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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种光罩蚀刻用清洗装置-CN202222922727.8有效
发明人： 陈宏渊 -专利权人：艾斯尔光电（南通）有限公司
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H05K3/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光罩蚀刻用清洗装置，包括清洗水槽和支撑清洗水槽的U形支架，所述清洗水槽顶面设有支撑架，所述支撑架上设有喷淋组件，所述喷淋组件包括喷淋管和多个喷淋头，所述多个喷淋头等间距安装于喷淋管的表面，所述多个喷淋头顶端设有水压调节器，所述水压调节器一侧设有流量调节器；通过流量调节器随着水压自动调节水流量，既可以在低水压下满足水的流量供给来满足作业要求，又能在高水压下控制水的流量做到节约水资源，通过水压调节器来调节管道内水流压力的大小，方便使用者了解水流压力的具体情况，并根据数据在使用水时进行有效的水压调节，有效避免水压过高对光罩表面造成损伤，提高成品率。
一种蚀刻清洗装置

[实用新型]一种防静电光罩运输装置-CN202123425099.4有效
发明人： 陈宏渊 -专利权人：艾斯尔光电（南通）有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： B62B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防静电光罩运输装置，涉及光罩运输领域，包括移动板车，所述移动板车的上端外表面设有运输箱与推把，所述运输箱位于推把的一侧，所述运输箱的上端外表面设有雾化箱与箱盖，所述雾化箱位于箱盖的一侧。本实用新型所述的一种防静电光罩运输装置，雾化箱在使用时可通过超声波雾化器对运输箱内部进行雾化加湿，在使用时可对光罩存放的环境进行防静电处理，清洁水箱在使用时可通过清洁海绵对工人的手部进行清洗，并且可对手部进行静电消除处理，在使用时可避免对光罩取放时产生静电，该运输装置在使用时防静电效果较好，且在使用时消耗能源较低，使用的效果相对于现有的方式更好。
一种静电运输装置

[发明专利]一种可精确控制蚀刻偏差的光罩蚀刻用定位装置-CN202210141063.3在审
发明人： 陈宏渊 -专利权人：艾斯尔光电（南通）有限公司
申请日： 2022-02-16 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G03F1/80 文献下载
摘要：本发明公开了一种可精确控制蚀刻偏差的光罩蚀刻用定位装置，包括定位底座，以及固定安装于定位底座底面左右两侧的移动导轮；所述定位底座的顶面中部固定连接于导向滑杆的中部；还包括：定位底座的内部上方通过轴承横向转动设置有导向螺纹杆；其中，定位底座的内部下方固定设置有驱动机构，且驱动机构的内部中心位置处通过轴承转动设置有主动齿轮；其中，定位底座内部导向螺纹杆的中部通过锥形齿轮啮合连接于驱动机构内部主动齿轮的顶面中部。该可精确控制蚀刻偏差的光罩蚀刻用定位装置，通过定位底座顶面的夹持机构以及夹持框架带动蚀刻板左右两侧限位的同时并下降，同时通过锁止滑杆对蚀刻板的前后两侧进行限位。
一种精确控制蚀刻偏差定位装置

[实用新型]一种高精度图案测量装置-CN202220078548.8有效
发明人： 陈宏渊 -专利权人：艾斯尔光电（南通）有限公司
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G01B5/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及测量技术领域，且公开了一种高精度图案测量装置，解决了目前在物品对外表面图案测量时，通常通过人员手动扶持，随后通过量尺进行测量，测量效果不准确的问题，其包括支撑板，所述支撑板上端中部连接有测量板，所述测量板一侧下部连接有固定板；本实用新型，通过壳体、电机、螺纹杆、滑块、支撑杆和卡板的设置，电机带动螺纹杆转动，滑块滑动，带动两个支撑杆进行移动，两个卡板对测量物本体下端进行固定，提高测量物的稳定性，能够提高测量的精准度；滑板移动使得移动板移动，移动板对测量物本体表面团进行过测量，通过刻度板能够精准测量处图案的长度，鉴于对图案进行测量，提高测量的效率。
一种高精度图案测量装置

