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[发明专利]压力传感器-CN202180064327.3在审
发明人：日高敦志;中谷贵纪;平田薰;西野功二;池田信一;深泽政纪 -专利权人：株式会社富士金;日本电产科宝电子株式会社
申请日： 2021-11-02 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01L19/06 文献下载
摘要：本发明提供一种压力传感器(10)，其具备：在内侧具有与流路连通的受压室(C1)的有底筒状的传感器模块(11)，该传感器模块(11)包括与受压室接触的隔膜(11a)；将隔膜(11a)的形变作为压力而输出的压力检测元件(12)；固定于传感器模块的开放侧端部(11c)的外缘并配置在传感器模块(11)的外周侧的基座环(14)；固定于基座环(14)，用于形成隔着隔膜(11a)而与受压室(C1)相向的密封真空室(C2)的密封部件(13)；夹持在基座环(14)与主体(5)之间的衬垫(18)；以及经由衬垫(18)将基座环(14)按压到主体(5)上的按压凸缘(19)。
压力传感器

[发明专利]隔膜阀-CN202080056892.0在审
发明人： 平田薰;永濑正明;日高敦志;森崎和之;井手口圭佑;杉本耕祐;北野真史;西野功二;池田信一 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2020-06-12 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： F16K7/14 文献下载
摘要：本发明提供一种隔膜阀，其具备：阀体(3)，其形成有流路(2)；阀座(4)，其形成于所述流路；金属隔膜(5)，其通过相对于该阀座抵接或远离而开闭所述流路；一对夹持部(6、7)，其分别夹持该金属隔膜的两侧面的周缘部而将所述金属隔膜固定于所述阀体；以及致动器(8)，其使所述金属隔膜相对于所述阀座抵接或者远离，所述金属隔膜的阀座侧面(5a)在除了该阀座侧面与所述夹持部(7)的夹持区域(D‑C)以外的区域、且在被所述夹持区域包围的区域(C)内的至少与所述阀座的接触区域(B‑A)形成有氟树脂涂层。
隔膜

[发明专利]流量控制装置-CN202080024764.8在审
发明人： 平田薰;井手口圭佑;小川慎也;杉田胜幸;永濑正明;西野功二;池田信一;伊藤祐之 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2020-04-16 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种流量控制装置(10)，其具备：控制阀(11)；节流部(12)，其设置于控制阀(11)的下游侧；上游压力传感器(13)，其测定控制阀(11)与节流部(12)之间的压力(P1)；差压传感器(20)，其测定节流部(12)的上游侧与下游侧的差压(ΔP)；以及运算控制电路(16)，其与控制阀(11)、上游压力传感器(13)以及差压传感器(20)连接。
流量控制装置

[发明专利]压力式流量控制装置和流量自诊断方法-CN201780004761.6有效
发明人：永濑正明;平田薰;泽田洋平;杉田胜幸;西野功二;池田信一 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2017-03-23 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种压力式流量控制装置(8)，具备：节流部(2)、节流部上游的控制阀(6)、上游压力检测器(3)和下游压力检测器(4)、以及利用控制阀和节流部之间的流路的压力下降数据和基准压力下降数据对流量控制进行诊断的控制器(7)，在下游压力检测器的下游侧设置有隔断阀(9)，执行流量自诊断功能时，向控制阀和隔断阀发出关闭命令，控制器(7)利用关闭控制阀后的上游压力检测器和下游压力检测器的输出判定是否满足规定的临界膨胀条件，利用满足规定的临界膨胀条件的期间的压力下降数据而对流量控制进行诊断。
压力流量控制装置诊断方法

[发明专利]流量控制装置-CN201780004964.5有效
发明人：平井畅;森崎和之;平田薰;西野功二;池田信一 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2017-02-23 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明所涉及的流量控制装置具有：控制阀；设置于所述控制阀的下游侧的第一流路；第二流路；和设置于所述第一流路和所述第二流路之间的扩张室，所述第二流路设置在与所述第一流路的延长线不同的位置。
流量控制装置

