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[实用新型]反应腔室及半导体加工设备-CN201822131847.X有效
发明人：何中凯;荣延栋;傅新宇;魏景峰 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型提供一种反应腔室及半导体加工设备，包括腔室本体、与腔室本体连接的真空装置、调压管路和/或第一调节阀、和设置于腔室本体内的基座，其中，基座包括承载基片的承载面，并在基座中设置有抽气通道，且抽气通道的一端贯通至承载面上，另一端与真空装置连通；真空装置用于对抽气通道和腔室本体抽气；调压管路的一端与真空装置连接，另一端与腔室本体连通，第一调节阀设置在抽气通道上，调压管路和/或第一调节阀用于调节抽气通道内的压力，使抽气通道内的压力小于腔室本体内的压力本实用新型提供的反应腔室及半导体加工设备能够避免基片在基座上的位置偏移，以及基片被吹起甚至碎裂的情况发生，从而提高基座吸附基片的可靠性。
抽气通道腔室本体真空装置半导体加工设备反应腔室调压本实用新型腔室连通体内承载基片位置偏移碎裂承载面抽气吸附承载贯通

[实用新型]半球内腔超声波加工刀具-CN202020369893.8有效
发明人：尹建华;郝立新 -专利权人：山东聚亿能智能科技有限公司
申请日： 2020-03-20 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： B23D79/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半球内腔超声波加工刀具，包括变幅杆安装装置，所述变幅杆安装装置内安装有变幅杆，所述变幅杆的后端安装有位于所述变幅杆安装装置内的换能器，所述变幅杆的前端伸出所述变幅杆安装装置外安装有工具体，所述工具体的外端设置有伸出所述变幅杆外的加工作用区，所述加工作用区设置为与工件的内腔球面相切接触的加工圆形球面；本实用新型具有结构简单、设计合理、操作便捷等优点，由于工具体上加工圆形球面的设计，能够方便对内腔球面进行加工
半球超声波加工刀具

[实用新型]加工腔焊接一体机-CN201922361411.4有效
发明人：牛清坡 -专利权人：郑州市天正科技发展有限公司
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： B23K37/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了加工腔焊接一体机，包括箱体，还包括设置在所述箱体内的用于对固定机构进行移动的进出料机构，所述进出料机构上端设置有所述固定机构，所述固定机构上方设置有用于对焊接头进行移动的移动机构，所述箱体前侧设置有用于对所述箱体进行封合的封堵机构本实用新型通过进出料机构、固定机构的设置便于对首饰进行取放料及固定，提高了操作的便利性；通过封堵机构、除尘机构的设置使加工过程便于观察，且对产生的烟尘进行吸附，提高了操作环境质量和操作的安全性。
加工焊接一体机

[实用新型]工艺腔室及半导体加工设备-CN201921140460.9有效
发明人：鲁艳成 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-07-19 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种工艺腔室及半导体加工设备，包括腔体、基座和隔热密封组件，其中，基座设置在腔体中，基座包括加热盘和用于支撑加热盘的柱状环体，柱状环体的一端与加热盘的底壁连接，另一端贯穿腔体的底壁，并延伸至腔体的外部本实用新型提供的工艺腔室及半导体加工设备能够使第一密封圈和第二密封圈受到的温度降低，使用寿命增加，维护次数减少，使用成本降低，选择范围扩大，从而提高工艺腔室的密封可靠性。
工艺半导体加工设备

[实用新型]通信腔体出线腔转轴孔加工设备-CN201920159139.9有效
发明人：向玉锋;李建营;石清;宋永祥 -专利权人：东莞市中电爱华电子有限公司
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： B23B41/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种通信腔体出线腔转轴孔加工设备，包括工作台，在所述工作台上设置有安装台，所述安装台的左右两侧均设置有安装座，所述安装座上设置有钻孔装置，两个钻孔装置的钻头呈水平直线设置，两个钻头可通过横移机构驱动往靠近或者远离彼此的方向运动采用本实用新型提供的通信腔体出线腔转轴孔加工设备，通过呈水平直线设置的两个钻孔装置的钻头对位于安装台上的工件同时进行转轴孔的加工，可以有效的提高生产效率和提高转轴孔同轴度。
转轴孔加工设备钻孔装置出线腔钻头腔体本实用新型水平直线安装台安装座通信横移机构生产效率左右两侧同轴度工作台驱动加工

