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[实用新型]一种用于 ITO 靶材冷压固定装置-CN201822035850.1有效
发明人：张玲莉;那嘉;周传水;余永强;李隽;柯尚文;康明锋;董永亮;范家伟 -专利权人：广东凯盛光伏技术研究院有限公司;中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司
申请日： 2018-12-05 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： B28B17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于ITO靶材冷压固定装置，包括用于将ITO靶材上下夹紧的固定板，所述固定板侧边设有固定凹槽，所述固定板上均匀排布有透压圆孔；在使用时将两块采用PVC材料的固定板分别放置于已密封包装好的ITO靶材的上方和下方，然后用皮筋夹紧夹稳，使其连成一体；再将其一齐放入冷压缸中加纯水进行冷压，透压圆孔在让冷压过程中，使水可以自由均匀地从固定板中穿过，进而将压力均匀地传递到待压ITO靶材，从而不影响冷压的效果；可使靶材结构完整性得到了很好的保护，外观上没有明显裂纹，靶材亦未出现进水现象；可大大地提高ITO靶材加工后结构的完整性，为进一步的加工带来更大的便利。
一种用于 ito 靶材冷压固定装置

[发明专利]一种铬靶材的生产方法-CN201410451226.3有效
发明人：齐牧;崔传海;李广明;于晓玲;李俊强;陈涛;韩艳芝;姜松 -专利权人：中信锦州金属股份有限公司
申请日： 2014-09-06 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： B22F3/16 文献下载
摘要：一种铬靶材的生产方法，将粒度为60目～320目和粒度为320目～500目的金属铬粉混合均匀，烘干，加入到冷压模具内冷压成型，得到铬靶材坯料，用包覆纸将铬靶材坯料表面包覆，装入热压模具内，入炉热压成型，得到铬靶材优点是：先冷压得到铬靶材坯料，有利于热压，经过热压后满足铬靶材的要求。两种工艺相互配合，工艺简单，操作方便，对环境友好，产品成品率高，实现了工业化生产。
一种铬靶材生产方法

[实用新型]大尺寸陶瓷靶材的冷等静压夹具-CN201320096578.2有效
发明人：周贤界;郑子涛;苏中华;周理卿;唐亮军;周弟 -专利权人：韶关西格玛技术有限公司
申请日： 2013-03-04 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： B28B3/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大尺寸陶瓷靶材的冷等静压夹具。大尺寸陶瓷靶材的冷等静压夹具，包括上夹板（1）和下夹板（2），所述上夹板（1）和下夹板（2）的大小形状相适应，上夹板（1）和下夹板（2）上均设有若干个通孔（3）。使用本实用新型对大尺寸陶瓷靶材进行冷压加工，冷压后的陶瓷靶材表面十分平整，基本不发生翘曲和断裂，可极大提高生产效率、降低生产成本，此外，本实用新型的夹具制作简单、成本较低。
尺寸陶瓷静压夹具

[发明专利]一种砂磨工艺制备蒸镀用低密度ITO靶材的方法-CN202211473793.X在审
发明人：杨杰;左宁伟;杨龙 -专利权人：九天智能科技（宁夏）有限公司;江苏莱希海姆科技有限公司
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： C04B35/453 文献下载
摘要：本发明公开了一种砂磨工艺制备蒸镀用低密度ITO靶材的方法，包括：将粒径D50为0.1～0.5um的氧化铟与氧化锡粉末混合均匀；对混合粉末进行煅烧；对煅烧后的粉末制浆，并将浆料、粘结剂加入砂磨机中进行砂磨；对砂磨后的浆料进行喷雾干燥，造粒；将造粒后的粉末进行冷压成型，得到冷压素坯；将冷压素坯进行脱脂；将脱脂后的冷压素坯置于氧气气氛下进行常压烧结，得到蒸镀用低密度ITO靶材。本发明可获得晶粒尺寸均匀、体电阻率低的蒸镀用低密度ITO靶材，其相对密度为55～65％；制得的低密度ITO靶材在蒸镀使用时不易开裂且靶材利用率高，并在蒸镀后可获得均匀的低电阻率、高透光率的导电薄膜。
一种砂磨工艺制备蒸镀用低密度 ito 方法

[发明专利]一种砂磨工艺制备蒸镀用低密度ITO靶材及其方法-CN202310877268.2在审
发明人：孟将;胡强楠;罗文;张帅;征卫星;张子富;左宁伟;韩建华;孙磊;马肖 -专利权人：西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司
申请日： 2023-07-18 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C04B35/457 文献下载
摘要：本发明给出了一种砂磨工艺制备蒸镀用低密度ITO靶材及其方法，属于靶材制造技术领域，该方法包括：步骤S1、将D50均为0.1～0.5um的氧化铟粉末和氧化锡粉末混合均匀后依次进行煅烧、砂磨、喷雾造粒和冷压成型，得到冷压素坯；步骤S2、将所述冷压素坯脱脂后置于炉内氧气气氛下进行常压烧结，得到低密度ITO靶材。本发明制备的低密度ITO靶材纯度高，相对密度低，具有较高的导电性，用其蒸镀获得的ITO薄膜具有较高的导电性和透光率。
一种砂磨工艺制备蒸镀用低密度 ito 及其方法

