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[发明专利]隔膜真空计-CN202210527878.5在审
发明人：吉川康秀;小原圭辅;市原純;佐藤公洋 -专利权人：阿自倍尔株式会社
申请日： 2022-05-16 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种隔膜真空计，不受电缆的寄生电容和杂散电容的影响地测量传感器芯片的电极间的静电电容。隔膜真空计具备：传感器芯片(1)，其具有形成在基座上的第一电极、和在与基座隔开间隙配置的隔膜上以与第一电极相对的方式形成的第二电极，第一、第二电极的间隔根据由被测定介质的压力引起的膜片的位移而变化；运算放大器
隔膜真空计

[发明专利]隔膜真空计-CN202210452953.6在审
发明人：吉川康秀;小原圭辅;市原纯;佐藤公洋 -专利权人：阿自倍尔株式会社
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：隔膜真空计具备：受压部(10)，其电气特性根据由被测定介质的压力引起的膜片的位移而变化；加热器(5)，其加热受压部(10)；温度传感器(9)，其测量受压部(10)的温度；压力测量部(2021)，将受压部
隔膜真空计

[实用新型]一种变压器真空测量专用工装-CN201320358387.9有效
发明人：贺庆;戴普辉 -专利权人：保定天威保变电气股份有限公司
申请日： 2013-06-21 - 公布日： 2013-11-06 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种变压器真空测量专用工装，属于变压器设备技术领域。技术方案是：包含管接头（1）、真空隔膜阀（2）、接头（3）、软管（4）和麦式真空计（5），所述管接头（1）、真空隔膜阀（2）和接头（3）依次连接组装成管路开关部分，设置在抽真空管路上或油箱本体阀门上，所述软管（4）和麦式真空计（5）组成测量控制部分，麦式真空计（5）通过软管（4）与接头（3）互相连接。本实用新型的有益效果是：结构简单、易于操作，读取数据时麦式真空计始终处于朝下状态，即使误操作也可防止水银进入油箱内，增加管夹控制，易于控制真空计和油箱之间的连通。
一种变压器真空测量专用工装

[发明专利]电容式隔膜真空计及干刻蚀设备腔体压力测试系统-CN201810368641.0在审
发明人：丁俊 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2018-04-23 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种电容式隔膜真空计及干刻蚀设备腔体压力测试系统。该电容式隔膜真空计包括：相邻的第一腔室和第二腔室、设于所述第一腔室和第二腔室之间的压力隔膜、设于所述第一腔室中的测量电极、设于所述第一腔室中并与测量电极间隔设置的参考电极以及设于所述第二腔室中的过滤网；所述第二腔体用于通入干刻蚀设备腔体的气体；所述过滤网用于吸附干刻蚀设备腔体的制程副产物以及腔体污染物，防止制程副产物以及腔体污染物附着在压力隔膜上，导致压力隔膜发生永久变形或破损，提高电容式隔膜真空计的测试精度，延长电容式隔膜真空计的使用寿命，保证干刻蚀设备腔体的真空压力值稳定，提高刻蚀率均一性。
干刻蚀设备隔膜真空计电容式腔体第一腔室第二腔室压力隔膜测量电极测试系统腔体压力副产物过滤网制程污染物附着参考电极第二腔体间隔设置使用寿命永久变形真空压力均一性刻蚀率吸附破损污染物测试保证

[发明专利]电容式隔膜真空计和真空装置-CN200910266354.X有效
发明人：宫下治三 -专利权人：佳能安内华股份有限公司
申请日： 2009-12-24 - 公布日： 2010-07-14 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：一种电容式隔膜真空计，其包括被配置成检测所述电容式隔膜真空计的倾斜角的倾斜角传感器。在电容膈膜计以第一倾斜角(+90°)、第二倾斜角(0°)、第三倾斜角(-90°)安装在真空装置上时，所得到的电容和电压的相关性事先存储在存储单元中。压力测量值然后基于由倾斜角传感器所检测到的所述倾斜角信息被校正，并且电容-压力特性数据在第一、第二和第三倾斜角时被实际测量，并且存储在电容式隔膜真空计中。
电容隔膜真空计真空装置

[实用新型]多晶炉真空计定位装置及采用该定位装置的多晶炉-CN201120481689.6有效
发明人：吴学军;周凯平 -专利权人：宁夏日晶新能源装备股份有限公司
申请日： 2011-11-28 - 公布日： 2012-08-22 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：一种多晶炉真空计定位装置，其包括变径接头、三通、高真空隔膜阀、两个90度弯头、两个真空计。变径接头的一端通过抱箍连接在多晶炉腔体上，变径接头的另一端与三通的前端口连接。三通的左侧法兰与高真空隔膜阀的一端连接，三通的右侧法兰与其中一个90度弯头的一端连接；高真空隔膜阀的另一端与另一件90度弯头的一端连接；真空计分别对应安装在两个90度弯头的另一端。本实用新型还提供一种采用多晶炉真空计定位装置的多晶炉。
多晶真空计定位装置采用

