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- [实用新型]一种钛酸酯改性剂可控流量制备装置-CN201620419569.6有效
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周志培
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周志培
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2016-05-11
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2016-10-05
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B01F15/04
- 本实用新型涉及一种钛酸酯改性剂可控流量制备装置。其技术方案是：原料输送管、流量计、流量控制器，在混合罐的左侧设有温控装置，在混合罐的顶部中心设有搅拌计时装置，在原料输送口上连接有原料输送管，在原料输送管的右端设有流量计，流量计连接流量控制器。本实用新型的有益效果是：本实用新型设有流量控制器，可输入所需原料的输送量，原料输送管包括多根输送管，在每根输送管上设有流量计，流量计将流量信号传输给流量控制器，实现原料定量输送，解决了钛酸酯等原料的添加数量难以成比例的难题，实现多种原料共同输送，提高了效率。
- 一种钛酸酯改性可控流量制备装置
- [发明专利]原料气体供给装置-CN201510493204.8有效
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诸井政幸
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东京毅力科创株式会社
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2015-08-12
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2019-03-05
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C23C16/455
- 在将包含使固体或液体原料气化得到的气体的原料气体供给成膜处理部时正确调节原料气体所含原料的气化流量。将载气供给收纳有原料的原料容器(3)，将包含已气化原料的原料气体与稀释气体一起间断供给原料的成膜处理部(2)。用质量流量测定仪(7)测定原料气体流量M1，从对该流量测定值在原料气体供给期间积分得到的积分值减去对流过质量流量测定仪(7)的载气流量测定值C1在供给期间积分得到的积分值求得原料气化量A。求出取得的气化量A与原料气化量A设定值的偏差分，为了将原料气化量A维持为设定值，将该偏差分作为修正值与载气流量设定值C1相加。为了使载气和稀释气体总流量一定，从稀释气体的流量设定值C2减去该偏差分。
- 原料气体供给装置
- [发明专利]原料气化供给装置-CN201280038133.7有效
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永濑正明;日高敦志;平田薰;土肥亮介;西野功二;池田信一
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株式会社富士金
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2012-06-11
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2014-04-09
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H01L21/205
- 本发明通过能够将加热固体原料或液体原料而生成的原料蒸汽一边使用压力式流量控制装置进行流量控制一边向处理腔室稳定地供给，实现原料的气化供给装置的小型化和半导体产品的品质提高，并且能够容易地进行原料的剩余量管理本发明的原料气化供给装置由以下部分构成：原料箱，储存原料；原料蒸汽供给路，从原料箱的内部空间部将原料蒸汽向处理腔室供给；压力式流量控制装置，夹设在该供给路中，控制向处理腔室供给的原料蒸汽流量；和恒温加热部，将上述原料箱、供给路和压力式流量控制装置加热到设定温度；将在原料箱的内部空间部中生成的原料蒸汽一边通过压力式流量控制装置进行流量控制一边向处理腔室供给。
- 原料气化供给装置
- [实用新型]一种原料供给装置-CN200720070765.8有效
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陈肖科
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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2007-06-08
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2008-04-23
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B24B55/00
- 本实用新型提供一种原料供给装置，用于给清洗装置提供原料，其中，该装置包括一条提供化学品的管路和提供去离子水的管路，这两条管路共同连接到一条管路中以便将混合原料提供给清洗装置；该装置中还包括设置在所述两条管路上的数字流量器，用于测量流经对应管路的原料流量。所述的两条管路均分别设有调节钮，用于调节对应管路的原料流量。所述数字流量器连接一个显示屏，显示屏可以设置在原料供给装置外部，用于显示数字流量器测量的原料流量。本实用新型通过数字计量器可精确测量原料流量且显示在显示屏上。操作员可以精确获知化学品和去离子水的流量，精确调控流量，不仅能彻底清洗晶片表面，还能最大程度减少原料的用量，有效节约生产成本。
- 一种原料供给装置
- [实用新型]原料流量控制装置-CN200620034454.1无效
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穆超碧
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穆超碧
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2006-06-02
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2007-05-16
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C02F1/76
- 一种原料流量控制装置，由原料监测装置和控制装置两部分构成，每一种原料有一套原料监测装置，两种或三种原料就有两套或三套原料监测装置，控制器只一个；所述的原料监测装置是指：每套原料监测装置由原料计量罐，与液位变送器通过输入信号线与控制器连接；所述的控制装置由控制器与显示屏连接，以及通过控制信号线与计量泵连接，计量泵的出料口通过输出管道与二氧化氯发生器连通，再通过阀门与原料计量罐连通。本实用新型计量误差小能够保证二氧化氯发生器投加原料准确，结构简单，成本低。
- 原料流量控制装置
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