[发明专利]一种触摸屏用ITO靶材的生产方法-CN201210366657.0有效
发明人：阮敦邵;熊爱臣;赵明勇;徐灿辉 -专利权人：柳州华锡铟材料有限责任公司
申请日： 2012-09-28 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：一种触摸屏用ITO靶材的生产方法，涉及一种ITO靶材的生产方法，以4N级（99.99%）铟锭和分析纯级结晶四氯化锡为原料，按配比计算出需要的用量，通过化学共沉淀、脱水、煅烧及球磨的现有工序制备In2O3:SnO2=97:3（wt%）、纯度≥99.99%、粒度为0.6～1.0µm的ITO粉；再对ITO粉经冷压成型为冷压坯；再将冷压坯装在石墨模具内置于真空-气氛热压烧结炉中烧结，得到ITO靶材，本发明制备的ITO靶材完整致密无内部裂纹，本发明方法简单，便于推广使用。
一种触摸屏 ito 生产方法

[实用新型]一种ITO平面靶材冷等静压辅助工装-CN202222573280.8有效
发明人：王涛;王志强;曾探 -专利权人：芜湖映日科技股份有限公司
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B22F3/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种ITO平面靶材冷等静压辅助工装，包括基板、密封袋以及绑扎单元。密封袋用来装入待压实的靶材坯料块，且其由基板所承载。绑扎单元与基板相协同作用，以向着密封袋施以绑扎力。正对应于密封袋预放置区域，在基板上成型出有多个以矩形阵列形式进行排布的均压通孔。如此一来，当靶材坯料块和基板作为一个整体而浸没的瞬间，冷等静压溶液可在极短时间内经由均压通孔而浸润靶材坯料块的底壁，利于保证靶材坯料块在被侵没进程中其各侧壁尽可能地受压均衡，进而有效地避免了其各区域因受压不均衡而形变量不一致现象的发生，确保经冷等静压处理后的靶材坯料块在具有良好致密度的前提下，其具有良好的冷等静压成型规整性。
一种 ito 平面靶材冷静压辅助工装

[发明专利]一种包覆热压制备砷靶材的方法-CN201110298443.X无效
发明人：孟彬;钟毅 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2011-09-28 - 公布日： 2012-02-22 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明提供了一种利用金属模具包覆热压制备物理气相沉积用砷靶材的方法。砷靶材的制备工艺为：在惰性气体气氛保护下利用液压式粉末压片机将颗粒状砷原料初步冷压成型，压片机的压力为20~40MPa，初始冷压后砷靶材的相对密度在85~92%之间。之后利用黄铜或低碳钢模具对冷压成型后的砷进行包覆，并对模具进行密封。最后对包覆的金属模具进行热压致密化过程，热压温度为400~600℃，热压压力为400~600MPa。砷的热压过程进行完毕之后，自然冷却并在惰性气体气氛保护下将包覆模具内的砷靶材取出。测试结果表明，采用上述包覆热压工艺制备的砷靶材，其相对密度可达99.5~99.9%，且未在靶材内引入新的杂质。
一种热压制备砷靶材方法

[发明专利]YBCO靶材的制造方法及靶材模具-CN202211700069.6在审
发明人：冯中沛;杨景婷;柳伟;许波;郑鑫;金魁;袁洁;赵忠贤 -专利权人：松山湖材料实验室
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C04B35/45 文献下载
摘要：公开了一种YBCO靶材的制造方法及靶材模具，方法包括：采用固相反应法制备靶材粉料；将靶材粉料放置在靶材模具中后进行热烧结，以获得靶材；其中，所述靶材的致密度大于95％。本申请提供的YBCO靶材的制造方法及靶材模具，通过多次研磨及预烧结降低原材料颗粒度，以及通过放电等离子辅助热压烧结或冷压法制备的靶材，表面光滑、致密度达95％以上。
ybco 制造方法模具

[发明专利]一种制造溅射靶材的方法-CN201210064239.6无效
发明人：高岩;何金江;郭力山;曾浩 -专利权人：有研亿金新材料股份有限公司
申请日： 2012-03-12 - 公布日： 2013-10-09 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了属于溅射靶材技术领域的一种制造溅射靶材的方法。该方法主要包括：背板具有一凹槽，该凹槽为圆柱形凹槽或者为直径向内侧逐渐减小的阶梯式凹槽，靶坯具有一凸起，该凸起为圆柱形凸起或者为直径向内侧逐渐减小的阶梯式圆柱凸起，通过热压、冷压或钎焊的方法，将靶坯的凸起压入背板的凹槽内，制备出整体的靶材。本发明还包括在靶坯和背板中间通过电镀、热喷涂、溅射和钎焊的方法加入中间层，通过热压、冷压或钎焊的方法，将靶坯和背板焊合成为一体。该方法能够明显的提高靶材的焊接强度，提高靶坯的使用效率。
一种制造溅射方法

