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[发明专利]源、掩模和投影光学装置的优化流程-CN201110353099.X有效
发明人：徐端孚;陈洛祁;冯函英;R·C·豪威尔;周新建;陈逸帆 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2011-11-09 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种源、掩模和投影光学装置的优化流程。本发明的实施例提供用于优化光刻投影设备的方法，所述方法包括优化其中的投影光学装置。当前的实施例包括几个流程，包括优化源、掩模和投影光学装置和各种连续的且迭代的优化步骤，其将投影光学装置、掩模和源任意组合。投影光学装置有时被广义地称作为“透镜”，因此优化过程可以用术语源掩模透镜优化来表示。源掩模透镜优化可能相对于已有的源掩模优化过程或其它优化过程是被期望的，该其它的优化过程不包括投影光学装置优化，部分原因在于将投影光学装置包括在优化中可能通过引入投影光学装置的多个可调节的特性导致更大的过程窗口投影光学装置可以用于对光刻投影设备中的波前成形，使得能够对整个成像过程进行像差控制。
投影光学装置优化流程

[发明专利]一种光学头中光学系统的优化方法-CN200710075381.X无效
发明人：程雪岷;马建设;闫霜;毛乐山;孙满龙;杨明生;潘龙法;张布卿;王烁石 -专利权人：清华大学深圳研究生院;东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2007-08-01 - 公布日： 2008-01-16 - 主分类号： G11B7/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学头中光学系统的优化方法，属于光存储技术领域。本发明包括以下步骤：A.根据光学系统的初步设计结果模拟光路，基于传统像差理论，采用第一像质评价函数，对光学系统进行优化，达到衍射极限；B.在满足基于像差理论的优化极限下，以光学系统中光路元件状态检测的灵敏度为优化的目标二次优化光学系统本发明由于在采用第一像质评价函数，对光学系统进行优化，达到衍射极限后；再以光学系统中光路元件状态检测的灵敏度为优化的目标二次优化光学系统。所以可以使光学头检测灵敏度满足控制系统要求，提高不同光学头中光学系统的设计与优化效率。
一种光学光学系统优化方法

[发明专利]光学智能优化方法、装置、设备、介质-CN202310395541.8有效
发明人：娄洪伟;盛磊;赵伟超;韩金波 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G06F30/27 文献下载
摘要：本发明涉及光学智能优化领域，具体提供了一种光学智能优化方法、装置、计算机设备以及可读存储介质，根据预先配置的光学智能优化代理模型算法、试验设计和深度学习模型构建任务计算图，根据光学系统和代理模型定义子图替换规则，将所述任务计算图按照预设规则分配在中央处理器CPU和图形处理器GPU上，根据子图替换优化搜索方法进行多目标优化，寻找多个最优任务计算图，利用图卷积神经网络GCN算法进行任务计算图优化，对所述CPU和所述GPU执行异构并行加速，当优化算法结果满足预设要求完成光学智能优化，通过缩小搜索空间来提升深度学习计算图优化效率，获得更好的计算图优化性能，提升光学智能优化算法的计算效率。
光学智能优化方法装置设备介质

[发明专利]源、掩模和投影光学装置的优化-CN201110353096.6有效
发明人：冯函英;曹宇;叶军 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2011-11-09 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及源、掩模和投影光学装置的优化。本发明的实施例提供了用于优化光刻投影设备的方法，所述方法包括优化其中的投影光学装置，且优选地包括优化源、掩模和投影光学装置。投影光学装置有时被广义地称为“透镜”，因此联合的优化过程可以用术语“源掩模透镜优化”表示。源掩模透镜优化相对于已有的源掩模优化过程是期望的，部分原因在于将投影光学装置包括在优化中可能通过引入投影光学装置的多个可调节的特性而导致更大的过程窗口。投影光学装置可以用于对光刻投影设备中的波前成形，使得能够对整个成像过程进行像差控制。根据此处的实施例，可以通过迭代地利用使用传递交叉系数的偏导数的泰勒级数展开或线性拟合算法加快所述优化。
投影光学装置优化

[发明专利]一种光学系统面形误差相互补偿优化方法-CN201410028165.X有效
发明人：李艳秋;刘晓林 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2014-01-21 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明提供一种光学系统面形误差相互补偿优化方法，具体步骤为：首先建立了不同光学表面类型的面形误差对光学系统的波像差影响的近似解析关系式，使得在优化光学元件的旋转角度时，不需考虑光学结构进行光线追击计算，而独立于光学结构直接解析计算获得面形误差对系统波像差影响；其次将各视场点由面形误差产生的波像差的加权平均值作为优化设计的误差函数；最后优化所有光学元件的旋转角度，获取误差评价函数最小时所对应的各光学元件的旋转角度作为最优装配的旋转角度，实现光学系统面形误差相互补偿优化。利用方法大大提高了光学系统装配效率。
一种光学系统误差相互补偿优化方法

