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[发明专利]一种靶材组件及其制备方法-CN201410001378.3有效
发明人：陈俊杰;黄威智;方家芳 -专利权人：昆山全亚冠环保科技有限公司
申请日： 2014-01-02 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种靶材组件及其制备方法，靶材组件包括背板和靶材，背板的焊合表面设有低熔点的背板焊料层，靶材的焊合表面从内到外依次设有等离子喷涂界面层和低熔点的靶材焊料层；背板焊料层与靶材焊料层软焊接。靶材组件的制备方法，包括在背板的焊合表面涂覆背板焊料层，并加热背板焊料层使其成为熔融状态；在靶材的焊合表面用砂纸打磨；在靶材的砂纸打磨表面利用等离子喷涂方法喷涂等离子喷涂界面层；在确定无等离子喷涂界面层脱落后，在等离子喷涂界面层上涂覆靶材焊料层，并加热靶材焊料层使其成为熔融状态；将背板上熔融状态的背板焊料层与靶材上熔融状态的靶材焊料层进行软焊接合。使得靶材组件具有较佳的接合附着能力。
一种组件及其制备方法

[实用新型]一种靶材组件-CN201420001795.3有效
发明人：陈俊杰;黄威智;方家芳 -专利权人：昆山全亚冠环保科技有限公司
申请日： 2014-01-02 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材组件，靶材组件包括背板和靶材，背板的焊合表面设有低熔点的背板焊料层，靶材的焊合表面从内到外依次设有等离子喷涂界面层和低熔点的靶材焊料层；背板焊料层与靶材焊料层软焊接。本实用新型的靶材组件具有较佳的接合附着能力。
一种组件

[发明专利]一种提升靶材焊合率的方法-CN201911363284.X在审
发明人：陈俊杰;陈彦东;林泓成 -专利权人：昆山全亚冠环保科技有限公司
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： B23K20/10 文献下载
摘要：本发明属于靶材焊接技术领域，涉及一种提升靶材焊合率的方法，制备方法步骤包括提供一背板，其在一表面规定为第一焊合面；提供一靶材，其在一表面规定为第二焊合面；在焊料熔融状态下，对第一焊合面金属化处理，其面上形成第一焊料层；在焊料熔融状态下，对第二焊合面金属化处理，其面上形成第二焊料层；在焊料熔融状态下将超声波振动施加于焊接部位焊料，让第一焊料层与第二焊料层进行软焊接合。本发明能够利用超声波去除靶材表面氧化膜及空气气泡，从而实现靶材焊合率提升。
一种提升靶材焊合率方法

[发明专利]一种脆性靶材的高性能焊接方法-CN202210896054.5在审
发明人：徐国进;刘晓;朱孜毅;贾倩;张博厚;韩思聪;罗俊锋;何金江;肖长朋 -专利权人：有研亿金新材料（山东）有限公司;有研亿金新材料有限公司
申请日： 2022-07-27 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： B23K1/20 文献下载
摘要：本发明公开了属于材料焊接技术领域的一种脆性靶材的高性能焊接方法；所述方法包括在背板焊接面加工焊接槽，内径与靶坯外径配合，清洗去油，对靶材进行背金处理，对靶材和背板焊接面进行超声浸润In焊料；对靶材和背板进行配合焊接，将靶材焊接至背板焊接槽中，控制靶坯及背板的升温、降温制度，同时加压配重，冷却后得到高焊接质量靶材；本发明提供的方法，靶材焊合率高，焊合率≥98％，脆性靶材焊接不开裂，焊后靶材变形小，平面度≤0.5mm
一种脆性性能焊接方法

[发明专利]一种大面积靶材的压力焊接方法-CN200810113175.8有效
发明人：何金江;王欣平;陈明;郭力山 -专利权人：北京有色金属研究总院;有研亿金新材料股份有限公司
申请日： 2008-05-28 - 公布日： 2008-10-08 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：本发明涉及属于金属材料焊接领域的一种大面积靶材的压力焊接方法。包括以下步骤：(1)靶材待焊面的粗糙化处理；(2)背板的待焊面加工成非平面结构；(3)靶材和背板的待焊面进行清洗处理，并烘干表面；(4)将背板加热，将预热靶材或常温的靶材置于背板上，施压，使背板曲面变形至两待焊面压合在一起；(5)靶材与背板组件夹紧后升温至两者材料中较低熔点材料的熔点的0.50～0.85倍，保温焊接。该方法对设备、待焊面的加工要求低，能保证大面积靶材与背板待焊面不存在氧化问题，靶材与背板接触面的空气完全排尽，在大气环境中实现靶材与背板牢固结合，同时靶材的显微组织性能不受影响，靶材与背板的焊合面不发生严重变形等问题
一种大面积压力焊接方法