[实用新型]工艺腔室及半导体加工设备-CN201921102089.7有效
发明人：王乐;柳朋亮 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-07-15 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种工艺腔室及半导体加工设备，包括腔室本体、腔室盖、基座和用于产生等离子体的绝缘筒，其中，腔室盖设置在腔室本体的顶部，并在腔室盖上设置有供等离子体进入腔室本体内部的进入开口；绝缘筒设置在腔室盖上，与腔室盖上表面连接，且绝缘筒的内部与进入开口连通；基座设置在腔室本体的内部，并位于进入开口的下方，且进入开口的正投影至少完全覆盖整个基座的正投影。本实用新型提供的工艺腔室及半导体加工设备，能够减少掉落至基座上的加工副产物，从而提高基座吸附衬底的稳定性，减少清理频率，节约人力，提高生产效率。
工艺半导体加工设备

[实用新型]半导体加工设备及其工艺腔室-CN202023164343.1有效
发明人：闫志顺;李晓武;赵福平 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本申请公开一种半导体加工设备及其工艺腔室，属于半导体加工技术领域。所公开的半导体加工设备的工艺腔室，包括第一进气机构(200)、第二进气机构(300)和混合装置，其中：第一进气机构(200)和第二进气机构(300)均与混合装置相连通，混合装置位于工艺腔室(100)中，采用上述技术方案能够解决背景技术中所述的半导体加工设备在加工过程中存在硅片上的薄膜厚度无法达到均匀的问题。
半导体加工设备及其工艺

[实用新型]一种模具型腔加工中心-CN202021557836.9有效
发明人：姜殿平 -专利权人：大连市蒙恩机械制造有限公司
申请日： 2020-07-31 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及模具型腔加工的技术领域，特别是涉及一种模具型腔加工中心，其并通过漏斗的收集回流至空仓内，空仓内沉淀的污垢通过打开排污口排出，通过设置漏斗，便于将使用过的洗涤水循环利用，减少水资源的浪费，通过设置过滤网，便于过滤水中的杂质，防止循环泵堵塞损坏，通过设置多组喷水头，提高型腔的清洗效果，提高清洗效率；包括支柱和工作台，支柱顶端与工作台底端连接；还包括多组第一通孔、箱体、漏斗、水箱、循环泵、第二水管和过滤网，多组第一通孔分别设置在工作台上，箱体底端与工作台顶端连接，箱体内设置有空腔，空腔右端设置有取放口，空腔底端设置有排水孔，取放口与排水孔均与腔室内相通，并且排水孔与多组第一通孔相通。
一种模具加工中心

[实用新型]通信腔体出线腔转轴孔加工设备-CN202021386276.5有效
发明人：朱凌飞 -专利权人：无锡市杭象精密机械有限公司
申请日： 2020-07-15 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： B23B41/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了通信腔体出线腔转轴孔加工设备，包括安装底板，所述安装底板的上表面分别开设有凸形滑槽和卸料孔，所述凸形滑槽的内底壁滑动连接有滑块，所述滑块的上表面固定连接有防护罩，所述防护罩的正面开设有观察窗口该通信腔体出线腔转轴孔加工设备，通过设置防护罩能够对加工设备进行防尘保护的同时防止加工铁屑飞散对人们造成伤害，通过设置滑块能够滑动防护罩，方便人们使用，通过设置观察窗口能够观察加工的效果，从而使该装置具有防尘保护的效果
通信出线转轴加工设备