[发明专利]便携式分子泵机组-CN202010989184.4在审
发明人：陈琦;张延顺;董德胜;景加荣;黄佳荣;吴晓鹏 -专利权人：上海裕达实业有限公司
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： F04B41/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种便携式分子泵机组，包括：分子泵、隔膜泵、模拟量真空计、机组机箱、触摸屏控制器和减振器组件，其中，分子泵安装在机组机箱的上方；隔膜泵包裹安装在机组机箱的后部；减振器组件安装在隔膜泵的下方；模拟量真空计与分子泵相连；触摸屏控制器安装在机组机箱的前部。当便携式分子泵机组处于自动控制模式下，触摸启动键后，机组自动开始运行隔膜泵，模拟量真空计开始测量真空度，待真空系统达到分子泵的启动压强时，系统自动启动分子泵继续抽真空。本发明采用桌台型结构设计，使得分子泵机组的结构紧凑，能够放置在实验室的实验桌上，用于小型科学仪器和试验设备的抽真空。
便携式分子机组

[发明专利]一种钢瓶处理系统及其使用方法和应用-CN201910126097.3在审
发明人：李贤武;张金彪;汪建春;汤月贞;李金勇;吴旭飞;许福胜 -专利权人：黎明化工研究设计院有限责任公司
申请日： 2019-02-14 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： F17C5/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种钢瓶处理系统及其使用方法和应用，包括四个单元，第一，钢瓶单元：一只或多只包裹有加热毯的钢瓶、隔膜阀、真空计和压力传感器；第二，分析单元：包括隔膜阀和分析设备；第三，测试气体单元：包括隔膜阀、单向阀、过滤器和纯化设备；第四，抽空单元：包括隔膜阀和真空设备；从钢瓶出来的主管路上依次连接有隔膜阀V1、真空计、压力传感器、分析单元、测试气体单元、抽空单元；真空计通过隔膜阀V2连接于主管路，压力传感器通过隔膜阀V3连接于主管路；分析设备通过隔膜阀V4连接于主管路，通过隔膜阀V7与测试气体单元连接；纯化设备依次通过过滤器F1、单向阀C1、隔膜阀V5连接于主管路；真空设备通过隔膜阀V6连接于主管路。
隔膜阀主管路压力传感器测试气体真空计钢瓶过滤器纯化设备分析单元分析设备钢瓶处理真空设备单向阀抽空单元连接依次连接加热毯应用主管

[实用新型]一种钢瓶处理系统-CN201920218376.8有效
发明人：李贤武;张金彪;汪建春;汤月贞;李金勇;吴旭飞;许福胜 -专利权人：黎明化工研究设计院有限责任公司
申请日： 2019-02-14 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： F17C5/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种钢瓶处理系统，包括四个单元，第一，钢瓶单元：一只或多只包裹有加热毯的钢瓶、隔膜阀、真空计和压力传感器；第二，分析单元：包括隔膜阀和分析设备；第三，测试气体单元：包括隔膜阀、单向阀、过滤器和纯化设备；第四，抽空单元：包括隔膜阀和真空设备；从钢瓶出来的主管路上依次连接有隔膜阀V1、真空计、压力传感器、分析单元、测试气体单元、抽空单元；真空计通过隔膜阀V2连接于主管路，压力传感器通过隔膜阀V3连接于主管路；分析设备通过隔膜阀V4连接于主管路，通过隔膜阀V7与测试气体单元连接；纯化设备依次通过过滤器F1、单向阀C1、隔膜阀V5连接于主管路；真空设备通过隔膜阀V6连接于主管路。
一种钢瓶处理系统

[发明专利]真空计-CN201780050129.5有效
发明人：北條久男 -专利权人： Q`Z株式会社
申请日： 2017-06-30 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：提供一种真空计，其能够抑制外部温度变化的影响从而准确地测定真空度。真空计具有：导入管(320)；隔膜(40)，其因被导入管所导入的被测定气体而移位；压电元件(50)，该压电元件(50)的一端与隔膜连接并与隔膜一起移位；内部结构体(310)，其固定有隔膜的周缘与压电元件的另一端气密容器内被内部结构体、导入管和隔膜气密地划分为在隔膜的一面侧处导入被测定气体的压力导入室(130)、和隔膜的另一面侧的基准压力室(120)，基准压力室被设定为比被测定气体的压力下限低的高真空。
真空计

