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[发明专利]一种高精度丝网的制作方法-CN202210608756.9有效
发明人：黄卫钢 -专利权人：广东微容电子科技有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： B41C1/14 文献下载
摘要：本发明的高精度丝网的制作方法包括以下步骤：S1：制作参考丝网，在参考丝网上制作多个尺寸一致的参考图形区；S2：使用步骤S1制作的参考丝网印制电极图案；S3：在步骤S2印制形成的电极图案中选取多个作为参考电极图案，并分别测量其尺寸；S4：制作高精度丝网，根据步骤S3测量的各参考电极图案的尺寸，调整高精度丝网上各高精度图形区的尺寸。与现有技术相比，本发明根据参考丝网印制的电极图案尺寸相对于电极图案的设计尺寸的偏差来制作高精度丝网，使用本发明的方法制作的高精度丝网印制得到的电极图案，不仅每个电极图案尺寸与电极图案的设计尺寸偏差更小，各电极图案之间的尺寸偏差也更小，由此减小片式多层陶瓷电容器的电容值偏差，提升片式多层陶瓷电容器的良品率。
一种高精度丝网制作方法

[发明专利]图案测定系统、图案测定方法和记录介质-CN202111531299.X在审
发明人：龟田寿昌;酒井计;角田纯一 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种图案测定系统、图案测定方法和记录介质，无测定图案的制约而能够高精度地检测随机噪声成分，并且能够更高精度地测量边缘粗糙度。根据本公开，在取得的线图案图像中，对线图案的左边缘和右边缘分别进行图案匹配和边缘位置校正，生成没有粗糙度的图像。根据该图像测量PSD值，将全频率的平均PSD值作为随机噪声成分，由此能够高精度地检测随机噪声成分。并且，通过从原始图像的PSD值中减去该PSD值即随机噪声成分来高精度地测量边缘粗糙度。
图案测定系统方法记录介质

[实用新型]一种高精度反射片-CN202021481513.6有效
发明人：何伟亮 -专利权人：奥普镀膜技术(广州)有限公司
申请日： 2020-07-24 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： G02B5/08 文献下载
摘要：本实用新型提出一种高精度反射片，包括硅基板，硅基板上表面设置有高反膜，高反膜上表面镀有带限位图案的矩阵阵列。其中，由硅基板和高反膜组成反射片的主体，并在反射片的反射面上，即高反膜的上表面通过镀膜的方式镀有一层有特殊限位图案的高精度矩阵作为高精度厚度层，得到高精度的1/4λ反射片，满足反射片对厚度高精度及高额反射率的要求
一种高精度反射

[实用新型]一种高精度图案测量装置-CN202220078548.8有效
发明人：陈宏渊 -专利权人：艾斯尔光电（南通）有限公司
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G01B5/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及测量技术领域，且公开了一种高精度图案测量装置，解决了目前在物品对外表面图案测量时，通常通过人员手动扶持，随后通过量尺进行测量，测量效果不准确的问题，其包括支撑板，所述支撑板上端中部连接有测量板电机带动螺纹杆转动，滑块滑动，带动两个支撑杆进行移动，两个卡板对测量物本体下端进行固定，提高测量物的稳定性，能够提高测量的精准度；滑板移动使得移动板移动，移动板对测量物本体表面团进行过测量，通过刻度板能够精准测量处图案的长度，鉴于对图案进行测量，提高测量的效率。
一种高精度图案测量装置

[发明专利]描绘装置和描绘方法-CN03813193.5无效
发明人：泽野充;冈崎洋二;永野和彦;石川弘美;藤井武 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2003-06-06 - 公布日： 2005-08-24 - 主分类号： H05K3/10 文献下载
摘要：取得用简单的步骤能进行包含2维到3维的描绘，并且能形成高精度的图案的描绘装置以及使用该描绘装置的描绘方法。在描绘装置中，在同一扫描台上配置有曝光头以及导电体喷头、绝缘体喷头，在扫描台上的印刷电路板上，能在同一扫描台上形成图案，并且能缩短图案化间的时间，能实现图案形成的高速化。另外，不产生曝光头以及喷头对印刷电路板的位置偏移，所以图案的高精度化是容易的，能形成高精度的图案。
描绘装置方法

