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[发明专利]一种高温热管加工制造方法-CN202110445921.9有效
发明人：王成龙;田智星;郭凯伦;苏光辉;张大林;田文喜;秋穗正 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： F28D15/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种高温热管加工制造方法，包括步骤：清洗残留油脂、退火处理、去除氧化层、清洗残液、酸蚀除锈、清洗残液、钝化处理、清洗残液、去除水滴、真空退火、吸液芯安装、端盖安装、真空加热、工质充装、吸液芯润湿本发明针对高温热管提出一种高温热管加工制造方法，可以实现高温热管的规范制造，保障高温热管性能。
一种高温热管加工制造方法

[发明专利]防止高温热退火下表面分解和杂质并入的保护装置及方法-CN202111655564.5在审
发明人：吴华龙;何晨光;贺龙飞;张康;赵维;陈志涛 -专利权人：广东省科学院半导体研究所
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种防止高温热退火下表面分解和杂质并入的保护装置及方法，装置包括杯体和施压结构，施压结构用于将晶圆夹持于杯体内并对晶圆施加不小于1.96N的压力，施压结构与杯体的熔点均为1600℃以上，施压结构与杯体的材料均为惰性材料采用本申请的退火装置，在进行高温热退火的时候，两个晶圆之间存在的微小空气泡在高温下发生膨胀时，能够通过施压结构与杯体对两个晶圆的夹持力将膨胀的气泡挤出，同时还可减弱样品高温下翘曲导致的表面分离，杯体的设计能够有效阻挡在高温热退火的时候，退火炉体中的杂质向晶圆样品扩散，以缓解高温热退火下，炉体的杂质对晶圆样品材料的污染问题，从而提高材料的结晶质量和产品良率。
防止温热退火表面分解杂质并入保护装置方法

[发明专利]掺杂氮的退火晶片的制造方法以及掺杂氮的退火晶片-CN02801855.9有效
发明人：饭田诚;玉塚正郎 -专利权人：信越半导体株式会社
申请日： 2002-05-22 - 公布日： 2003-12-24 - 主分类号： H01L21/322 文献下载
摘要：本发明涉及一种掺杂氮的退火晶片的制造方法，其在对由掺杂氮的硅单晶切削、并至少经过研磨的晶片在氩、氢或其混合气体环境下实施1100～1350℃的高温热处理前，通过进行在小于前述高温热处理的处理温度温度滞留的工序，使前述高温热处理中消灭的尺寸的氧析出核生长为前述高温热处理中不消灭的尺寸，然后，进行前述高温热处理的掺杂氮的退火晶片的制造方法。据此，提供不受掺杂于硅单晶的氮浓度影响，从硅单晶的各部位切削而成的硅单晶晶片中的退火后的BMD密度的误差可被缓和。
掺杂退火晶片制造方法以及

[发明专利]高温热退火方法-CN201310435005.2有效
发明人：顾歆宇;张诗玮;P·赫斯塔德;J·温霍尔德;P·特雷福纳斯 -专利权人：罗门哈斯电子材料有限公司;陶氏环球技术有限公司
申请日： 2013-07-12 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： C09D7/00 文献下载
摘要：高温热退火方法。聚(硅氧烷)嵌段共聚物组分的数均分子量是5到1,000kg/mol；和，抗氧化剂；施加上述共聚物组合物的薄膜到基材表面；任选地，烘焙上述薄膜；通过在275到350℃和气体气氛下加热薄膜1秒钟到4小时来退火上述薄膜；和，处理上述退火薄膜以从退火薄膜中除去聚(苯乙烯)嵌段和将退火薄膜中的聚(硅氧烷)嵌段转换成SiOx。
温热退火方法

[发明专利]一种紫外光电器件及其制备方法-CN202011567039.3有效
发明人：吴华龙;何晨光;贺龙飞;张康;赵维;廖乾光;刘云洲;陈志涛 -专利权人：广东省科学院半导体研究所
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L33/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种紫外光电器件及其制备方法，制备方法包括：采用沉积方法在大倾角蓝宝石衬底上沉积200nm‑4μm的AlN材料；将AlN材料放置于高温热退火炉中进行高温热退火处理，在完成高温热退火后，将蓝宝石衬底放置于本发明实施例通过采用大倾角蓝宝石衬底进行外延生长后高温热退火得到锯齿状宏台阶，锯齿状宏台阶能够将注入到量子阱中的载流子限制在宏台阶褶皱处，从而能够避免遇上位错发生而非辐射复合，进而能够有效地提高紫外光电器件的发光效率和光电转换效率
一种紫外光电器件及其制备方法

