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[发明专利]曝光量测装置及其量测平台-CN201610089588.1有效
发明人：祖伟 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2016-02-18 - 公布日： 2018-02-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明的优选实施例提供了一种曝光量测装置及其量测平台，用于量测基板上曝光图案的临界尺寸及覆盖数据。所述曝光精度量测装置包括整体式上板，具有上表面，所述上表面用于承载基板；整体式下板，设置于所述整体式上板下方；以及多个高度调整机构，设置于所述整体式上板及所述整体式下板之间，用于支撑于所述整体式上板以及所述整体式下板之间
曝光装置及其平台

[实用新型]快速量测平台-CN201620406231.7有效
发明人：郑进忠 -专利权人：禾宝机械有限公司
申请日： 2016-05-06 - 公布日： 2016-09-21 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：一种快速量测平台，包括一基座、一量测模组、一第一抵顶模组及一第二抵顶模组，该基座具有一工作台可供承置一标准件或一加工件，该量测模组包括一量表，该量表具有一探针可供顶于该标准件或该加工件的上侧边以显示出相对应的量测数值
快速平台

[实用新型]影像量测平台-CN200820182577.9无效
发明人：吴水胜 -专利权人：源台精密科技股份有限公司
申请日： 2008-12-30 - 公布日： 2009-11-18 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：一种影像量测平台，其包含有一接设有一立柱的底座，一手动调整座是套接于立柱上，且手动调整座可沿该立柱进行一上下移动行程，并得以立柱为轴心进行一旋摆动作，一旋臂以其一端对应接设于手动调整座上，并得随手动调整座进行一调整位移，且旋臂另一端则具有一可供接设一影像镜头的容置部，一影像量测校正片借一定位单元而接设于邻近旋臂容置部的侧边上，而影像量测校正片得以定位单元为基础进行一上下移动行程以及一旋摆动作，并借定位单元的固定以令影像量测校正片可定位于预设的高度及旋摆角度
影像平台

[发明专利]一种晶圆形貌量测设备及其使用方法-CN202110752796.6在审
发明人：杨杰;蒋君;孔玉朋;宋昌万 -专利权人：拓思精工科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-07-02 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆形貌量测设备及其使用方法，包括量测机架、位于所述量测机架上的量测平台、位于所述量测平台上的X轴模组、能够沿所述X轴模组长度方向进行运动的Y轴模组、能够沿所述Y轴模组长度方向进行运动的驱动气缸以及位于所述驱动气缸活塞杆端的量测传感器；所述量测平台数量为两个，所述量测平台通过减震支撑块与所述量测机架连接，所述量测平台上设置有载具，晶圆位于所述载具上；所述X轴模组位于一量测平台上，另一量测平台上设置有驱动模组。本发明在量测机架、量测平台、X轴模组、Y轴模组、驱动气缸以及量测传感器的配合作用下，实现了对晶圆表面平坦度的快速量测，量测精度高，误差较低。
一种圆形貌量测设备及其使用方法

[实用新型]一种晶圆形貌量测设备-CN202121506498.0有效
发明人：杨杰;蒋君;孔玉朋;宋昌万 -专利权人：拓思精工科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-07-02 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆形貌量测设备，包括量测机架、位于所述量测机架上的量测平台、位于所述量测平台上的X轴模组、能够沿所述X轴模组长度方向进行运动的Y轴模组、能够沿所述Y轴模组长度方向进行运动的驱动气缸以及位于所述驱动气缸活塞杆端的量测传感器；所述量测平台数量为两个，所述量测平台通过减震支撑块与所述量测机架连接，所述量测平台上设置有载具，晶圆位于所述载具上；所述X轴模组位于一量测平台上，另一量测平台上设置有驱动模组。本实用新型在量测机架、量测平台、X轴模组、Y轴模组、驱动气缸以及量测传感器的配合作用下，实现了对晶圆表面平坦度的快速量测，量测精度高，误差较低。
一种圆形貌量测设备