[发明专利]钽靶材组件的焊接方法-CN201610428671.7在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;段高林 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2016-06-15 - 公布日： 2017-12-26 - 主分类号： B23K31/02 文献下载
摘要：一种钽靶材组件的焊接方法，包括提供钽靶材和铜背板，钽靶材具有第一焊面，铜背板具有第二焊面；在第一焊面形成粘结层，粘结层的熔点小于钽靶材的熔点；在粘结层表面形成熔融的第一焊料层，粘结层的熔点大于第一焊料层的熔点；在第二焊面形成熔融的第二焊料层，粘结层的熔点大于第二焊料层的熔点；将所述钽靶材和铜背板压合，第一焊料层和第二焊料层接触；将所述钽靶材和铜背板压合后，进行冷却处理。由于在第一焊面形成粘结层，且粘结层的熔点小于钽靶材的熔点且大于第一焊料层和第二焊料层的熔点，因此使得冷却处理后钽靶材与第一焊料层和第二焊料层的焊接强度增强。从而使得钽靶材和铜背板的焊接强度增强。
钽靶材组件焊接方法

[发明专利]一种拼接型钨镍合金靶材组件及其焊接方法-CN202211104273.1在审
发明人：姚力军;潘杰;周鹏飞;周友平;廖培君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种拼接型钨镍合金靶材组件及其焊接方法，将间隔板与待焊钨镍合金靶材交错放置并粘贴在一起，形成拼接型待焊钨镍合金靶材；在无氧铜背板与拼接型待焊钨镍合金靶材之间放置至少2根金属丝，而后将拼接型待焊钨镍合金靶材扣合，得到的待焊靶材组件经过加压焊接、冷却、拆除间隔板，得到拼接型钨镍合金靶材组件；所述焊接方法能够调控、制靶材之间的接缝尺寸，提高靶材的平整度，进而提高成品率；通过金属丝的设置，保证焊料层具有一定的厚度且厚度均匀
一种拼接镍合金组件及其焊接方法

[发明专利]一种弧形面焊接型靶材的焊合率超声波检测方法-CN202310430584.5在审
发明人：沈月;闻明;万家成;普志辉;王传军;许彦亭;何云帅 -专利权人：云南贵金属实验室有限公司;贵研铂业股份有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01N29/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种弧形面焊接型靶材的焊合率超声波检测方法，所述的检测步骤包括：将焊接型靶材放入旋转圆形卡盘上卡紧，确保靶材和探头均浸泡在超纯水中，且靶面和探头表面无气泡干扰；设置靶材起点、终点和原心及扫查行程，始终保持探头与靶面垂直；设置增益从起点开始，卡盘驱动轴W轴旋转一周后X、Z、A轴同时步进一次，依次循环，直至终点扫查结束；并根据其结果确定未焊合区域面积并计算焊合率。该方法可用于圆盘状球面、或环形弧面的焊接型靶材的无损检测，操作简单易行、准确性和效率较高。
一种弧形焊接型靶材焊合率超声波检测方法

[发明专利]一种高纯稀土及合金靶材的焊接方法-CN202010702124.X有效
发明人：徐国进;罗俊锋;万小勇;丁照崇;张巧霞;李勇军;熊晓东;滕海涛;刘芳 -专利权人：有研亿金新材料有限公司
申请日： 2020-07-21 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： B23K15/06 文献下载
摘要：本发明公开了属于靶材焊接技术领域的一种高纯稀土及合金靶材的焊接方法，步骤如下：将稀土靶坯和背板焊接面进行车齿，在车齿面进行背金处理；在稀土靶坯的非焊接面镀保护层；二者焊接界面设置中间层；制备焊接用包套，在包套内表面涂覆防护层；将稀土靶坯、中间层和背板装配到包套内，将包套进行电子束封焊加工，得到封焊靶材；将封焊靶材进行热等静压扩散焊接，得到高纯稀土靶材。本发明制备的靶材，克服了稀土材料活性高易氧化及与包套材料反应污染的问题，并且所述靶材焊合率≥99％，焊接强度≥60MPa，并且包套与靶材可自动分离，节约成本，提高生产效率。
一种高纯稀土合金焊接方法

[发明专利]一种高纯硫系相变合金靶材的焊接方法-CN201910564882.7在审
发明人：张晓娜;万小勇;张巧霞;宋艳青;何金江;丁照崇;李勇军;陈明 -专利权人：有研新材料股份有限公司
申请日： 2019-06-27 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： B23K20/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高纯硫系相变合金靶材的焊接方法，其包括以下步骤：1)提供高纯硫系相变合金靶材与背板；2)靶材和背板焊接面进行表面处理；3)在靶材和背板焊接面上放置适量有机焊接胶；4)将靶材焊接面与背板焊接面相接触，施加一定压力，进行焊接；5)将焊接后的靶材冷却，以完成焊接。本发明方法通过优化靶材和背板焊接面表面状态，使两者对有机焊接胶具有浸润性，从而增加焊合面积，提高焊接效果即焊合率；同时控制焊接温度和焊接压力，从而控制焊接胶带流动性，降低焊接胶用量及控制焊缝厚度，满足客户对靶材性能的要求
焊接靶材背板相变合金高纯硫焊接面焊合靶材冷却表面状态焊接压力面相接触焊缝浸润性胶带对靶施加客户优化

