后的光向检测对象侧照射，并且接收从所述检测对象侧反射的光；光检测部，接收通过所述光学系统的光，并获得反射度信息；及控制部，通过设定能够透射所述滤光部的多个频率来调节由所述滤光部调制的光的波长宽度，并且通过比较理论反射度信息和由所述光检测部获得的反射度信息来检测检测对象的厚度，所述理论反射度信息通过数学式建模后预先被储存。
厚度检测装置利用方法

[发明专利]TSV测量装置及测量方法-CN201480018599.X有效
发明人： 黄映珉;金星龙;赵泰英 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2014-03-24 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明公开了能够测量诸如TSV的通孔的TSV测量装置及测量方法。用于测量形成在测量对象物的TSV的TSV测量装置，包括：光源；数字可变光圈部，被提供于从光源照射的光的路径上，并且根据TSV的纵横比(aspect ratio)调节从光源照射的光的照射面积；分束器，以相互垂直的第一方向与第二方向分割并输出通过数字可变光圈部的光，并且结合第一反射光及第二反射光来输出其结合光，其中第一反射光为从配置在第一方向的所述测量对象物反射的光，第二反射光为从配置在第二方向的镜面反射的光；及检测部，利用从分束器引导出的结合光来测量TSV。数字可变光圈部无物理性的移动且对应于TSV的纵横比来选择性地具有相互不同的口径大小的执行光圈功能。
tsv 测量装置测量方法

[发明专利]用于检查液晶的注射情况的方法和装置-CN201610824521.8在审
发明人： 黄映珉;金宰湖;金兑昱;李锺勋 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2016-09-13 - 公布日： 2017-08-18 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：公开了一种用于检查液晶的注射情况的方法和装置，其中具有被注射在上基板与下基板之间的液晶的液晶盒被局部挤压，并且由此挤压度改变，使得可以基于该挤压度来检查液晶的注射情况。为此，检查液晶的注射情况的方法包括挤压步骤，以预设压力在挤压位置处挤压液晶盒；测量步骤，测量液晶盒在挤压步骤中挤压的挤压位置处的挤压度；以及检查步骤，将液晶盒的挤压度与预设参考变形度进行比较。在检查步骤中，如果液晶盒的挤压度在预设参考变形度的误差范围内，则确定液晶在正常注射情况下，而如果液晶盒的挤压度在预设参考变形度的误差范围之外，则确定液晶在不良注射情况下。
用于检查液晶注射情况方法装置

[发明专利]用于检查液晶的注射情况的方法和装置-CN201610821929.X在审
发明人： 黄映珉;金宰湖;金兑昱;李锺勋 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2016-09-13 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：公开了一种用于检查液晶的注射情况的方法和装置，其中具有注射在上基板与下基板之间的液晶的液晶盒在被光照射的同时局部挤压，使得可以基于来自液晶盒的光泄漏来检查液晶的注射情况。为此，检查注射在液晶盒的上基板与下基板之间的液晶的注射情况的方法包括挤压步骤，以预设压力在挤压位置处挤压液晶盒；照射步骤，通过光照射整个液晶盒或液晶盒的挤压位置；光泄漏测量步骤，在经受挤压步骤和照射步骤的同时测量在挤压位置处穿过液晶盒的光的泄漏；以及检查步骤，将在光泄漏测量步骤中测量的光泄漏与预设参考变化进行比较。
用于检查液晶注射情况方法装置

[发明专利]能够检测颜色信息的三维形状检测装置-CN201480015329.3在审
发明人：赵泰英;黄映珉;金星龙;姜相秀;朴喜载 -专利权人： SNU精度株式会社
申请日： 2014-03-17 - 公布日： 2015-12-23 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种能够检测颜色信息的三维形状检测装置，该装置利用干涉光对检测对象的形状进行检测，其特征在于，包括：光源，用于发射光线；光线分割器，用于对从所述光源发射的光线进行反射或对通过检测对象反射的光线进行透射；透镜部，用于使通过所述光线分割器反射的光线聚集到所述检测对象；光线检测部，用于检测从所述检测对象反射的光线；及光线调节部，配置在所述光源和所述光线分割器之间的光路上，用于阻断从所述光源的中心区域发射的光线，从而减弱在所述透镜部中产生的光线的干涉。
能够检测颜色信息三维形状装置