[发明专利]一种高精度反射片及其制备方法-CN202010720703.7在审
发明人：何伟亮 -专利权人：奥普镀膜技术(广州)有限公司
申请日： 2020-07-24 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： G02B5/08 文献下载
摘要：本发明提出一种高精度反射片，包括硅基板，硅基板上表面设置有高反膜，高反膜上表面镀有带限位图案的矩阵阵列。其中，由硅基板和高反膜组成反射片的主体，并在反射片的反射面上，即高反膜的上表面通过镀膜的方式镀有一层有特殊限位图案的高精度矩阵，用于高精度的定位，能够满足反射片在使用中对厚度高精度的要求，得到高精度的1本发明还提出了一种高精度反射片的制备方法，其具体包括以下步骤：对硅基板进行面型修正，使反射面的面型小于1/4λ；在硅基板上表面镀设高反膜；在高反膜上表面镀制纳米材料的矩阵阵列。
一种高精度反射及其制备方法

[发明专利]一种高精度图案化可拉伸电极及其制备方法-CN201910091971.4有效
发明人：赵晓丽;汤庆鑫;童艳红;杨硕;孙子晶 -专利权人：东北师范大学
申请日： 2019-01-30 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： H01B5/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度图案化可拉伸电极及其制备方法。所述高精度图案化可拉伸电极，为贴附于弹性基底上的图案化电极；图案化电极为连接碳纳米管的金属电极；金属电极为金电极；金属电极通过巯基乙胺与所述碳纳米管连接。所述高精度图案化可拉伸电极按照包括如下步骤的方法制备：在设有电极图案的衬底上蒸镀金属得到金属电极；在金属电极的表面喷涂碳纳米管；在碳纳米管的表面上制备弹性基底，从衬底上剥离后即得。本发明提供的图案化可拉伸电极，结合传统金电极电导率高和碳纳米管高纵横比，比表面积大的优点，充分实现了优势互补，制备出高拉伸性能兼具良好导电性的高精度图案化可拉伸电极。
一种高精度图案拉伸电极及其制备方法

[发明专利]基于学习的条纹相位恢复和散斑相关的三维测量方法-CN202010721119.3有效
发明人：尹维;左超;陈钱;冯世杰;孙佳嵩;胡岩;尚昱昊;陶天阳 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2020-07-24 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：首先使用一个立体匹配网络从一张散斑图案中产生初始视差图。使用U‑net网络从额外的一张条纹图案中高精度地提取包裹相位图。通过将包裹相位图用作附加约束来优化初始视差图，从而最终实现高速高精度的绝对三维形貌测量。本发明仅需要两张投影图案即可实现高速高精度的绝对三维形貌测量。
基于学习条纹相位恢复相关三维测量方法

[实用新型]一种精密塑料件的表面组合层结构-CN201820035215.0有效
发明人：孙于丰 -专利权人：杭州临安恒生科技股份有限公司
申请日： 2018-01-08 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： B44C5/04 文献下载
摘要：一种精密塑料件的表面组合层结构，涉及高分子材料的精密塑料件表面处理技术领域，包括高精度塑料基底，其特征在于，所述高精度塑料基底上包括喷射的基底保护层，所述基底保护层内具有雷雕图案区域，所述雷雕图案区域嵌入所述高精度塑料基体内；所述基底保护层上喷射有覆盖层，所述覆盖层填充所述雷雕图案区域。
精密塑料件基底保护层图案区域塑料基雷雕表面组合层覆盖层喷射表面处理技术本实用新型高分子材料嵌入填充体内

[发明专利]刻蚀图案套印高精度对位方法及装置-CN201610095279.5有效
发明人：丁志强;肖新民;祁宏山 -专利权人：常州天合光能有限公司
申请日： 2016-02-22 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种刻蚀图案套印高精度对位方法，包括下述步骤S1提供硅片和浆料载体；S2视觉识别系统拍摄硅片的图片；S3在图片上选取固定位置的ROI区域，通过垂直投影方法，获得一组ROI区域内的数据，通过离散数据曲线平滑算法对数据进行预处理，计算得出波峰的位置和线宽；S4比对ROI区域内掩膜线的线宽与波峰的宽度，计算得出掩膜线图案的角度；S5通过运动装置旋转硅片相应的角度和位置，使掩膜线的图案和浆料载体图案重合；S6激光作用到浆料载体上，浆料最终作用到掩膜线的图案位置。同时，本发明还公开了一种刻蚀图案套印高精度对位装置。本发明提高了刻蚀图案与电极图案对位的精准度，提高了电池片的效率，节省了掩膜成本。
刻蚀图案套印高精度对位方法装置