[发明专利]液面计、具备该液面计的气化器以及液面检测方法-CN201780080827.X有效
发明人：日高敦志;中谷贵纪;山下哲;杉田胜幸;平田薰;永濑正明;西野功二;池田信一 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： G01F23/22 文献下载
摘要：本发明提供一种液面计(20)，具备：测温电阻体(R11)；位于其上方的温度测定体(R12)；检测测温电阻体以及温度测定体的温度的温度检测部(27)；以测温电阻体和温度测定体成为预定的温度差的方式，确定流动于测温电阻体的电流值的电流控制部(28)；使确定的电流值的电流流动于测温电阻体的电源部(22)；以及检测液面的位置的液面检测部(29)，液面检测部通过流动于测温电阻体的电流值的预定的一定期间的变化幅度的正负、和变化幅度是否为预定的值以上，从而检测液面相对于测温电阻体的相对位置的变化。由此，能够高精度地检测液面的位置，而不会受到测温电阻体的特性偏差的影响。
液面具备气化以及检测方法

[发明专利]压力式流量控制装置-CN201780015751.2有效
发明人： 平田薰;杉田胜幸;池田信一;西野功二 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2017-07-25 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种压力式流量控制装置(100)，其具备：控制阀(12)；压力传感器(P1)，其设置于控制阀的下游侧；流孔内置阀(16)，其设置于压力传感器的下游侧；以及控制部(5)，其连接到控制阀和压力传感器，流孔内置阀具有：阀机构(15)，其具有用于进行流路的开闭的阀座体和阀体；驱动机构(18)，其驱动阀机构；以及流孔部件(14)，其接近于阀机构而设置，并且具备用于检测阀机构的开闭状态的开闭检测机构(20)，控制部以从开闭检测机构接收检测信号的方式构成。
压力流量控制装置

[发明专利]流体控制系统以及流体控制装置的控制方法-CN201780005089.2有效
发明人： 平田薰;杉田胜幸;泽田洋平;泷本昌彦;西野功二 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2017-04-21 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种流体控制装置，其具备流体控制模块和外部控制模块，流体控制模块具有流路上的控制阀、驱动控制阀的阀驱动电路、流路上的流体测量器、处理从流体测量器输出的信号的第一处理器，外部控制模块具有第二处理器，该第二处理器处理第一处理器输出的信号，第二处理器根据从第一处理器输出的流体测量器的信号输出阀控制信号，阀控制信号不通过第一处理器，而是被直接输入到阀驱动电路，阀驱动电路根据来自第二处理器的阀控制信号，输出驱动控制阀的驱动电压。
流体控制系统以及控制装置方法

[发明专利]浓度检测方法以及压力式流量控制装置-CN201780032276.X有效
发明人：永濑正明;相川献治;平田薰;今井嵩浩;成富哲央;篠原努;松田隆博;西野功二 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2017-09-27 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： G01N9/26 文献下载
摘要：本发明提供一种浓度检测方法，为检测混合气体中所包含的规定气体的浓度的方法，包含：在具备节流部、设置于节流部的上游侧的上游阀以及测量节流部与上游阀之间的压力的压力传感器的压力式流量控制装置中，在节流部的下游侧的压力比节流部的上游侧的压力低的状态下使混合气体从上游阀的上游侧流动的工序；通过压力传感器检测使上游阀从打开变化为关闭之后产生的压力下降特性的工序；以及基于压力下降特性检测混合气体中的规定气体的浓度的工序。
浓度检测方法以及压力流量控制装置

[发明专利]流量控制装置以及使用流量控制装置的异常检测方法-CN201680064955.0有效
发明人：永濑正明;平田薰;泽田洋平;西野功二;池田信一 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2016-12-15 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用具备节流部(12)、上游侧的控制阀(18)、上游侧的第一压力传感器(14)、下游侧的第二压力传感器(24)的流量控制装置(10)和下游阀(24)而进行的异常检测方法，包含使控制阀以及下游阀从打开状态变化为关闭状态的步骤、将控制阀以及下游阀维持着关闭状态而测定上游压力以及下游压力的步骤、和(a)抽出上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻的上游压力作为上游收敛压力，下游压力作为下游收敛压力的步骤及(b)抽出从使控制阀以及下游阀变化为关闭状态的时刻至上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻为止的时间作为收敛时间的步骤之中的至少一方，基于在步骤(a)或(b)中任一步骤所获得的数据与作为基准的值的比较而判断异常的有无。
流量控制装置以及使用异常检测方法

