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[发明专利]一种钛靶材的处理方法及处理后钛靶材和用途-CN202110190968.5在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李宁 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-02-18 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种钛靶材的处理方法及处理后钛靶材和用途，所述处理方法包括采用第一刀具对钛靶材进行第一车削，得到粗处理钛靶材；采用材质为金刚石的第二刀具对所述初处理钛靶材进行第二车削，得到精处理钛靶材；对所述精处理钛靶材进行抛光处理，得到处理后钛靶材，所述处理方法能够降低钛靶材表面的应力层厚度与粗糙度，处理后钛靶材应用于溅射成膜中，提高钛靶材在溅射中的使用质量与使用寿命，减少溅射过程中的初期功耗。
一种钛靶材处理方法后钛靶材用途

[发明专利]一种新型CIGS电极用钛合金复合靶材镀膜及其制备方法-CN201811488519.3在审
发明人：王家和;黄信二 -专利权人：研创应用材料（赣州）股份有限公司
申请日： 2018-12-06 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种新型CIGS电极用钛合金复合靶材镀膜及其制备方法，制备该镀膜的钛合金复合靶材包括钛钠复合靶材和钛钾复合靶材中的至少一种，所述钛钠复合靶材和钛钾复合靶材分别为钛粉末与钛钠氧化物粉末、钛粉末与钛钾氧化物粉末通过热压成型工艺制成在制得钛钠复合靶材和钛钾复合靶材基础上，分别以钛钠复合靶材和钛钾复合靶材为材料，或者同时以钛钠复合靶材和钛钾复合靶材为材料通过真空溅镀的方式制得复合靶材镀膜，本发明的钛合金靶材制程温度相对较低，且材料化性及物性较稳定，原料相对便宜，既降低了靶材生产成本，又提高了靶材的产率，应用于CIGS薄膜太阳能电池组件中可以显著提高CIGS薄膜太阳能电池的光电转换效率。
复合靶材钛钾钛合金镀膜靶材制备钛粉末电极光电转换效率氧化物粉末物性材料通过钠氧化物热压成型真空溅镀材料化产率制程生产成本应用

[发明专利]一种平面异型钛靶组件的制备方法-CN202110758415.5在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;陈石;廖培君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-07-05 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种平面异型钛靶组件的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：对钛靶坯端面进行车削加工螺纹处理，将所述钛靶坯加工至所需形状，得到钛靶材；在背板表面加工凹槽，所述凹槽与所述钛靶材形状相匹配；将所述钛靶材与所述背板进行装配，并依次进行包套焊接以及热等静压焊接；对焊接后的所述钛靶材与所述背板进行校平处理，得到所述平面异型钛靶组件。所述制备方法制备得到的钛靶材组件尺寸精度高，靶材平面度好，焊接结合率和结合强度高，焊接结构适用于不同厚度设计的靶材。
一种平面异型组件制备方法

[发明专利]一种钛靶材晶粒细化的方法及钛靶材-CN202110758654.0在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;周敏 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-07-05 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种钛靶材晶粒细化的方法及钛靶材，所述方法包括以下步骤：(1)在400‑500℃下对钛靶材进行预热；(2)将步骤(1)所得钛靶材进行三向锻造；(3)冷却步骤(2)所得钛靶材，得到晶粒尺寸为10‑20μm的钛靶材。本发明提供的方法专用于钛靶材的晶粒细化，改善了钛靶材溅射性能和溅射环境，提升了镀膜质量的同时简化了工艺流程，降低了加工成本。
一种钛靶材晶粒细化方法

[发明专利]钨钛靶材的制造方法和钨钛靶材组合的制造方法-CN201210374822.7有效
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2012-09-27 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： B22F3/16 文献下载
摘要：本发明公开了钨钛靶材的制造方法和钨钛靶材组合的制造方法。其中，所述钨钛靶材的制造方法包括：在模具中装入钨粉和钛粉的混合粉末；对所述混合粉末进行冷压成型处理，形成钨钛靶材坯料；将所述钨钛靶材坯料进行真空热压烧结处理，形成钨钛靶材。本发明所公开的钨钛靶材的制造方法通过冷压成型处理和真空热压烧结及相关工艺参数的设定，制得的靶材致密度大于或者等于99%的钨钛靶材，并且所获得的钨钛靶材微观结构均匀，具有优异的溅射使用性能。
钨钛靶材制造方法组合