[发明专利]退火炉内用于测量钢板温度的测温炉辊-CN202211392040.6在审
发明人：王勇 -专利权人：上海东新冶金技术工程有限公司
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01K7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种退火炉内用于测量钢板温度的测温炉辊，本测温炉辊包括辊体和设于辊体两端的辊轴，还包括若干耐高温热电偶和信号收集转发器，若干耐高温热电偶间隔设于辊体并且位于辊体的辊面下方，信号收集转发器设于辊轴的轴端，若干耐高温热电偶与信号收集转发器之间采用导线连接。本测温炉辊克服传统退火炉内钢板温度测量的缺陷，结构简单，制作方便，能够精确测量退火炉内钢板表面不同位置的温度，提高带钢轧制质量，通过温度的精确控制降低退火炉能耗。
退火炉用于测量钢板温度测温

[实用新型]退火炉内用于测量钢板温度的测温炉辊-CN202222967388.5有效
发明人：王勇 -专利权人：上海东新冶金技术工程有限公司
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G01K7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种退火炉内用于测量钢板温度的测温炉辊，本测温炉辊包括辊体和设于辊体两端的辊轴，还包括若干耐高温热电偶和信号收集转发器，若干耐高温热电偶间隔设于辊体并且位于辊体的辊面下方，信号收集转发器设于辊轴的轴端，若干耐高温热电偶与信号收集转发器之间采用导线连接。本测温炉辊克服传统退火炉内钢板温度测量的缺陷，结构简单，制作方便，能够精确测量退火炉内钢板表面不同位置的温度，提高带钢轧制质量，通过温度的精确控制降低退火炉能耗。
退火炉用于测量钢板温度测温

[发明专利]一种高韧性铝合金及其生产工艺-CN201810262340.X在审
发明人：宋晓辉;李春骜;张路 -专利权人：安徽华中天力铝业有限公司
申请日： 2018-03-28 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： C22C21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高韧性铝合金及其生产工艺，包括以下步骤：(1)配料；(2)熔炼：熔化—扒渣—除气(渣)—静置；(3)铸造；(4)均热；(5)热轧；(6)冷轧—拉矫清洗；(7)分切；(8)热处理(退火)；本发明采用高温均匀化退火，使固溶体内锰含量趋于均匀，并配以大的冷变形度使再结晶形核均匀；高温热轧，热轧温度提高到480～520℃，其效果可以和高温均匀化退火相近；高温快速再结晶退火。未进行高温均匀化退火或高温热轧的材料可采用盐浴或感应加热，温度高于500℃，短时间完成再结晶；适量添加钛有明显作用，因为钛偏析和锰偏析的方向相反，而影响相同，故能起到部分抵消作用。
退火高温均匀化高温热轧高韧性铝合金偏析生产工艺热轧熔化再结晶退火再结晶形核热处理方向相反感应加热冷变形再结晶熔炼扒渣除气分切固溶均热拉矫冷轧盐浴抵消清洗铸造体内

[发明专利]一种高强度铝合金及其生产工艺-CN201810262350.3在审
发明人：宋晓辉;李春骜;张路 -专利权人：安徽华中天力铝业有限公司
申请日： 2018-03-28 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： C22C21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高强度铝合金及其生产工艺，包括以下步骤：(1)配料；(2)熔炼：熔化—扒渣—除气(渣)—静置；(3)铸造；(4)均热；(5)热轧；(6)冷轧—拉矫清洗；(7)分切；(8)热处理(退火)；本发明采用高温均匀化退火，使固溶体内锰含量趋于均匀，并配以大的冷变形度使再结晶形核均匀；高温热轧，热轧温度提高到470～510℃，其效果可以和高温均匀化退火相近；高温快速再结晶退火。未进行高温均匀化退火或高温热轧的材料可采用盐浴或感应加热，温度高于490℃，短时间完成再结晶；适量添加钛有明显作用，因为钛偏析和锰偏析的方向相反，而影响相同，故能起到部分抵消作用。
退火高温均匀化高强度铝合金高温热轧偏析生产工艺热轧熔化再结晶退火再结晶形核热处理方向相反感应加热冷变形再结晶熔炼扒渣除气分切固溶均热拉矫冷轧盐浴抵消清洗铸造体内

[实用新型]一种用于修复PERC太阳能电池的热处理设备-CN201921733551.3有效
发明人：沈永臻;楼秀群;徐义兰;林纲正;陈刚 -专利权人：浙江爱旭太阳能科技有限公司
申请日： 2019-10-16 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于修复PERC太阳能电池的热处理设备，包括高温激活区、低温修复区及传输带。高温激活区用于对硅片进行高温热退火处理，高温激活区的温度为600℃～900℃。低温修复区用于对硅片进行低温热退火处理，低温修复区的温度为200℃～500℃。硅片在高温激活区和低温修复区之间通过传输带传输。采用本实用新型，可修复晶格缺陷，降低背面复合速率，提高光电转换效率。
一种用于修复 perc 太阳能电池热处理设备