[发明专利]基于多组膜系协同优化策略的光学系统偏振像差优化设计方法-CN202211541551.X在审
发明人：贺文俊;贾文涛;李晓然 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：基于多组膜系协同优化策略的光学系统偏振像差优化设计方法，属于光学系统像差优化技术领域，为解决现有技术存在的问题，1，利用三维偏振光追迹算法分析光线路径上的偏振信息，并计算光学系统的偏振像差函数；2，构建光学系统偏振像差的评价函数，并根据评价函数值评估偏振像差的优化效果；3，基于遗传算法和粒子群算法构建光学系统偏振像差的优化机制，将膜系的厚度参数选为优化变量，并将每组可行解视为一个新个体；4，基于步骤3的优化机制建立协同优化策略，实现多个光学表面上膜系结构的共同优化；5，根据约束条件和评价函数评估新个体，选择最佳的膜系结构；6，完成新个体的评估后，判断终止条件，计算光学系统的偏振像差和透过率值。
基于多组膜系协同优化策略光学系统偏振设计方法

[发明专利]一种光学接收装置及其优化设计方法-CN202010154417.9在审
发明人：孔令豹;彭星 -专利权人：复旦大学
申请日： 2020-03-07 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： H04B10/116 文献下载
摘要：本发明属于天线技术领域，具体为一种光学接收装置及其优化设计方法。本发明提供的光学接收装置为杯状旋转曲面体；包括内、外曲面和底面，具有三个结构参数：旋转角β，装置的整体高度L’，底部厚度H；本发明对这三个结构参数进行优化处理，优化方法包括Taguchi正交实验法和ANOVA本发明设计的光学接收装置，光学视场角可达100°；光学增益高达11.29，光学接收端的光学接收功率可达6.7496dBm以上，且光斑能量分布均匀。优化方法极大地简化了设计过程，能有效获取光学接收装置的最优化结构参数组合。本发明光学接收装置绿色环保、安装方便、成本低，能够满足室内可见光通信系统的通信需求。
一种光学接收装置及其优化设计方法

[发明专利]一种基于深度神经网络的光学结构优化设计方法-CN202110851199.9在审
发明人：杜庆国;喻佳成;陈志伟;王原丽;李政颖;高雅玙 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2021-07-27 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明属于光学结构设计技术领域，公开了一种基于深度神经网络的光学结构优化设计方法，包括：将待优化的光学结构的参数作为输入，采用基于深度神经网络的光谱预测网络对光谱进行预测；基于预测光谱计算得到目标函数，采用多值自适应粒子群算法对目标函数进行优化，自适应反向寻找优化的光学结构。本发明解决现有技术中光学结构的仿真时间较长、人工调整效率较低以及难以找到全局最优结构参数的问题，能够便捷高效地得到光学属性最优的光学结构。
一种基于深度神经网络光学结构优化设计方法

[发明专利]光学邻近矫正方法及系统、掩模版、设备与存储介质-CN202010849851.9在审
发明人：陈巧丽;孟阳;王英芳 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2020-08-21 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： G06F30/17 文献下载
摘要：本发明提供一种光学邻近矫正方法及系统、掩模版、设备与存储介质，所述光学临近矫正的方法包括：提供光学临近矫正模型，所述光学临近矫正模型包括参数集；基于机器学习方法优化所述参数集，通过机器学习训练，筛选出对局部特征尺寸问题具有影响的优化参数，使所述优化参数及参数值能够针对局部特征尺寸误差进行调整。本发明能够优化光学临近矫正模型中的参数集，使光学临近矫正模型能够对图形特征尺寸局部异常问题产生更佳的矫正效果，并提高光学临近矫正的效率。
光学邻近矫正方法系统模版设备存储介质

[发明专利]对光学计量系统的选定变量进行优化-CN200710135857.4有效
发明人：维·翁;鲍君威 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2007-07-30 - 公布日： 2009-02-04 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：对光学计量系统的选定变量进行优化的系统包括第一制造集群、计量集群、光学计量模型优化器和实时轮廓评估器。第一制造集群处理具有第一图案结构的晶片。第一图案结构具有下覆膜厚度、临界尺寸和轮廓。计量集群包括连接到第一制造集群的光学计量设备。光学计量模型优化器连接到计量集群。计量模型优化器使用离开第一图案结构的测量衍射信号并浮动轮廓参数、材料折射参数和计量设备参数来优化光学计量模型。实时轮廓评估器连接到光学模型优化器和计量集群。实时轮廓评估器使用优化光学计量模型、测量衍射信号和材料折射参数和计量设备参数中至少一个参数的值域内的固定值。
光学计量系统选定变量进行优化

