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- [发明专利]载流子迁移率的提取方法-CN201010177642.0有效
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许军;梁仁荣;王敬
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清华大学
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2010-05-20
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2010-09-22
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G06F17/50
- 本发明提出一种载流子迁移率的提取方法,包括:测量给定MOS器件的转移特性以及输出特性;根据栅源电压Vgs的初始值和沟道横向电场Ex的初始值获得载流子迁移率的计算值;根据载流子迁移率的计算值计算对应的漏极电流的测量值进行比较,判断两者误差是否满足精度要求;如果两者误差不满足精度要求,则进一步调整沟道横向电场Ex的值,并重复上述步骤,直至满足精度要求;如果两者误差满足精度要求,则获得Vgs的初始值对应的载流子迁移率值,并按照预定步长继续调整所述Vgs的值,重复上述步骤,直至获得给定Vgs的范围内载流子迁移率的曲线。通过本发明实施例能够获得准确的载流子迁移率μeff的曲线。
- 载流子迁移率提取方法
- [发明专利]离子迁移率分析装置-CN202110429155.7在审
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张小强;王珂珂;孙文剑
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株式会社岛津制作所
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2021-04-21
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2022-10-21
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H01J49/16
- 本发明属于离子迁移谱领域,公开了一种高占空比离子迁移率分析装置及分析方法,包括:离子源、第一离子存储区域、第二离子存储区域、离子迁移率分析器。离子迁移率分析器包括第一、第二两个通道,通道内包含与离子迁移方向同轴的气流及与气流方向反向的直流电场,且两通道内直流电场强度不同,在一个连续扫描周期内,将未到合适扫描条件或已经错过合适扫描条件,而不能通过该迁移率分析器的离子,暂时存储在两个独立的离子存储区域中而不会被损失掉,等到该扫描周期或者下个扫描周期条件合适时,再通过迁移率分析器进行分析。本发明能够提高过滤型离子迁移谱仪的占空比,从而提高其灵敏度和实际分析时的定性能力。
- 离子迁移率分析装置
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