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- [实用新型]一种连续直拉单晶装置-CN202220538310.9有效
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刘海;彭亦奇;周子义
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连城凯克斯科技有限公司
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2022-03-11
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2022-09-13
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C30B27/02
- 该连续直拉单晶装置包括长晶炉腔,长晶炉腔内安装有坩埚,长晶炉腔旁安装有电控箱,氩气供应装置,长晶炉腔与通过下料管与加料仓进行连接。本实用新型通过在加料仓底部设置气体导入口,连接氩气供应装置,从而通过该气体导入口向加料仓中通入高纯氩气,使得加料仓内的气压大于长晶炉腔内的气压,从而利用压强差推动所述高纯氩气通过下料管进入到长晶炉腔中。该装置通过向加料仓中通入高纯氩气,使得该高纯氩气可以与硅原料一并通过下料管进入长晶炉腔,从而利用高纯氩气的吹扫作用解决了硅原料在下料管处的堵塞问题,提高了加料系统的稳定性。
- 一种连续直拉单晶装置
- [发明专利]一种净化高纯氩气的装置-CN201410247692.X无效
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梁柱元;梁冬;孙杰;仲红刚;翟启杰
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上海大学
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2014-06-06
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2014-09-10
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C01B23/00
- 本发明涉及一种净化高纯氩气的装置,属气体净化技术领域。该装置包括,由螺旋形电热丝、热电偶、控温仪和绝热材料组成的电阻炉,置于电阻炉内且装满海绵钛的石英玻璃管,密封并固定石英玻璃管两端的接头,起冷却接头作用的冷水机;进气接头连接高纯氩气气源,出气接头连接可调节气体流速的流量计,再连接用气设备;电阻炉升至目标温度并保持一段时间后,打开气瓶并调节流量计,使高纯氩气沿图中箭头方向流过加热的海绵钛而得到净化。本发明结构简单、安装方便、易于操作,能有效降低高纯氩气中的杂质含量,实现对高纯氩气的净化。
- 一种净化高纯装置
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