[发明专利]钼钛靶材的制造方法-CN201510195487.8在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;段高林 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2015-04-22 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：一种钼钛靶材的制造方法，包括：提供钼粉和钛粉；将所述钼粉和所述钛粉进行混合，形成混合粉末；采用保温温度为1200℃～1300℃的真空热压工艺将所述混合粉末制成钼钛靶材坯料；将所述钼钛靶材坯料制成钼钛靶材本发明通过采用真空热压工艺，将经过混合的钼粉和钛粉制成钼钛靶材，而且1200℃～1300℃的保温温度有利于钼原子和钛原子的扩散，因此能够有效的降低所制成钼钛靶材内部的空隙率，提高靶材的致密度和强度。所以本发明的制造方法能够获得致密度大于或等于99％的高致密度钼钛靶材，并且所获得的钼钛靶材微观结构均匀，能够满足磁控溅射对靶材纯度和密度的要求。
钼钛靶材制造方法

[发明专利]复合钙钛矿靶材及其制备方法、钙钛矿太阳电池的制备方法-CN202310685265.9在审
发明人：易典;王荣福 -专利权人：深圳市汉嵙新材料技术有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本公开提供了一种复合钙钛矿靶材及其制备方法、钙钛矿太阳电池的制备方法。该复合钙钛矿靶材包括：第一子靶材和第二子靶材，第一子靶材和第二子靶材均含有钙钛矿材料，且第一子靶材和第二子靶材中的钙钛矿材料不同；复合钙钛矿靶材呈柱状，柱状的复合钙钛矿靶材的侧表面包括第一侧表面以及位于第一侧表面之外的第二侧表面，至少部分第一子靶材露出于第一侧表面，至少部分第二子靶材露出于第二侧表面。相较于传统的溶液法，该复合钙钛矿靶材是一种溅射用的靶材，能够实现通过溅射法制备钙钛矿薄膜，该复合钙钛矿靶材能够用于制备含有多种钙钛矿材料的钙钛矿薄膜，并且在具有较高的制备效率同时，还能够保证钙钛矿薄膜的均匀性
复合钙钛矿靶材及其制备方法钙钛矿太阳电池

[发明专利]钨钛靶材的车削方法-CN201510315997.4在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;马松 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2015-06-10 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： B23B1/00 文献下载
摘要：一种钨钛靶材的车削方法，包括：提供钨钛靶材和背板；将所述钨钛靶材和背板焊接在一起，形成钨钛靶材组件；采用第一刀具对所述钨钛靶材组件中的所述钨钛靶材进行第一车削，所述第一刀具切削刃的夹角为80°；在所述第一车削后，对所述钨钛靶材组件的所述背板进行加工；在对所述钨钛靶材组件的所述背板进行加工后，采用第二刀具对所述钨钛靶材的坯料进行第二车削，所述第二刀具切削刃的夹角为35°～55°。所述车削方法以提高所形成的钨钛靶材的质量，并且减缓刀具的磨损。
钨钛靶材车削方法

[发明专利]靶材与背板的焊接方法-CN201110329889.4无效
发明人：潘杰;姚力军;王学泽;周友平 -专利权人：余姚康富特电子材料有限公司
申请日： 2011-10-26 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：一种靶材与背板的焊接方法，包括：提供钛靶材和铝背板；将钛靶材焊接面加工成螺纹状，对铝背板焊接面进行粗糙度加工；在所述铝背板外侧套上第一模具，在所述钛靶材焊接面的相对面覆盖第二模具；采用热压方法将所述钛靶材与铝背板进行焊接形成靶材组件；对所述靶材组件进行热处理。本发明技术方案的靶材与背板的焊接方法，焊接后的钛靶材和铝背板之间的结合强度较高，且实现了钛靶材和铝背板的大面积焊接，降低了生产钛靶材和铝背板的靶材组件的成本。
背板焊接方法

[发明专利]钨钛铝靶材组件的焊接方法-CN201310754922.7有效
发明人：姚力军;赵凯;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;张涛 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： B23K20/14 文献下载
摘要：一种钨钛铝靶材组件的焊接方法，包括以下步骤：提供钨钛靶材、铝背板，所述铝背板具有容纳部分所述钨钛靶材的凹槽，所述凹槽的深度为1～2mm；将钨钛靶材置于所述凹槽内，所述钨钛靶材的待焊接面与所述凹槽底面接触，形成靶材组件坯料；将所述靶材组件坯料放入真空包套；利用热等静压工艺将所述钨钛靶材的待焊接面与所述凹槽底面焊接形成钨钛铝靶材组件；焊接完成后，对所述真空包套进行冷却，去除所述真空包套以获得所述钨钛铝靶材组件采用本发明的方法能够实现靶材高强度的焊接。
钨钛铝靶材组件焊接方法