[实用新型]一种控制型隔膜真空泵联动系统-CN202320681914.3有效
发明人：黄端民;雷经新;陈学刚;王杏国;陈小波 -专利权人：登弗真空设备（上海）有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本申请提供了一种控制型隔膜真空泵联动系统，涉及真空设备技术领域，包括隔膜真空泵和玻璃瓶以及真空控制器。所述玻璃瓶上部一侧上自带有软管A；所述真空控制器包括主体和其前侧装配的触摸屏，以及分别安装在其顶部且依次连通的PTFE电磁阀、PTFE放气阀和耐腐蚀电容式薄膜真空计，所述PTFE电磁阀和所述耐腐蚀电容式薄膜真空计的相离侧分别设有出气通道和进气通道，所述出气通道与所述隔膜真空泵的抽气口之间连通有软管B，所述进气通道与所述软管A接通，装配后的所述真空控制器用以控制所述隔膜真空泵对所述玻璃瓶进行内部真空抽取。由于采用了真空控制器，有效提升了隔膜真空泵抽取真空的效果。
一种控制隔膜真空泵联动系统

[实用新型]双电阻单电离复合真空计-CN201220076557.X有效
发明人：游茜;刘东安;陈启录;张晋沛;马宁 -专利权人：成都中科唯实仪器有限责任公司
申请日： 2012-03-02 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： G01L21/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双电阻单电离复合真空计，包括电源电路、电阻真空计电路、电离真空计电路、单片机和驱动显示电路，所述电阻真空计电路包括第一电阻真空计电路和第二电阻真空计电路，所述第一电阻真空计电路为独立电阻计测量单元；所述第二电阻真空计电路与电离真空计电路组合为复合真空计测量单元，所述第一电阻真空计电路、第二电阻真空计电路和电离真空计电路的信号输出端均与所述单片机的信号输入端连接。采用上述技术方案，当电阻单元测量真空度高于电离规可以开启的真空度时，电离规灯丝自动被点亮，进入高真空测量状态，从而实现了真空度从低到高的自动连续测量，避免了传统的复合真空计需要手动打开或关闭电离真空计的缺点
电阻电离复合真空计

[发明专利]一种复合型电容薄膜真空计-CN202310635946.4在审
发明人：吴成耀;成永军;孙雯君;裴晓强 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种复合型电容薄膜真空计，本申请提供了一种复合型电容薄膜真空计，包括真空计机架和真空计模块，其中：真空计机架的整体为立方体结构，内部为空腔结构；真空计机架的底面上设置有进气口，其他5个面上均设置有真空计模块；真空计模块为圆柱体结构，每个真空计模块的测量腔均与真空计机架内部的空腔连通。本申请总体积小，重量轻，在多个量程段均具有较高的测量精度，共用同一组电路系统，易于检测，成本低，实现了真空计的模块化设计，能够根据实际应用情况进行真空计模块个数与类型的选择。
一种复合型电容薄膜真空计

[实用新型]带空气隔离阀的电离真空计装置-CN200820154252.X有效
发明人：何;刘祥超;杨小军;黄涛 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2008-10-21 - 公布日： 2009-07-29 - 主分类号： G01L21/30 文献下载
摘要：一种带空气隔离阀的电离真空计装置，属于气压测量技术领域。电离真空计装置用于测量气腔室的真空状态气压，所述电离真空计装置包括电离真空计、空气隔离阀以及连接所述空气隔离阀与电离真空计的第一气管。空气隔离阀的关闭能使电离真空计与气腔室隔离，从而能防止电离真空计不受非真空状态的被测气腔室中的制程气体污染，提高电离真空计的使用寿命。本实用新型提供的电离真空计装置具有使用寿命长度特点。
空气隔离电离真空计装置

[发明专利]注入机真空计损坏复机控制装置及复机方法-CN201811327433.2在审
发明人：刘佳磊;裴雷洪;严骏;石庆球 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2018-11-08 - 公布日： 2019-03-19 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于半导体技术领域的注入机真空计损坏复机控制装置，所述复机控制装置包括一真空计和至少一个备用真空计以及至少一个开关阀，所述真空计和所述备用真空计均安装于所述注入机内，用于监测注入机反应腔体内的真空值，所述开关阀用于在所述真空计与所述备用真空计之间进行切换，于同一时间内，在所述注入机内存在有单一的所述真空计进行工作，与现有技术相比，本发明结构简单，制造成本低，而且应用该复机控制装置在更换真空计时无需将注入机反应腔体从高真空状态恢复为大气状态，也无需在更换真空计后进行真空监测测试，大大降低了真空计的更换复杂度，大幅减少了真空计的更换时间。
真空计注入机复机控制装置备用开关阀半导体技术领域高真空状态大气状态反应腔体真空监测制造成本反应腔复杂度应用计时体内测试监测恢复

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