[发明专利]一种便于表面清理的掩模板图案测量用工作台-CN202210120800.1在审
发明人： 陈宏渊 -专利权人：艾斯尔光电（南通）有限公司
申请日： 2022-02-09 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： B25H1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种便于表面清理的掩模板图案测量用工作台，包括底座、电机、出料口以及工作台本体；其中，所述底座的内部位置设置有蜗杆，且所述蜗杆内部的左侧开设有出料口；还包括：所述电机的输出端连接有蜗杆，且所述蜗杆的左侧外壁设置有蜗轮盘，且所述蜗轮盘的轴端位置固定在转盘的后侧，所述转动盘设置在弹性过滤网的下方位置。该便于表面清理的掩模板图案测量用工作台，设置有蜗杆，通过电机带动蜗杆进行旋转的过程中，蜗杆的顶端将会带动转动盘进行旋转，故而使得转动盘顶端1将会挤压弹性过滤网，并且转盘的外表面边缘处活动连接的推板将会在出料口的内部进行来回移动，故而方便对灰尘进行集中收集。
一种便于表面清理模板图案测量用工

[实用新型]一种光罩清洗工作台-CN202120804454.X有效
发明人：郑永庆;张衡;陈宏渊 -专利权人：艾斯尔光电（南通）有限公司
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： G03F1/82 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光罩清洗工作台，包括工作台本体，工作台本体底部固定安装万向轮组件，工作台本体上端面四周分别安装中空挡板，工作台本体上端面安装光罩放置板，光罩放置板表面均布若干排水孔，工作台本体内腔安装水箱和过滤箱，本实用新型结构设计新颖，能够实现对光罩表面的均匀清洗，清洗效率高，此外，还能够对清洗后的污水进行过滤后再利用，减少了水资源的浪费。
一种清洗工作台

[实用新型]一种光罩显影专用固定装置-CN202120804470.9有效
发明人：郑永庆;张衡;陈宏渊 -专利权人：艾斯尔光电（南通）有限公司
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光罩显影专用固定装置，包括外框架，外框架底部安装导流板，外框架内腔等间距安装多块分隔板，相邻两块分隔板之间为光罩放置仓，每个光罩放置仓内均安装夹紧组件，夹紧组件夹紧待显影光罩，本实用新型结构设计新颖，能够实现对多个光罩进行夹紧固定，能够提高显影均匀性和显影效率。
一种显影专用固定装置

[实用新型]一种光罩蚀刻专用夹具-CN202120804509.7有效
发明人：郑永庆;张衡;陈宏渊 -专利权人：艾斯尔光电（南通）有限公司
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光罩蚀刻专用夹具，包括光罩放置平台，光罩放置平台表面设置两个定位块，光罩放置平台两侧分别安装第一挡块和第二挡块，第一挡块内侧安装第一夹紧组件，第二挡块内侧安装第二夹紧组件，第一夹紧组件和第二夹紧组件之间夹持待蚀刻光罩，本实用新型结构设计新颖，能够有效的固定光罩，提高了光罩的蚀刻精度。
一种蚀刻专用夹具

[实用新型]一种升降式光罩放置平台-CN202120873345.3有效
发明人：郑永庆;张衡;陈宏渊 -专利权人：艾斯尔光电（南通）有限公司
申请日： 2021-04-26 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： B25H1/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种升降式光罩放置平台，包括平台本体、底座和升降机构，升降机构安装于平台本体和底座之间，平台本体上端面开设光罩放置槽，光罩放置槽内等间距放置多块分隔板，相邻两块分隔板之间放置光罩，本实用新型结构简单，操作方便，能够分类放置多个光罩，且相邻光罩之间不接触，不会出现擦伤现象，此外，升降机构能够带动平台本体的升降，便于作业人员的取放。
一种升降式光罩放置平台