[发明专利]一种医疗器械表面镀钛处理装置及处理方法-CN201910754122.2在审
发明人：张波;朱理瀚;金旭栋;龙海燕;虞文武;聂俊;马雯雯 -专利权人：常州机电职业技术学院
申请日： 2019-08-15 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：本发明提出了一种医疗器械表面镀钛处理装置及处理方法，属于表面镀钛处理技术领域，特别是涉及一种医疗器械表面镀钛处理装置及处理方法。解决了现有镀钛装置及方法会导致器械表面的钛镀层不均匀、生产效益低和通用性差的问题。它包括真空室、底座、动力机构、货杆、放电电源和磁控靶位，所述底座同心设置于真空室内，所述底座与动力机构相连，所述磁控靶位包括中心靶位和立式靶位，所述中心靶位上套接环柱状钛靶，所述立式靶位数量为多个，多个立式靶位沿真空室圆周方向均布在真空室内壁上，每个立式靶位上均装有三个圆形钛靶，所述环柱状钛靶和圆形钛靶均与放电电源相连，所述货杆与底座通过行星机构相连。它主要用于医疗器械表面镀钛处理。
靶位镀钛医疗器械表面钛靶底座处理装置动力机构放电电源磁控靶真空室货杆真空室内壁表面镀钛器械表面通用性差同心设置行星机构不均匀环柱状钛镀层接环均布上套柱状室内生产

[发明专利]一种高纯度钛靶材的制备工艺-CN201010013545.8无效
发明人：罗建辉 -专利权人：宝鸡市巨成钛业有限责任公司
申请日： 2010-01-05 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种钛含量超过99.95％的高纯度钛靶材的制备工艺领域。采用的技术方案是：选用符合国家标准的海绵钛，采用电子轰击炉进行提纯，或采用碘化法制成碘化钛，再通过真空自耗熔炼制成钛锭，其中钛锭中Fe＜0.05％；O＜0.04％；N＜0.015％，最后通过机加工将钛锭切割成钛棒靶材或钛材靶材等各种钛靶材本发明解决了传统的钛靶材制备工艺存在的纯度低、成品率低、生产成本高等技术问题，制备的钛靶材纯度高，可广泛应用于光数据存储工业(光盘工业)、光通讯工业等高精尖行业，改变了我国高纯度钛靶材长期依赖进口的不利局面，满足了目前我国对高纯度钛靶材的生产使用要求。
一种纯度钛靶材制备工艺

[发明专利]靶材组件的制作方法-CN200910140415.8无效
发明人：姚力军;王学泽;欧阳琳;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-05-08 - 公布日： 2010-02-17 - 主分类号： B23K1/08 文献下载
摘要：一种靶材组件的制作方法，包括：提供钛靶材坯料、背板和钎料，所述背板四周形成有侧壁；对钛靶材坯料进行预热，将钎料均匀分布在钛靶材坯料的结合面与坯料外周，使得钎料在钛靶材坯料的结合面和外周充分浸润，去除钛靶材坯料结合面和外周上的钎料；对背板的结合面进行打磨处理，对背板进行预热，将钎料均匀分布在背板的结合面和侧壁内侧，超声波处理添加钎料的背板；对钛靶材坯料和背板进行钎焊，将钛靶材坯料焊接至背板形成靶材组件；冷却靶材组件。本发明能够有效避免钛靶材坯料和背板在焊接过程中氧化以及钎料氧化，并且焊接的靶材组件结合强度高，产品加工周期短。
组件制作方法

[发明专利]一种钛铝合金靶材的制备方法-CN202011231607.2在审
发明人：黄永香 -专利权人：湖南七点钟文化科技有限公司
申请日： 2020-11-06 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种钛铝合金靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将钛粉和铝粉置于真空滚动混料机中混合，得到混合物；B)将所述混合物采用滚动加热熔炼工艺制备钛铝合金靶材生坯，将所述钛铝合金靶材生坯进行热压烧结，得到钛铝合金靶材粗品；C)将所述钛铝合金靶材粗品进行退火，得到钛铝合金靶材。本申请制备了具有组织均匀晶粒细小、高耐热冲击性能的钛铝合金靶材，该种合金靶材作为旋转靶真空镀膜，可得到高电阻、抗电磁干扰、防静电、抗磨损的优质薄膜，可增加膜层的均匀性，提高靶材的利用率。
一种铝合金制备方法

[发明专利]靶材组件的焊接方法-CN201410854699.8有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;袁海军 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2014-12-31 - 公布日： 2018-04-13 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种钨钛靶材组件的焊接方法，包括提供钨钛靶材、铜背板和中间层；将所述钨钛靶材、中间层和铜背板置于真空包套内并使所述中间层与所述钨钛靶材的待焊接面和铜背板的待焊接面贴合；利用热等静压工艺将所述钨钛靶材、中间层和铜背板焊接在一起以形成钨钛靶材组件；焊接完成后，对所述真空包套进行冷却，去除所述真空包套以获得所述钨钛靶材组件。通过本发明的焊接方法，可以实现钨钛靶材与铜背板之间的焊接，并且焊接效率较高，形成的钨钛靶材组件的焊接强度较高、变形量小，能够满足长期稳定生产和使用靶材的需要。
组件焊接方法

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