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- [实用新型]一种ALD镀膜装置-CN202121001415.2有效
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刘争辉;钱丽娟
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中国计量大学
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2021-05-11
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2021-12-03
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C23C16/455
- 本实用新型公开了一种ALD镀膜装置,包括进料装置、镀膜装置,所述进料装置包括步进电机、滚珠丝杠、连接板、气缸、安装台、样品槽、进料腔,所述镀膜装置包括缓冲隔离腔、外腔、前躯体存储器、匀气板、进气法兰、出气法兰,所述步进电机固定在外腔内壁,电机与滚珠丝杠相连,样品槽固定在安装台上,进料腔固定于外腔侧面,所述缓冲隔离腔位于外腔内部,前躯体存储器和进气法兰均安装在外腔底面,并与缓冲隔离腔相通,出气法兰安装在外腔侧面将待镀样品固定在样品槽内部,利用滚珠丝杠和气缸的协调作用依次对样品进行如下循环操作:通入前躯体A,吹扫氮气,通入前躯体B,吹扫氮气,整个镀膜过程高效有序。
- 一种ald镀膜装置
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