|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 45个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]一种晶片双面刷洗机-CN202311025164.5在审
-
杨杰;宋昌万;孔玉朋;蒋君;陈传磊
-
拓思精工科技（苏州）有限公司
-
2023-08-15
-
2023-10-27
-
H01L21/67
- 本发明涉及一种晶片双面刷洗机，包括箱体、料仓、移料装置、翻转装置及处理装置，箱体内设置有底板，料仓包括进料仓、出料仓，移料装置包括移料机构、第一抓取机构及第二抓取机构，翻转装置包括第一翻转机构、第二翻转机构，处理装置包括浸泡机构、第一刷洗机构、第二刷洗机构及甩干机构，移料机构位于底板中部，第一料仓、第二料仓和第一刷洗机构分别沿第一方向分布在移料机构两侧，浸泡机构、第一翻转机构和第二翻转机构、第二刷洗机构、甩干机构分别沿第二方向分布在移料机构两侧。本发明实现了对晶片进行全面高效的双面刷洗，自动化程度高，清洗效果好，且不会对晶片造成损伤，整体结构简单、设计巧妙，降低了成本，实用性好。
- 一种晶片双面刷洗
- [实用新型]一种晶片甩干机构-CN202321513867.8有效
-
蒋君;杨杰;宋昌万;孔玉朋
-
拓思精工科技（苏州）有限公司
-
2023-06-14
-
2023-10-24
-
H01L21/67
- 本实用新型涉及一种晶片甩干机构，包括夹持组件、驱动组件及限位组件，夹持组件包括第一转盘、第二转盘及多个夹持件，第二转盘可转动地设置在第一转盘上，夹持件设置在第一转盘上，多个夹持件之间形成夹持区域，多个夹持件用于将晶片夹住，驱动组件与第一转盘连接，用于驱动第一转盘旋转使晶片旋转，第一转盘上开设有第一通槽，第二转盘底部设置有限位柱，限位柱的端部伸出第一通槽，限位组件可沿上下方向伸缩并将限位柱固定，使驱动组件可驱动第一转盘旋转带动夹持件相对第二转盘旋转并将晶片松开。本实用新型仅采用一个驱动源就可实现旋转甩干和夹持松开两个功能，降低了成本，提高了工作效率，自动化程度高，结构简单、设计巧妙，实用性好。
- 一种晶片机构
- [实用新型]一种晶片夹紧旋转机构-CN202321513885.6有效
-
蒋君;杨杰;宋昌万;孔玉朋
-
拓思精工科技（苏州）有限公司
-
2023-06-14
-
2023-10-24
-
H01L21/687
- 本实用新型涉及一种晶片夹紧旋转机构，包括夹持组件、第一驱动组件及第二驱动组件，夹持组件包括第一转盘、第二转盘及第一夹持单元，第一转盘可转动地设置在第二转盘上，第一夹持单元包括多个第一夹持件、第一连杆，第一夹持件可转动地设置在第二转盘上，多个第一夹持件绕第一转盘的轴线分布，每个第一夹持件通过一个第一连杆与第一转盘连接，第一驱动组件与第一转盘连接，用于驱动第一转盘旋转以带动多个第一夹持件旋转将晶片夹紧，第二驱动组件与第二转盘连接，用于驱动第二转盘旋转使晶片旋转。本实用新型通过第一驱动组件可使晶片夹紧，通过第二驱动组件可使晶片旋转，提高了工作效率，自动化程度高，结构简单、设计巧妙，实用性好。
- 一种晶片夹紧旋转机构
- [发明专利]一种晶圆精洗工装-CN202311141737.0在审
-
杨杰;宋昌万;蒋君;孔玉明
-
拓思精工科技（苏州）有限公司
-
2023-09-06
-
2023-10-13
-
H01L21/67
- 本发明提供一种晶圆精洗工装，涉及晶圆精洗工装技术领域，包括底座，所述底座的上方依次设有三个分别用于清洗、冲洗、烘干的精洗滚筒，所述精洗滚筒的两端均转动连接有支撑筒，所述精洗滚筒的上方间隔设置有四个传料筒，所述支撑筒均通过隔离箱与传料筒固定连通，所述精洗滚筒的内侧壁上均螺纹套接有载物短筒，所述精洗滚筒之间设置有用于对载物短筒传动的筒内传动结构，所述载物短筒的侧壁上铰接有活动盖板，所述载物短筒的侧壁上共同转动连接有两个限位传动杆，通过上述技术方案，其目的在于，在晶圆双面高效清洗工装为行业内多样性研发提供的方向上，提供一种能够对晶圆进行双面高效精洗，以及避免精洗过程二次污染的精洗工装。
- 一种晶圆精洗工装
- [实用新型]一种基于晶圆清洗的刷洗组件-CN202320279094.5有效
-
杨杰;宋昌万;蒋君;孔玉朋
-
拓思精工科技（苏州）有限公司
-