[发明专利]一种消除多晶硅刻蚀过程出现缝隙的方法-CN200710036529.9无效
发明人：陈泰江;王心 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2007-01-17 - 公布日： 2008-07-23 - 主分类号： H01L21/322 文献下载
摘要：一种消除多晶硅刻蚀过程中出现缝隙的方法，包括如下步骤：步骤1.对多晶硅进行快速高温热退火；步骤2.用等离子轰击为机理的机台对快速高温热退火后的多晶硅进行刻蚀。
一种消除多晶刻蚀过程出现缝隙方法

[实用新型]余热锅炉除灰系统-CN201721527338.8有效
发明人：李振新;李强;苏德仁;葛训;周亚军;钟伟新 -专利权人：广东丰乐能源科技有限公司
申请日： 2017-11-15 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： F23J1/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种余热锅炉除灰系统，包括高温热风管道、中温热风管道、多个退火窑冷却风机、多个热风分配集箱及多个常规吹灰装置。多个退火窑冷却风机均位于玻璃退火窑的一侧并用于向玻璃退火窑吹风。高温热风管道的一端与玻璃退火窑连接，另一端与常规吹灰装置连接。中温热风管道的一端与玻璃退火窑连接，另一端与热风分配集箱连接。热风分配集箱与常规吹灰装置连接，常规吹灰装置与余热锅炉连接。
余热锅炉玻璃退火窑除灰系统吹灰装置热风分配集箱本实用新型高温热风冷却风机中温热风退火窑低温腐蚀烟尘沉积换热管壁面除灰换热积灰粘结吹风锅炉

[发明专利]一种6系汽车板材用热轧坯料高温热处理生产方法-CN202110206059.6在审
发明人：杨立民;隋信栋;顾华锋;张华;徐志远;陶志民;李涛;张泽宇;李延成;王芝东;麻慧琳;张德镇;常骏;王浩;王乾宇 -专利权人：山东南山铝业股份有限公司
申请日： 2021-02-24 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： C21D8/02 文献下载
摘要：本发明提供一种6系汽车板材用热轧坯料高温热处理生产方法，主要涉及汽车板材加工技术领域。一种6系汽车板材用热轧坯料高温热处理生产方法，包括如下步骤：熔铸、大扁锭铣面、大扁锭均匀化处理、热轧、热轧坯料高温热处理、冷轧、连退线固溶处理、成品。本发明的有益效果在于：本发明采用热轧坯料高温热处理，在热轧生产过程中，当热轧卷的终轧温度未达到工艺要求时，在热轧卷冷却到室温时，将热轧坯料送进退火进行坯料退火，热轧卷的温度升到工艺要求的目标温度并保温一定的时间
一种汽车板材热轧坯料高温热处理生产方法

[发明专利]浅沟槽隔离区的制作方法-CN200910195406.9有效
发明人：秦宏志;赵星;高剑鸣;赵金柱 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2009-09-09 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： H01L21/762 文献下载
摘要：本发明公开了一种浅沟槽隔离区的制作方法，该方法包括：在半导体器件衬底上依次沉积隔离氧化层和氮化硅层后，对半导体器件进行浅沟槽的刻蚀；在同一反应腔内进行半导体器件的衬垫氧化硅生长和浅沟槽隔离区高温热退火，过程为：将反应腔内的温度从标准温度升至进行衬垫氧化硅生长的温度后通入氧气进行衬垫氧化硅生长后，降温到标准温度，然后升温至进行浅沟槽隔离区高温热退火的温度进行浅沟槽隔离区高温热退火，再降温到标准温度；在半导体器件的浅沟槽内填充沟槽氧化物及对该沟槽氧化物抛光
沟槽隔离制作方法

[发明专利]一种高温热传导材料及其制备方法和应用-CN201910366900.0在审
发明人：张波 -专利权人：张波
申请日： 2019-05-05 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： C22C38/02 文献下载
摘要：本发明提供一种高温热传导材料及其制备方法和应用，所述高温热传导材料包括以下重量百分比的原料：碳0.11％～0.13％、锰0.24％～0.28％、硅0.62％～0.66％、铬16％～18％、镍6％～8％、铝0.2％～0.5％、磷0.02％～0.04％、硫0％～0.03％、氧化稀土组合物0.2％～0.5％、改性氧化石墨烯2.4％～3.6％、余量为铁和不可避免的杂质；所述高温热传导材料的制备方法包括以下步骤：称取原料、熔炼、扒渣、浇注、退火冷却即得高温热传导材料。本发明提出的高温热传导材料，耐高温性能优越。热传导率为143～159W/mK，能应用于焚烧炉燃烧室中。
高温热传导制备方法和应用改性氧化石墨烯退火焚烧炉燃烧室耐高温性能重量百分比热传导率氧化稀土熔炼浇注扒渣称取制备冷却应用

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