[发明专利]一种陶瓷盘形貌量测设备及其使用方法-CN202110752797.0在审
发明人：杨杰;蒋君;孔玉朋;宋昌万 -专利权人：拓思精工科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-07-02 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种陶瓷盘形貌量测设备及其使用方法，包括量测机架、位于所述量测机架上的量测平台、位于所述量测平台上的X轴模组、能够沿所述X轴模组长度方向进行运动的Y轴模组、能够沿所述Y轴模组长度方向进行运动的驱动气缸以及位于所述驱动气缸活塞杆端的量测传感器；所述量测平台数量为两个，所述量测平台通过减震支撑块与所述量测机架连接；所述X轴模组位于一量测平台上，另一量测平台上设置有驱动模组，所述驱动模组与所述X轴模组平行。本发明在量测机架、量测平台、X轴模组、Y轴模组、驱动气缸以及量测传感器的配合作用下，实现了对陶瓷盘表面平坦度的快速量测，量测精度高，误差较低。
一种陶瓷形貌设备及其使用方法

[实用新型]一种陶瓷盘形貌量测设备-CN202121506819.7有效
发明人：杨杰;蒋君;孔玉朋;宋昌万 -专利权人：拓思精工科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-07-02 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种陶瓷盘形貌量测设备，包括量测机架、位于所述量测机架上的量测平台、位于所述量测平台上的X轴模组、能够沿所述X轴模组长度方向进行运动的Y轴模组、能够沿所述Y轴模组长度方向进行运动的驱动气缸以及位于所述驱动气缸活塞杆端的量测传感器；所述量测平台数量为两个，所述量测平台通过减震支撑块与所述量测机架连接；所述X轴模组位于一量测平台上，另一量测平台上设置有驱动模组，所述驱动模组与所述X轴模组平行。本实用新型在量测机架、量测平台、X轴模组、Y轴模组、驱动气缸以及量测传感器的配合作用下，实现了对陶瓷盘表面平坦度的快速量测，量测精度高，误差较低。
一种陶瓷形貌设备

[实用新型]量测机台-CN201921468941.2有效
发明人：酈唯诚;王金源 -专利权人：旭晖应用材料股份有限公司;源台精密科技股份有限公司;全洋(黄石)材料科技有限公司
申请日： 2019-09-05 - 公布日： 2020-03-20 - 主分类号： G01B21/00 文献下载
摘要：一种量测机台，其主要是于机台本体中的平台载体平坦顶面固设口字形石材平台，平台载体与石材平台皆为花岗岩或大理石制成至少具备00级精度的部件，构成双重高精度的高荷重、不易变形的稳固承载结构，且能达到量测机台整体的平坦度，机台本体上设置量测装置，量测装置的量测组件能被驱动于石材平台上方运动，并以一体式口字形石材平台提供大型或重型待量测对象的承载部件，使其在量测过程中，能够精准地控制石材平台载重后的下垂量于可容许的坐标量测误差范围内量测机台还能在口字形石材平台中嵌设透光载板，作为轻型或小型待量测对象的承载部件，使量测机台也能适用于小型或轻型的待量测对象的量测作业。
机台

[发明专利]一种陶瓷盘量测设备-CN202110026949.9在审
发明人：杨杰;蒋君;孔玉朋;宋昌万 -专利权人：拓思精工科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-01-09 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种陶瓷盘量测设备，包括量测平台、位于所述量测平台一侧的上料组件以及位于所述量测平台上的量测组件；所述量测平台上设置有定位吸盘，所述上料组件包括送料小车与位于所述送料小车一侧的机械手，所述量测组件包括X轴模组、能够沿所述X轴模组长度方向进行运动的Y轴模组以及位于所述Y轴模组运动端的量测头，所述量测头与所述定位吸盘位置对应。本发明在量测平台、上料组件以及量测组件的配合作用下，采用量测头对陶瓷盘上晶片贴附后的晶片厚度进行检测，无需人工操作，减少了人力的消耗，提高了检测效率，并且减震平台与直线电机模组的配合使用，能够极大地降低检测过程中陶瓷盘所受的震动
一种陶瓷盘量测设备

[发明专利]自动量测方法与系统及其步进量测方法-CN200610108169.4无效
发明人：吴晓铁 -专利权人：威盛电子股份有限公司
申请日： 2006-07-31 - 公布日： 2007-02-21 - 主分类号： G06F3/023 文献下载
摘要：本发明提出一种自动测试的方法与系统，利用一仿真设备仿真键盘/鼠标的功能，做为计算器控制测试平台的输入设备，以控制测试平台测试受测设备或软件。再经由量测设备量测测试平台或受测设备的受测讯号后产生量测数据给控制计算器，控制计算器可依据量测数据调整量测设备的量测范围。
动量方法系统及其步进