2023-02-22
-
2023-09-26
-
B08B11/00
- 本实用新型公开了一种基于晶圆清洗的刷洗组件，包括承载平台、清洗平台，承载平台并沿着半径方向设置若干组定位嘴，使晶圆所在的下端面对定位嘴覆盖并固定，同时承载平台自身产生以中心为轴心的旋转运动；清洗平台的升降支架所在上端部通过横向设置的转动支架连接刷头组件，使得刷头组件位于承载平台所在的上端部；刷头组件的刷头件接触在位于承载平台上的晶圆上表面，通过旋转驱动件带动刷头件接触在晶圆表面时自身同步产生旋转运动，转动支架带动刷头组件从晶圆中心逐步向外沿的偏转运动。整个装置将承载平台与清洗平台相互配合，能够实现将对于晶圆表面的清洁作业，提高了清洗的效率，并实现了全自动化作业。
- 一种基于清洗刷洗组件
- [发明专利]一种晶圆的清洗、甩干装置-CN202310032518.2在审
-
杨杰;蒋君
-
拓思精工科技（苏州）有限公司
-
2023-01-10
-
2023-06-23
-
H01L21/67
- 本发明公开了一种晶圆的清洗、甩干装置，包括安装板，所述安装板的下端面固定安装有固定夹板，所述固定夹板之间固定安装有竖向伸缩机构，所述竖向伸缩机构的下端固定连接在定位板上，所述竖向伸缩机构的上端穿过安装板上设置的安装槽连接有吸附旋转机构和夹持机构，所述竖向伸缩机构的一侧固定安装有旋转电机，所述旋转电机的顶部固定安装有吸附气缸。本发明的有益效果是，这种夹持的方式是通过非撞击的形式进行固定夹持，与晶圆的接触面积小，可以减少对晶圆的污染，且圆周接触固定的方式也可以更好的防止晶圆在离心甩干的过程中发生破裂和损坏，大大提升了产品的合格率。
- 一种清洗装置
- [发明专利]一种晶圆表面清洗装置-CN202310032775.6在审
-
杨杰;蒋君
-
拓思精工科技（苏州）有限公司
-
2023-01-10
-
2023-05-23
-
H01L21/67
- 本发明公开了一种晶圆表面清洗装置，其特征在于，包括固定机箱，所述固定机箱内部设置有第一区、第二区、第三区和第四区，所述第一区内设置有固定安装有晶圆搬运装置和晶圆存取装置，所述第二区内设置有晶圆甩干装置，所述第三区内设置有晶圆刷洗装置，所述第四区内设置有电源驱动装置，所述第一区、所述第二区与第三区之间设置有竖向隔板，所述第二区与第三区之间设置有横向隔板，所述第四区与第一区、第三区之间设置有横向隔板，所述第一区与第二区之间设置有第一通道。本发明的有益效果是，本发明是全自动化对晶圆进行存取、搬运、甩干和刷洗等工艺，节省了大量劳动力，因为避免了人工在清洗过程的参与，避免人工清洗晶圆清洗效果差的问题，进一步提升了产品质量。
- 一种表面清洗装置
- [实用新型]一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置-CN202222600414.0有效
-
杨杰;蒋君
-
拓思精工科技（苏州）有限公司
-
2022-09-29
-
2023-04-28
-
B05C5/02
- 本实用新型公开了一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置，包括安装板，所述安装板上固定安装有注蜡装置，注蜡装置的一侧设置有固定旋转装置，固定旋转装置固定安装在所述安装板上，固定旋转装置包括升降装置、固定吸附装置和旋转装置，所述升降装置固定安装在所述安装板的下板面上，所述旋转装置固定安装在所述升降装置之间，所述旋转装置上的旋转传动轴穿过安装板上的通孔与所述安装板上端的固定吸附装置连接。本实用新型的有益效果是，晶圆本身就很薄脆，采用吸附的方式固定晶圆，且带动晶圆旋转，可以很好的保证晶圆在被涂蜡的过程不被损坏和不被污染，提升了生产加工的品控质量，且极大的减少了的劳动量，进一步提升了产品加工的工作效率。
- 一种适用于加工装置
- [实用新型]一种适用于晶圆的料盘搬运装置-CN202223013722.X有效
-
杨杰;蒋君
-
拓思精工科技（苏州）有限公司
-
2022-11-11
-
2023-04-07
-
H01L21/677