[实用新型]一种靶材组件-CN202021279910.5有效
发明人：何建进;陈江伟;何凌男 -专利权人：苏州精美科光电材料有限公司
申请日： 2020-07-02 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材组件，包括背板和靶材组，背板设有位于中部的凸起部和两侧的平整部，靶材组包括设于凸起部的第一子靶材和设于平整部上的第二子靶材；第一子靶材和第二子靶材的上表面保持平齐；背板的焊合表面设有低熔点的第一焊料层，靶材组的焊合表面从内到外依次设有等离子喷涂界面层和低熔点的第二焊料层，背板远离靶材的一面设置有承载板，导磁片设置在第二子靶材与承载板对应的位置。本实用新型通过设置导磁片以及具有凸起部和平整部的背板，从而使得第一子靶材与第二子靶材消耗速度的差距处于一定的范围内，从而延长矩形平面靶材使用寿命，降低生产成本，提高靶材的使用效率，并且具有较佳的接合附着能力
一种组件

[发明专利]一种提高磁控溅射镀膜用靶材使用率的方法-CN201410001386.8有效
发明人：姚能健;黄威智;方家芳 -专利权人：昆山全亚冠环保科技有限公司
申请日： 2014-01-02 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高磁控溅射镀膜用靶材使用率的方法，包括以下几个步骤：（1）根据残靶的溅射跑道，在所述残靶的冲蚀曲面内使用线切割机线切割残靶，得到多片拼接靶材；切割线的选取方法为：选择宽度垂直线，所述切割线与宽度垂直线的夹角在0～30°之间，所述宽度垂直线在残靶使用最深处且与残靶的宽度方向垂直；（2）对每个所述拼接靶材进行清洁；（3）将清洁后的拼接靶材拼接在一起，并将拼接后的靶材与背板焊合，焊合后再次装机进行溅射镀膜。本发明将磁控溅射镀膜用靶材的使用率提高至40%，同时，降低了生产成本，减少了资源浪费，本发明尤其适用于贵重金属和氧化物靶材。
一种提高磁控溅射镀膜用靶材使用率方法

[发明专利]一种旋转靶材的绑定方法-CN201911025924.6在审
发明人：陈标;郭朋;刘所心;段宇龙 -专利权人：广西晶联光电材料有限责任公司
申请日： 2019-10-25 - 公布日： 2020-02-18 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种旋转靶材的绑定方法，该方法是先将靶材和钛管进行粗化处理，再对靶材和钛管分别进行金属化处理，然后在靶材和钛管上均匀的涂覆一层助焊剂；将靶材和钛管组装好，启动加热装置，将铟槽中铟液氧化膜去除，开启铟管道阀门，使铟液缓慢的从底部充满整个焊缝至铟池，然后开始对靶材进行分段冷却；最终冷却至室温，完成整根靶材的绑定过程。本发明采用整根靶材绑定的方式，可以简单高效地完成多节靶材的绑定工作，其优点为：无需高温组装，对组装时间未有严格的控制，自动化水平比较高；对工人劳动强度和员工操作的熟练程度要求不高，焊合率和焊合质量很好。
一种旋转绑定方法

[发明专利]一种靶材组件及其制备方法-CN201510706333.0有效
发明人：丁照崇;万小勇;李勇军;何金江;贾存锋;王庄;王兴权 -专利权人：有研亿金新材料有限公司
申请日： 2015-10-27 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明属于靶材制备技术领域，具体涉及一种靶材组件及其制备方法。所述靶材组件由背板、靶材和垫板组成，制备方法为：在靶材与垫板的组合体上直接冷喷涂背板材质的粉末，以同步实现背板制备及背板与靶材的焊接复合；最后，机加工出成品靶材组件。该制备方法工艺简单，复合后的靶材组件整体变形小、无开裂，背板密度可达到99.5％以上，背板与靶材焊合率99％以上，焊接强度50Mpa以上。
一种组件及其制备方法

[实用新型]一种高焊合率的靶材捆绑结构-CN202123289038.X有效
发明人：孙洪梅;陈方波 -专利权人：上海振卡新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高焊合率的靶材捆绑结构，包括金属基板，所述金属基板的上端固定安装有靶材，所述靶材的上端固定安装有固定环，所述固定环的下端固定安装有固定杆，所述固定杆的下端固定安装有下固定环，所述下固定环的上端固定设置有限位凸块，所述下固定环上端的中部固定设置有固定对接孔，所述靶材的下端位于固定杆的外端固定安装有固定套环，所述固定套环的外端固定设置有连接孔。该高焊合率的靶材捆绑结构，利用固定套环与连接孔可将靶材呈直角固定在金属基板的上端，可使得上焊接套环与金属基板贴合更加的紧密，使其在焊接时更加的便捷，且降低空焊率，有效的提高了上焊接套环与金属基板焊接结合率
一种高焊合率捆绑结构

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