[发明专利]集成式形状测量装置-CN201410323081.9在审
发明人：尹都永;金兑昱;黄映珉;朴喜载 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2014-07-08 - 公布日： 2015-03-18 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成式形状测量装置。其包括：反射干涉仪单元、透射干涉仪单元和光探测器。反射干涉仪单元包括第一光源以及反射干涉仪。反射干涉仪将从第一光源发射的光传输到待测物体和参考镜，基于从待测物体反射的光和参考镜的参考光形成干涉条纹。透射干涉仪单元包括配置为发射单色光的第二光源以及透射干涉仪。透射干涉仪将从第二光源发射的光进行分光，使得一部分光能透射通过待测物体而另一部分光不能透射通过待测物体，基于透射通过待测物体的光和未透射通过待测物体的光形成干涉条纹光。探测器被置于待测物体的上方并且探测所述干涉条纹。在该装置中，根据待测物体的透光率而选择性地使用反射干涉仪单元和透射干涉仪单元中的一者。
集成形状测量装置

[发明专利]利用数字光学技术的厚度检测装置及方法-CN201310311671.5有效
发明人： 黄映珉;赵泰英;金侊乐 -专利权人： SNU精度株式会社
申请日： 2013-07-23 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法。本发明的利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法，包括：光源，用于放射光线；光分束器，用于反射从光源放射的光线或者通过被检测对象反射的光线；透镜部，用于将被光分束器反射的光线汇聚到检测对象；反射型光路变换部，用于有选择地反射从光分束器透射的光线；分光器，用于分析从反射型光路变换部反射的光线以获取所述检测对象的厚度信息。因此根据本发明，提供一种利用光线的反射能够使光损失最小化，并且能够同时检测多个检测区域厚度的利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法。
利用数字光学技术厚度检测装置方法

[发明专利]影像对中方法-CN201080016220.3有效
发明人： 黄映珉;朴喜载;李昌烈;玄昌洪 -专利权人： SNU精度株式会社
申请日： 2010-04-06 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： G01N21/00 文献下载
摘要：本发明涉及影像对中方法，包括：登录阶段，用第一倍率光学系拍摄检测对象后在拍摄到的第一倍率图像中设定欲寻找的检测区域位置并登录为原型图像；拍摄阶段，用倍率比第一倍率高的第二倍率光学系按规定顺序拍摄检测对象而获得目标图像；缩小阶段，将在拍摄阶段获得的目标图像缩小成第一倍率大小并登录为检测图像；匹配阶段，在原型图像中检索检测图像；对中阶段，若通过匹配阶段检测到检测图像则移动第二倍率光学系或检测对象，使之对应于在登录阶段设定的检测区域的位置。这样即使没有光学系的比率转换也能迅速获得最终图像。而在随着检索过程中的移动而登录的目标图像中只显示原型图像的一部分或者不显示时也能获得检测区域位于中央的最终图像。
影像方法

[发明专利]厚度测定方法-CN200880121148.3有效
发明人：朴喜载;黄映珉;安佑正 -专利权人：株式会社SNU精密
申请日： 2008-04-01 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种厚度测定方法，本发明所涉及的厚度测定方法利用干涉计测定层叠在基底层上的对象层的厚度，上述厚度测定方法包括：通过由与上述对象层实质上相同的材质构成并具有相互不同厚度的诸多样品层，获得对于上述样品层厚度的相位差的关系式的步骤；在空气层和基底层的分界面上，求出对于入射到上述基底层的光轴方向的第一干涉信号的步骤；在上述对象层和上述基底层的分界面上，求出对于上述光轴方向的第二干涉信号的步骤；对于上述光轴方向，在实质上相同的高度上，求出上述第一干涉信号的相位和上述第二干涉信号的相位之间的相位差的步骤；以及将上述相位差代入上述关系式来确定上述对象层厚度。
厚度测定方法

[发明专利]厚度测定装置-CN200880106944.X有效
发明人：朴喜载;安祐正;黄映珉;李昌烈;崔智圆 -专利权人：株式会社SNU精密
申请日： 2008-04-02 - 公布日： 2010-08-11 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种厚度测定装置，包括：第一分光器，用于反射或透射从光源照射的光或者由被测对象反射的光；第一透镜部，用于向被测对象会聚光，并生成与所述由被测对象反射到的光存在光路径差的基准光；第二透镜部，用于向被测对象会聚光；干涉光检测器，其与所述第一透镜部相对应形成光路径，并测出通过由所述被测对象反射的光和所述基准光所产生的干涉信号；分光检测器，其与所述第二透镜部相对应形成与通过所述干涉光检测器形成的光路径不同的光路径，并分光由所述被测对象反射的光，以检测出被分光的光的强度和波长；及光路径变换部，有选择地向干涉光检测器或者分光检测器中的其中一侧传送光。第一透镜部和第二透镜部可在光路径上交换位置。
厚度测定装置

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