[实用新型]激光加工头机体内腔冷却装置-CN202021026122.5有效
发明人：杨顺;陈宗枝;彭家豪;丁海;肖新元;张福豪 -专利权人：上海维宏智能技术有限公司;上海维宏电子科技股份有限公司;上海维宏自动化技术有限公司
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： B23K26/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种激光加工头机体内腔冷却装置，包括半导体制冷片、真空压力泵、气体过滤器、第一热交换块、第二热交换块及连接管路，所述的半导体制冷片分别连接第一热交换块和第二热交换块，所述的气体过滤器的进口通过管路与真空压力泵的出口相连接，所述的真空泵的进口与激光加工头机体的内腔相连接。采用了本实用新型的激光加工头机体内腔冷却装置，将现有的激光加工头单纯的水冷模块做修改，将原来冷却激光加工头机体温度改变为冷却激光加工头机体内腔空气，并且增加气体交换和过滤装置，对于激光加工头基本功能没有任何影响通过减少热交换环节，提高散热效率，有效的保护了激光加工头光学镜片的正常工作。装置设计简单，安装方式简单。
激光工头机体冷却装置

[实用新型]精雕加工中心圆腔主轴箱装置-CN202122212323.5有效
发明人：刘金山;王晓阳 -专利权人：广东润星科技有限公司
申请日： 2021-09-13 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B23B19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种精雕加工中心圆腔主轴箱装置，其包括主轴箱主体、左连接件和右连接件，所述主轴箱主体内部开设有圆柱状且呈中空的腔体结构，所述左连接件与所述右连接件设于所述主轴箱主体的两侧。本实用新型的精雕加工中心圆腔主轴箱装置具有结构简单和加工精度高的优点。
加工中心主轴装置

[实用新型]喉腔检测棒的生产加工设备-CN202123361195.7有效
发明人：朱元;匡津 -专利权人：江阴市正卿智能科技有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： B23D15/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了喉腔检测棒的生产加工设备，包括工作台，所述工作台的上表面固定连接有切割机构，所述工作台的上表面且位于切割机构的一侧固定连接有上料机构，所述工作台的上表面且位于上料机构的一侧固定连接有后承机构
检测生产加工设备

[实用新型]结晶器铜管内腔加工机床-CN202222786759.X有效
发明人：顾新南;杨亦南;杨晓;顾桂明 -专利权人：无锡市逸晓机械科技有限公司
申请日： 2022-10-23 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B24B29/08 文献下载
摘要：本实用新型结晶器铜管内腔加工机床，包括操作台、L形支撑板和竖板，L形支撑板横板顶部固定连接有支撑柱，支撑柱顶端固定连接有放置板，放置板两端设置有侧夹板，L形支撑板竖板一侧滑动连接有横板，横板下方设置有压板，有益效果是：本实用新型操作简单，使用方便，可以有效的对各种不同大小的铜管进行夹持固定，进而对其内腔进行加工处理，通过二号弹簧和一号传动板的传动，可以有效的根据不同的通过对对应的侧夹板进行调节，使其有效的根据不同大小型号的铜管进行调节调整
结晶器铜管加工机床

[实用新型]超深型腔机械切削加工设备-CN202223575209.X有效
发明人：林卫华;董远彬;冯连峰 -专利权人：常州优和智能科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： B23Q11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了超深型腔机械切削加工设备，属于切削加工技术领域，本实用新型包括切削台和收集机构，所述切削台的顶部安装有固定机构，所述固定机构的顶部安装有遮挡机构，所述固定机构包括方形板，所述切削台的顶部固定连接有成对的方形板
超深型腔机械切削加工设备

[实用新型]一种髓腔锉加工工装-CN202023316030.3有效
发明人：刘春苗 -专利权人：保定向阳航空精密机械有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： B23Q3/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种髓腔锉加工工装，包括旋转定位盘，其固定在加工机床的工作平台上，在所述旋转定位盘上设有连接块，在所述连接块上设有可拆卸的固定块，在所述固定块上设有斜坡型的定位面，在所述定位面上开有定位孔，定位孔方向朝固定块斜下方，并且定位孔轴线与定位面垂直，定位孔尺寸与髓腔锉的连接柱配合；在所述定位面上还设有定位块，所述定位块尺寸与髓腔锉的定位凹槽配合，所述定位面与旋转定位盘呈45°夹角，所述定位孔轴线与旋转定位盘中心线共面该髓腔锉加工工装能使待加工的髓腔锉工件被精准定位，加工精度高；连接块和固定块连接固定方便，不易被磨损，使用寿命长。
一种髓腔锉加工工装