[发明专利]导电图案结构及其制备方法与图案化的基底-CN202110765342.2有效
发明人：张良静;王萌;张智滔;龙嘉钊;陈皓弘 -专利权人：深圳技术大学
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： H01L21/288 文献下载
摘要：本申请公开一种导电图案结构及其制备方法与图案化的基底。在导电图案结构的制备方法中，通过飞秒激光扫描基底表面，使基底表面形成高精度的预设三维图案，再以高精度的预设三维图案制备导电图案结构，可以提高导电图案结构的精度；同时在飞秒激光扫描过程中会使基底由平整表面转变为粗糙表面，有利于提高导电墨水在基底上的润湿性，从而有利于导电墨水铺展于所述图案化的基底表面上，提高导电图案结构的良率。
导电图案结构及其制备方法基底

[发明专利]提供绝热耦合的聚合物波导阵列和硅波导阵列的对准-CN201310489341.5有效
发明人：沼田英俊 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2013-10-18 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： G02B6/24 文献下载
摘要：使高精度形成的端头和高精度形成的凹槽用作绝对的定位基准以提供根据凹槽和端头的自对准。在通过光刻图案化的PWG中，采用多个掩模，但是沿着对准基线（用于掩模）进行形成，并且因此相对于误差δx实现高精度。在通过纳米压印图案化的PWG中，也相对于误差δx和δy实现形成上的高精度。
提供绝热耦合聚合物波导阵列对准

[发明专利]用于立体产品的高精度画面印制方法-CN200610060333.9无效
发明人：李志明 -专利权人：李志明
申请日： 2006-04-17 - 公布日： 2007-01-10 - 主分类号： B44C3/06 文献下载
摘要：本发明是一种用于立体产品的高精度画面印制方法，该方法包括制作菲林及印刷步骤、加热冲印步骤、发泡步骤。本发明将模具制作与印刷工艺完整地结合于一起进行立体产品的图案或画面印刷及制作，而且将立体图案或画面对应压缩，便于将平面的图案印制到立体产品上，使得立体产品能够印制高清晰、高精度的图案或画面。
用于立体产品高精度画面印制方法

[实用新型]一种双台面的车载玻璃的曝光结构-CN202020032799.3有效
发明人：潘钰;王群 -专利权人：江苏格微晶智能科技有限公司
申请日： 2020-01-08 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： B41J2/475 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双台面的车载玻璃的曝光结构，包括运动平台，所述运动平台包括高精度基座和高精度运动系统，所述高精度基座上端固定连接有对S型车载玻璃进行夹紧的S型车载玻璃工装夹具，所述高精度基座安装有对车载玻璃进行曝光的曝光头系统，所述高精度基座安装有对高精度运动系统运动进行控制的高精度控制系统。本实用新型通过设置曝光头系统，使得曝光头系统的高分辨率激光系统和多功能投射方式使的图像解析度高，图案更精细、色彩均匀还原度更佳，并且位移传感器精准测量激光镜头和工件之间的距离，并由镜头运动系统始终保持镜头和工件处于最佳工作距离
一种台面车载玻璃曝光结构

[发明专利]一种非球面检测高精度计算全息图的制作方法-CN201910766920.7在审
发明人：张鹏;丁鼎 -专利权人：无锡中微掩模电子有限公司
申请日： 2019-08-20 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种非球面检测高精度计算全息图的制作方法，包括以下步骤：S1、于掩模基板曝光蚀刻，完成相位型图案的制作；S2、带胶对相位型图案蚀刻石英玻璃，完成透射层的制作；S3、利用二次定位技术曝光蚀刻，完成振幅型图案反射层的制作；S4、去胶清洗，进行量测检验。本发明的非球面检测高精度计算全息图的制作方法，利用半导体加工工艺的思路，完成计算全息图的高精度制作，突破传统加工难题。能够实现微米级特征尺寸图案的制作；于同一基板同一坐标实现振幅型和相位型图案的制作；套准误差＜1μm。
制作蚀刻非球面检测精度计算全息图半导体加工工艺图案计算全息图图案反射层微米级特征曝光尺寸图案传统加工二次定位石英玻璃套准误差同一基板图案蚀刻掩模基板透射层量测去胶清洗检验

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