[发明专利]光学系统的自由曲面优化方法、装置和计算机存储介质-CN202110554865.2有效
发明人：于杰;张旭;金春水 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-05-20 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学系统的自由曲面优化方法，包括：以光学系统结构为基础，建立同一自由曲面表达式在不同元件上的第一灵敏度矩阵，以得到灵敏度最高的元件作为自由曲面附加元件；基于光学系统中的不同自由曲面，建立不同自由曲面在自由曲面附加元件上的第二灵敏度矩阵，并确定可在后续优化中使用的优化自由曲面；根据优化自由曲面对应的第二灵敏度矩阵、光学系统的当前像质与预设目标像质的差，求解出优化自由曲面的初始系数，以对光学系统的自由曲面进行优化处理。本发明还公开了一种光学系统的自由曲面优化装置和可读存储介质。本发明实现了自由曲面位置、面型的选取及优化初始值的设置，降低优化难度，提高优化效率和像质的有益效果。
光学系统自由曲面优化方法装置计算机存储介质

[发明专利]基于局部曲率控制的自由曲面光学系统降敏设计方法-CN202211582475.7在审
发明人：孟庆宇;秦子长 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：基于局部曲率控制的自由曲面光学系统降敏设计方法，涉及光学自由曲面设计优化技术领域，解决现有方法需要耗费大量的评价与优化时间，且无法针对光学系统进行优化，导致效率低且具有盲目性等问题，本方法通过对光学系统初始结构进行像质优化；基于局部曲率控制构建误差敏感度评价函数以及误差敏感度评价与优化三个步骤实现，本方法降低光学系统误差敏感度，提高自由曲面光学系统抵抗误差干扰能力的问题。结合了“环‑臂”的参考点采样方式，通过对光瞳采样点处周围微小区域的局部曲率的分析，评价与优化，在保证光学系统成像质量的前提条件之下，实现降低光学系统误差敏感度的需求。
基于局部曲率控制自由曲面光学系统设计方法

[发明专利]一种面向制造性能最优的光学优化方法-CN202211280575.4在审
发明人：庄绪霞;贺金平;王小勇;李妥妥;田国梁;刘晓林;魏久哲;胡蝶 -专利权人：北京空间机电研究所
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：一种面向制造性能最优的光学优化方法，包含以下过程：首先根据光学每个表面的制造偏差量计算像差贡献中心偏离矢量；其次根据像差贡献中心偏离矢量计算系统波像差，并剥离由于偏差项导致的系统波像差；再次，计算近轴主光线和边缘主光线的偏差项波像差，将二者绝对值求和作为制造误差导致的波像差目标优化函数。最后将该函数编写成宏文件，在光学优化设计时将其作为优化目标函数之一进行优化。本发明方法在优化目标中添加了由于制造误差作用下的像差函数，并以此为优化目标之一进行光学设计优化，实现面向制造性能而非标称性能最优的光学系统优化。
一种面向制造性能最优光学优化方法

[发明专利]多层衍射光学元件的优化设计方法-CN201010116822.8无效
发明人：薛常喜;崔庆丰 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2010-03-03 - 公布日： 2010-08-25 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：一种多层衍射光学元件的优化设计方法，属于光学设计技术领域。现有技术并未实现优化设计。本发明包括以下步骤：1、根据多层衍射光学元件的表面微结构高度公式，优化选择构成多层衍射光学元件的光学材料；2、在整个工作波段内，采用不同的设计波长组合，确定出带宽积分平均衍射效率分布；3、在整个工作波段内，确定出最大带宽积分平均衍射效率，以及相应的设计波长；4、将确定出的与最大带宽积分平均衍射效率相应的设计波长代入多层衍射光学元件的表面微结构高度公式，计算得出多层衍射光学元件的优化的表面微结构高度以及优化的衍射效率本发明用于宽波段的成像光学系统的多层衍射光学元件设计，实现了多层衍射光学元件的带宽积分平均衍射效率最大化。
多层衍射光学元件优化设计方法

[发明专利]采用多阶函数调整放大倍数的摄像头制作方法及CMS-CN202211094555.8在审
发明人：郭志友;邓蚁;张业湘;张康;贺晓;谢长鑫;黄翔 -专利权人：广东省三目汽车电子有限公司;佛山市三目智能电子有限公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H04N23/54 文献下载
摘要：所述方法包括以下步骤：依据光学透镜成像原理，构建并优化摄像头的光学透镜组，得到优化后的光学透镜组参数；将标准网格图像数据，代入优化后的光学透镜组参数，得到前期补偿后经过摄像头的光学透镜组放大之后网格图像数据信息；确定水平补偿函数方程和垂直补偿函数方程；依据水平补偿函数方程和垂直补偿函数方程，对摄像头的光学透镜组进行第二次优化；根据第二次优化后的光学透镜组参数，制作摄像头的光学透镜组，并通过标准网格图像进行验证
采用函数调整放大倍数摄像头制作方法 cms

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