[发明专利]一种钛硅合金靶材及其制造方法-CN202010154164.5有效
发明人：张凤戈;李建奎;魏铁峰;张欠男;缪磊;张学华;岳万祥 -专利权人：北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司
申请日： 2020-03-07 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： B22F3/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种钛硅合金靶材及制造方法，属于合金靶材制备领域。该方法包括：合金粉末制备步骤，将钛源和硅源混料制成合金粉末；冷等静压步骤，对所述合金粉末进行冷等静压处理，得到压坯；脱气步骤，对所述压坯进行脱气处理；热等静压步骤，对所述脱气处理后的压坯进行热等静压处理，得到钛硅合金靶材。钛硅合金靶材具有致密度高、合金化程度高，无气孔和偏析，组织均匀，晶粒细小等优点，相对密度超过99％，平均晶粒尺寸不大于100μm。
一种合金及其制造方法

[发明专利]一种旋转靶材冷绑定工艺-CN201911113968.4在审
发明人：张俊杰 -专利权人：张俊杰
申请日： 2019-11-14 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种旋转靶材冷绑定工艺，属于靶材技术领域。所述旋转靶材冷绑定工艺，包括以下步骤：将外管靶材套在背管上；将粘接剂压注到外管靶材和内管的间隙中；待粘接剂凝固后即完成绑定。本发明的冷绑定工艺能够有效地将间隙中的空气挤压出来，使得外管靶材与背管的粘接面积可以达到100％，从而两管之间不会产生空穴，溅射过程中有效避免了裂靶及掉靶现象。本发明的绑定工艺可以绑定任何材料的靶材、任何规格以及任何单节长度(200mm‑2000mm)的旋转靶材。具有操作简单，成本低，节能环保，成品合格率高的优点。
一种旋转靶材冷绑定工艺

[发明专利]一种铝基粉末合金靶材的制备方法-CN202111667846.7在审
发明人：张凤戈;岳万祥;魏铁峰;张欠男;张学华;姚伟 -专利权人：北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明属于靶材制备技术领域，具体涉及一种铝基粉末合金靶材的制备方法。其中，铝基粉末包括铝粉，铝基粉末合金靶材的制备方法包括下述步骤：(1)混粉：将所述铝基粉末混合均匀；(2)冷压成型：将经步骤(1)处理得到的铝基粉末装入冷压模具，在压力下压制，得到生坯；(3)脱气：将生坯装入热等静压模具进行脱气处理；(4)热等静压：对经步骤(3)处理得到的料坯进行热等静压处理，即得铝基粉末合金靶材。本发明的方法制备得到的合金靶材在满足其组织、性能等材料技术要求的前提下，可以提高热等静压中装粉的相对密度，增加热等静压装炉重量，还可显著提升材料利用率，提升靶材生产效率，降低靶材成本。
一种粉末合金制备方法

[发明专利]一种铝合金靶材及其制备方法-CN202110845425.2在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;江胜君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种铝合金靶材及其制备方法，所述制备方法包括：按照靶材的元素比例进行金属单质粉末的混合，将混合后的粉末装入包套中进行冷压成型；然后将包套进行焊接、脱气；将脱气后的包套进行一次热等静压处理，得到成型靶坯；将成型靶坯进行真空热处理，然后再次装入包套进行焊接、脱气；将脱气后的包套进行二次热等静压处理，得到铝合金靶材。本发明所述方法采用粉末冶金法来制备合金靶材，通过采用粉末混合、冷压、两次热等静压处理，以及两次热等静压之间进行的热处理，有助于合金靶材中组织结构的优化，使得晶粒组织细小且分布均匀，不存在成分偏析，致密度高，机械加工性能优良，能够满足溅射用靶材的使用要求。
一种铝合金及其制备方法

[发明专利]钨钛靶材的制造方法和钨钛靶材组合的制造方法-CN201210374822.7有效
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2012-09-27 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： B22F3/16 文献下载
摘要：本发明公开了钨钛靶材的制造方法和钨钛靶材组合的制造方法。其中，所述钨钛靶材的制造方法包括：在模具中装入钨粉和钛粉的混合粉末；对所述混合粉末进行冷压成型处理，形成钨钛靶材坯料；将所述钨钛靶材坯料进行真空热压烧结处理，形成钨钛靶材。本发明所公开的钨钛靶材的制造方法通过冷压成型处理和真空热压烧结及相关工艺参数的设定，制得的靶材致密度大于或者等于99%的钨钛靶材，并且所获得的钨钛靶材微观结构均匀，具有优异的溅射使用性能。
钨钛靶材制造方法组合

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