- 本实用新型公开了一种适用于晶圆的料盘搬运装置，包括固定框架，所述固定框架的一侧竖向面板上固定安装有竖向位移模组，所述竖向位移模组通过连接板连接有安装板，所述安装板的上面板上设置有横向位移模组，所述安装板的下面板上固定安装有旋转装置，所述旋转装置的旋转轴与所述横向位移模组连接，所述横向位移模组上安装有料盘存放装置，所述固定框架的底部上固定安装有供电箱。本实用新型的有益效果是，本装置在狭小的空间内，可以在整条产线中实现产线的转向搬运效果，且转向搬运的机构为全自动化，极大的减少了人工的劳动成本，也提高了产品加工的工作效率，全自动化可以减少物料在搬运过程中发生损坏的概率，间接提升了产品的品控质量。
- 一种适用于搬运装置
- [发明专利]一种陶瓷盘清洗处理装置-CN202211541261.5在审
-
杨杰;蒋君
-
拓思精工科技（苏州）有限公司
-
2022-12-02
-
2023-03-24
-
H01L21/67
- 本发明公开了一种陶瓷盘清洗处理装置，包括外壳，外壳的顶板在第一工位、第二工位和第三工位的位置分别固定安装有排风口，外壳的顶板在第四工位的位置固定安装有高效过滤器FFU，外壳的内部设置有晶圆搬运装置、晶圆清洗装置和晶圆存取机构，晶圆存取机构固定安装在所述第一工位和第四工位的一侧，第四工位的晶圆清洗装置上还固定安装有吹气清理装置。本发明的有益效果是，通过上端的排风口对晶圆进行药水的喷淋，同时利用上部毛刷和下部毛刷对晶圆进行清理，且是多工位同时进行药水的清洗，可以提高药水清洗的效率，在药水清洗完成后，在第四工位进行水洗，保证晶圆的表面的洁净度，将残留于晶圆表面的污染物质应尽数去除。
- 一种陶瓷清洗处理装置
- [实用新型]一种晶圆的悬吊搬运机构-CN202222803964.2有效
-
杨杰;蒋君
-
拓思精工科技（苏州）有限公司
-
2022-10-24
-
2023-03-21
-
H01L21/677
- 本实用新型公开了一种晶圆的悬吊搬运机构，包括安装在底板上的横向位移机构，横向位移机构上通过横向滑块连接有竖向位移机构，竖向位移机构上通过竖向滑块连接有直角连接轴，直角连接轴的一端固定连接有距离调节机构，距离调节机构上连接有延伸板，延伸板的一端固定连接有夹持机构。本实用新型通过夹持机构对晶圆进行夹持搬运，将晶圆夹起来通过横向位移机构和竖向位移机构进行不同工位的搬运，只要通过距离调节机构带动左夹持机构和右夹持机构进行左右距离的调节，将晶圆通过夹持柱底部的倒T形结构带起晶圆，保证不碰到晶圆的面上，只通过接触晶圆的圆周对晶圆进行搬运，大大减少了晶圆在搬运过程中，晶圆的面被碰到所产生的对晶圆的污染。
- 一种悬吊搬运机构
- [实用新型]一种用于晶圆料盘的加热装置-CN202222819486.4有效
-
杨杰;蒋君
-
拓思精工科技（苏州）有限公司
-
2022-10-24
-
2023-03-14
-
H01L21/67
- 本实用新型公开了一种用于晶圆料盘的加热装置，包括安装板，安装板上固定安装有横向滑轨，横向滑轨上通过滑块安装有加热盘，加热盘的中心在圆周方向设置有距离相等的定位机构，加热板的一侧设置有竖向滑轨，定位机构和竖向滑轨均固定安装在安装板上，竖向滑轨上通过滑块安装有物料搬运机构，加热盘的底部设置有用于顶升和缓降料盘的顶升机构。本实用新型的有益效果是，顶升机构上的托料杆从加热盘上的通孔升到加热盘的上方将料盘顶起，物料搬运机构移出加热盘的正上方，顶升机构控制托料杆将料盘缓慢下降至料盘完全被放置在加热盘上，再控制加热盘在横向滑轨上移送，使得料盘在加热盘上被运送的同时还可以进行加热，大大提升了晶圆加工的效率。
- 一种用于晶圆料盘加热装置
- [发明专利]一种晶圆双面刷洗装置-CN202211541268.7在审
-
杨杰;蒋君
-
拓思精工科技（苏州）有限公司
-
2022-12-02
-
2023-02-24
-
H01L21/67
- 本发明公开了一种晶圆双面刷洗装置，包括容器框架，容器框架上设置有圆周旋转装置、吹气清洗装置和检测装置，所述容器框架的一侧设置有毛刷清洗装置，所述毛刷清洗装置包括固定设置于晶圆下方的下部清理毛刷和移动设置于晶圆上方的上部清理毛刷，所述下部清理毛刷和上部清理毛刷的固定端均在所述毛刷清洗装置上。本发明的有益效果是，双面刷洗装置可以实现对精圆片的双面刷洗，并配合晶圆片旋转驱动装置对晶圆片进行旋转，达到对晶圆片的全方位刷洗，刷洗效果好，而且工作效率高，且驱动旋转的机构采用圆周旋转装置，可以做到最小接触面积带动晶圆旋转，减少了晶圆在旋转清理过程中被二次污染的面积和概率，提升了刷洗的清洁完整度。
- 一种双面刷洗装置
|