[发明专利]血流动力学平台量测方法-CN202110967858.5在审
发明人：王明义;刘省宏;李建邦 -专利权人：映泰股份有限公司
申请日： 2021-08-23 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： A61B5/029 文献下载
摘要：一种血流动力学平台量测方法，是以电子血压计的压脉带在压力介于55至70毫米汞柱的量测平台，以固定压力保持一段时间对待测者进行脉搏波的量测，由量测到的多个脉搏波中撷取至少一脉搏波，以各脉搏波的波形、特征点的参数配合待测者血压的收缩压、舒张压计算心搏量；本发明通过可于55至70毫米汞柱的适当区间选择量测平台压力的方式，能配合不同待测者的舒张压、生理状况与电子血压计的信号质量来改变量测平台的压力，让各待测者能于适当的量测平台量测取得典型的脉搏波形，提高量测结果的准确度，降低无法量测人数的比例。
血流动力学平台方法

[发明专利]用于量测机台的自动调校方法和系统-CN201610938604.X有效
发明人：阮炯明;张冬平 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2016-10-24 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种用于量测机台的自动调校方法和系统，所述自动调校方法包括：检测量测机台的工作平台的位置是否发生偏移；如果所述工作平台的位置发生偏移，则计算所述工作平台的位置偏移量；以及基于所述位置偏移量修正所述量测机台的量测程式并调校所述工作平台的位置本发明所提供的用于量测机台的自动调校方法和系统能够对工作平台的位置进行自动调校，避免因工作平台位置调校导致的程式重建，也保证了量测程式的稳定性。
用于机台自动调校方法系统

[实用新型]复合式太阳能电池片移动电致发光拍照机构-CN201220275666.4有效
发明人：陈志豪 -专利权人：冯越
申请日： 2012-06-12 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型公开一种复合式太阳能电池片移动电致发光拍照机构，包括一移动平台操控系统和一顶升量测平台操控系统，其中，还包括一移动平台，移动平台的中央具有一上下贯通的中央开口，移动平台操控系统控制移动平台；一顶升量测平台竖直位于移动平台的中央开口中，顶升量测平台操控系统控制顶升量测平台；移动平台的上方固设有一探针装置，并且探针装置正对顶升量测平台。使用本实用新型，通过利用探针固定，顶升量测平台由下向上撑起，形成电池片导电状态，同时利用移动平台传送电池片，使得重复循环量测使用的时间只有顶升以及拍摄时间，有效地减少了等待时间。而且整个移动平台的传送电池片的运动，以及持续做电致发光的拍摄，两者互不干涉。
复合太阳能电池移动电致发光拍照机构

[实用新型]可量测温度的体重计及体脂计-CN200420088118.6无效
发明人：蔡菁菁;吕学顺 -专利权人：蔡菁菁;吕学顺
申请日： 2004-08-25 - 公布日： 2005-10-05 - 主分类号： A61B5/00 文献下载
摘要：一种可量测温度的体重计，包括：一承载平台，具有一显示区及一感测区，承载平台用于承载一待测者以使待测者与感测区形成接触；一重量测定装置，设置于承载平台内以量测待测者的重量值；一温度感测装置，设置于承载平台内，用以量测待测者的温度值；一显示单元，设置于显示区内，用以显示待测者的重量值及温度值。
测温体重计体脂计

[发明专利]一种在BIM施工管理平台上查看隧道监控量测数据的方法-CN201610016971.4在审
发明人：路耀邦;王光辉;卓越;邹翀;宋妍;高军伟;刘东亮;周吉刚 -专利权人：中铁隧道集团有限公司
申请日： 2016-01-11 - 公布日： 2016-06-01 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：一种在BIM施工管理平台上查看隧道监控量测数据的方法，其步骤为：（1）构建隧道三维施工模型，将其发布到BIM施工管理平台；（2）按照施工方案要求，现场布置隧道监控量测测点，并将测试数据录入到监控量测信息管理平台；（3）打通BIM施工管理平台与现有监控量测信息管理平台之间的数据库接口，使BIM施工管理平台上测点模型与监控量测平台上测点数据关联，实现监测数据的共享及传递；（4）在BIM施工管理平台的三维隧道模型上点击测点，直接查看该测点的现场测试数据及变化曲线。实现在BIM施工管理平台的三维模型上直接查看测点的测试数据及变化曲线，有效提升用户体验和工作效率。
一种 bim 施工管理平台查看隧道监控数据方法

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