[实用新型]一种光罩蚀刻用清洗装置-CN202120804497.8有效
发明人：郑永庆;张衡;陈宏渊 -专利权人：艾斯尔光电（南通）有限公司
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光罩蚀刻用清洗装置，包括清洗水槽和喷淋组件，清洗水槽内放置光罩放置架，光罩放置架内放置多个待清洗光罩，清洗水槽底端一侧安装进水管道，另一侧安装排水管道，喷淋组件安装于清洗水槽上方，本实用新型结构设计新颖，能够实现对蚀刻后光罩的快速均匀冲洗，能够实现流水冲洗和喷淋冲洗相结合，提高了光罩清洗效果。
一种蚀刻清洗装置

[实用新型]一种光罩清洗专用海绵刷洗装置-CN202120804547.2有效
发明人：郑永庆;张衡;陈宏渊 -专利权人：艾斯尔光电（南通）有限公司
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： B08B1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光罩清洗专用海绵刷洗装置，包括清洗箱，清洗箱内腔底部安装光罩放置板，光罩放置板上端面开设放置槽，放置槽内放置待清洗光罩，光罩放置板上方安装海绵刷洗组件，本实用新型结构设计新颖，操作方便，能够实现对光罩表面快速刷洗处理，采用海绵刷洗，能够防止擦伤光罩表面，提高了光罩清洗效果。
一种清洗专用海绵刷洗装置

[实用新型]一种光罩显影专用显影槽-CN202120868990.6有效
发明人：郑永庆;张衡;陈宏渊 -专利权人：艾斯尔光电（南通）有限公司
申请日： 2021-04-26 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光罩显影专用显影槽，包括槽本体，槽本体固定于支撑架上，槽本体内腔安装多孔放置板，多孔放置板与槽本体底壁之间设置容纳仓，容纳仓底壁安装导热板，槽本体底端面安装加热板，还包括搅拌组件，搅拌组件安装于容纳仓，本实用新型结构设计新颖，能够实现对显影液的恒温加热和搅拌，能够提高光罩显影均匀性和显影质量。
一种显影专用

[实用新型]一种便携式光罩转运箱-CN202120771969.4有效
发明人：郑永庆;张衡;陈宏渊 -专利权人：艾斯尔光电（南通）有限公司
申请日： 2021-04-15 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： B65D25/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便携式光罩转运箱，包括箱体和箱盖，箱盖安装于箱体上端口，箱体上端部两侧分别安装金属支撑板，箱盖两侧分别安装磁铁，箱盖内侧还安装缓震垫，箱体内腔等间距安装多块分隔板，相邻分隔板之间放置光罩，本实用新型结构设计新颖，使用方便，能够防止光罩在转运过程中出现碰擦现象，提高了光罩转运效率。
一种便携式转运

[实用新型]一种光罩检测治具-CN202120771970.7有效
发明人：郑永庆;张衡;陈宏渊 -专利权人：艾斯尔光电（南通）有限公司
申请日： 2021-04-15 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光罩检测治具，包括安装平台，安装平台上端面中心设在凸起光罩放置平台，凸起光罩放置平台表面均布若干吸气孔，安装平台四周分别安装第一挡块、第二挡块、第三挡块和第四挡块，第一挡块和第三挡块内侧分别安装第一顶推组件，第二挡块和第四挡块内侧分别安装第二顶推组件，本实用新型结构设计简单，能够有效的固定光罩，提高光罩的检测效率。
一种检测

[实用新型]一种光罩镭雕用夹持机构-CN202120772006.6有效
发明人：郑永庆;张衡;陈宏渊 -专利权人：艾斯尔光电（南通）有限公司
申请日： 2021-04-15 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光罩镭雕用夹持机构，包括光罩载台，光罩载台上开设放置槽，放置槽内对称安装两组夹紧组件，两组夹紧组件之间夹持待镭雕光罩，光罩载台下方设置底座，光罩载台与底座之间安装升降气缸和减震组件，本实用新型结构设计新颖，能够实现对光罩载台的升降，同时能够夹持不同尺寸的光罩，提高了光罩镭雕效率。
一种光罩镭雕用夹持机构

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