[发明专利]压力式流量控制装置及其异常检测方法-CN201680027495.4有效
发明人：杉田胜幸;西野功二;平田薰;泷本昌彦;池田信一 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2016-09-15 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种压力式流量控制装置，其具备：收缩部，其介于流路上；上游侧压力传感器，其用于检测出所述收缩部的上游侧的流体压力；下游侧压力传感器，其用于检测出所述收缩部的下游侧的流体压力；流量控制阀，其设置在所述上游侧压力传感器的上游侧流路上；以及运算控制回路，其通过根据所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器的各自的检测值控制所述流量控制阀而控制流量，所述运算控制回路在流体不在所述流路内流动的状态下，计算所述上游侧压力传感器的检测值与所述下游侧压力传感器的检测值之差，同时根据计算出的所述差输出压力传感器异常判定用信号。
压力流量控制装置及其异常检测方法

[发明专利]流量控制方法以及流量控制装置-CN201980032448.2在审
发明人： 平田薰;小川慎也;杉田胜幸;西野功二;池田信一 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2019-06-19 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种使用流量控制装置(100)进行的在流量上升时的流量控制方法，流量控制装置(100)具备：设置于流路第一控制阀(6)；设置于第一控制阀的下游侧的第二控制阀(8)；和对第一控制阀的下游侧且第二控制阀的上游侧的流体压力进行测定的压力传感器(3)，流量控制方法包含：(a)在将第二控制阀关闭的状态下，使用压力传感器求出在第一控制阀的下游残留的压力的步骤；和(b)通过基于压力传感器的输出调整第二控制阀的开度，对在第一控制阀下游残留的压力进行控制，在第二控制阀的下游侧以第一流量流动流体的步骤。
流量控制方法以及装置

[发明专利]流量控制方法以及流量控制装置-CN201980025060.X在审
发明人： 平田薰;小川慎也;杉田胜幸;西野功二;池田信一 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种流量控制方法，其使用具备设置于流路的第一控制阀(6)、设置于第一控制阀的下游侧的第二控制阀(8)、和对第一控制阀的下游侧的流体压力进行测定的压力传感器(3)的流量控制装置(100)而进行，所述流量控制方法包含：步骤(a)，基于压力传感器的输出以成为第一流量的方式控制第一控制阀的开度，并且维持打开第二控制阀的状态，从流体以第一流量流动的状态起，关闭第一控制阀的开度；以及步骤(b)，基于压力传感器的输出，通过调整第二控制阀的开度对残留在第一控制阀的下游的压力进行控制，使流体以第二流量在第二控制阀的下游侧流动。
流量控制方法以及装置

[发明专利]压电元件驱动式阀以及流量控制装置-CN201780080823.1有效
发明人：土肥亮介;平田薰;杉田胜幸;川田幸司;西野功二;池田信一 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： F16K31/02 文献下载
摘要：一种压电元件驱动式阀，具备：设置于流路的阀座及离接于阀座的阀体；以及压电元件，所述压电元件驱动式阀被构成为：通过所述压电元件的伸长而移动所述阀体；所述压电元件驱动式阀具备对压电元件的伸长量进行检测的检测机构，检测机构包括应变传感器，阀体的移动量基于应变传感器的输出而检测。
压电元件驱动以及流量控制装置

[发明专利]流量控制装置以及流量控制方法-CN201980008651.6在审
发明人：杉田胜幸;西野功二;安本直史;平田薰;小川慎也;并手口圭佑 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2019-02-15 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种流量控制装置(100)，其具备：设置于流路(1)的控制阀(6)；对通过控制阀(6)控制的流体的流量进行测定的流量测定部(2、3)；以及控制器(7)，控制器(7)构成为：对控制阀(6)的开闭动作进行控制，使得基于从流量测定部输出的信号的测定积分流量((Vn+Vd))与目标积分流量(Vs)一致。
流量控制装置以及方法

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