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- [发明专利]一种低光泽度酸腐片的加工方法-CN201210508333.6无效
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孙晨光;王玮;吉敏;刘园;李满
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天津中环领先材料技术有限公司
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2012-12-03
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2013-04-03
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C30B33/10
- 本发明涉及一种低光泽度酸腐片的加工方法。其工艺是：1.将酸腐片双面去除量控制在32±2μm；酸腐蚀液寿命为30000～50000标片；2.配制酸腐蚀液：氢氟酸7.06～8.07%，硝酸40.5～42.2%，醋酸22.67～27.96%，加去离子水混合；3.酸腐蚀液的温度保持在30-40℃；4.每腐蚀50片，酸腐蚀液排出量和补充量为酸腐蚀液总量的0.75%～1.25%；5.采用机械手摇动，以降低局部腐蚀温度。在保证腐蚀酸腐片去除量的前提下，通过控制酸腐蚀液的浓度和寿命以及降低局部腐蚀温度等工艺来降低酸腐片的表面光泽度，所获得酸腐片的表面光泽度达到10-25GS，从而满足客户对低光泽度腐蚀片的需求。同时通过采用该工艺，硅片外观看起来不“刺眼”，有利于产品良率的提高，从而实现了低光泽度酸腐片的量产。
- 一种光泽酸腐加工方法
- [发明专利]区分不同规格滚动体的酸腐蚀工装-CN202211229965.9在审
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徐园园;赵方园;李浩;陈家琪;刘健
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中国航发哈尔滨轴承有限公司
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2022-10-08
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2022-11-29
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C23F1/16
- 区分不同规格滚动体的酸腐蚀工装，它属于滚动体酸腐蚀检查工艺技术领域。它解决了现有酸腐蚀工装存在的问题。酸腐蚀工装：它包括托盘柜体式框架和抽屉式分格托盘；托盘柜体式框架中设有多个隔断；抽屉式分格托盘置于隔断上，内设分格板将托盘四等分；设置铁柱将抽屉式分格托盘阻挡在托盘柜体式框架中。本发明中区分不同规格滚动体的酸腐蚀工装，结构简单，易于操作，占用空间小，可以同时进行小批量多品种的滚动体酸腐蚀。本发明中区分不同规格滚动体的酸腐蚀工装，采用分隔式工装设计，能够满足不同型号/不同批次的滚动体可以同时进行酸腐蚀的要求，达到提升生产产能和提高溶液使用效率的目的。本发明工装适用于区分不同规格滚动体的酸腐蚀。
- 区分不同规格滚动酸腐工装
- [实用新型]酸蒸发装置-CN202022747566.4有效
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蔡红荣
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宁夏金梯氟塑防腐设备有限公司
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2020-11-24
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2021-08-06
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B01D1/00
- 本实用新型公开一种酸蒸发装置，其包括第一钢支撑壳体、第二钢支撑壳体、第一耐酸腐蚀内衬层、第二耐酸腐蚀内衬层和加热组件，第一钢支撑壳体设置酸液加入管、第一固定管和第二固定管，第二钢支撑壳体设置酸蒸汽排出管，酸液加入管、第一固定管、第二固定管和酸蒸汽排出管内壁上分别设置第三耐酸腐蚀内衬层、第四耐酸腐蚀内衬层、第五耐酸腐蚀内衬层和第六耐酸腐蚀内衬层，上述的耐酸腐蚀内衬层分别将外设的壳体完全与酸液隔离，形成密封性良好的酸容器，加热组件的进入管固定在第一固定管中，进入管和第四耐酸腐蚀内衬层密封连接，引出管固定在第二固定管中，引出管和第五耐酸腐蚀内衬层密封连接，在确保密封的同时实现了酸溶液的加热。
- 蒸发装置
- [发明专利]一种单晶硅晶圆单切腐蚀片的加工方法-CN201210508258.3无效
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罗翀;甄洪昌;徐荣清;韩贵祥;李翔
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天津中环领先材料技术有限公司
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2012-12-03
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2013-04-03
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C30B33/10
- 本发明涉及一种单晶硅晶圆单切腐蚀片的加工方法。其工艺是：1.将硅片双面去除量控制在20±2μm；2.酸腐蚀液配比：氢氟酸9.03~12.41%、硝酸39.9~42.0%、醋酸19.2~23.1%加去离子水混合；3.在酸腐蚀液中添加氨水作为添加剂，氨水为酸腐蚀液总量的1.08~2.48%；4.经腐蚀后的硅片表面光泽度控制在2～4Gs；5.在酸腐蚀过程中，选择在氮气位置为50～150mm吹氮气，氮气流量100～300L/min，氮气压力80～300Pa，氮气时间为全程；6.酸腐蚀液循环量为300L，在每腐蚀50片后，酸腐蚀液排出量为1～2L，酸腐蚀液补入量为0.3～1L。通过该方法制备单晶硅晶圆切片腐蚀片替代研磨腐蚀片，不仅省去倒角到研磨等加工流程，而且增加出片率，大幅度地降低了成本。从而达到以制备单晶硅晶圆切片腐蚀片替代研磨腐蚀片的目的。
- 一种单晶硅晶圆单切腐蚀加工方法
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