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[发明专利]表面声波器件-CN200410090435.6无效
发明人：折户悟士;大浦毅;竹崎徹;市川聪;和知宽忠;田中敏文;和田刚一 -专利权人：富士通媒体部品株式会社
申请日： 2004-11-18 - 公布日： 2005-05-25 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：一种表面声波(SAW)器件，包括：压电基板；设置在所述压电基板上的第一叉指式换能器和第二叉指式换能器。第二叉指式换能器的一端与第一叉指式换能器的相应一端基本上对齐，并且第二叉指式换能器的另一端被设置为使第二叉指式换能器可以调节由于压电基板的能流角而导致的泄漏波。
表面声波器件

[实用新型]一种新型声表面波传感器-CN201920760261.1有效
发明人：李卫;潘沛锋;蔡云;王琳琳;冯烨;赵健胜;郝文斌;陈剑锋 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型声表面波传感器，包括压电基板，压电基板上部两侧分别设置有输入叉指式换能器和输出叉指式转化器，压电基板上设置有二氧化硅阵列，二氧化硅阵列位于输入叉指式换能器和输出叉指式转化器之间的感应区，二氧化硅阵列与感应区波传播方向垂直，二氧化硅阵列的长度与输入叉指式换能器和输出叉指式转化器相等，二氧化硅阵列包括等间距平行设置的二氧化硅单元，二氧化硅单元的形状为长方体形。
二氧化硅声表面波传感器输出叉指输入叉指压电基板换能器转化器二氧化硅单元本实用新型感应区等间距平行设置长方体形传播过程方向垂直压电介质表面波波传播电位移相等

[实用新型]声表面波器件用新型锥形叉指换能器-CN201020228776.6有效
发明人：陈培杕;何朝峰;赵晓红 -专利权人：中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请日： 2010-06-18 - 公布日： 2011-01-05 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种声表面波器件用新型锥形叉指换能器，它由两端矩形换能器中间夹住一个锥形换能器构成，所述上端矩形换能器叉指电极周期与中部锥形换能器叉指电极的最小周期接近，所述下端矩形换能器叉指电极周期与中部锥形换能器叉指电极的最大周期接近，所属两端矩形换能器与中部锥形换能器分别通过两个连接段相连。两端矩形换能器叉指电极周期与中部锥形换能器叉指电极的最大或最小周期相近，频差约为矩形换能器的通带半宽，这样有利于充分体现矩形换能器的频率特性过渡特性。对于矩形换能器和锥形换能器的连接处，由于两者周期相差极小，即使连接段长度很短，也不会对器件性能和制作带来任何困难。
表面波器件新型锥形叉指换能器

[其他]声表面波电视中频滤波器-CN86204292无效
发明人：董广偏 -专利权人：电子工业部第二十六研究所
申请日： 1986-06-18 - 公布日： 1987-01-07 - 主分类号： H04N5/44 文献下载
摘要：该中频滤波器以铌酸锂晶体材料为基片，采用特殊结构设计，在输入和输出叉指换能器之间设置通道传输衰减器，并在输入、输出叉指换能器上可各并入补偿叉指电容。
表面波电视中频滤波器

[发明专利]一种具有横模抑制功能的声表面波换能器及其制备方法-CN202010095481.4有效
发明人：王为标;陆增天;毛宏庆 -专利权人：无锡市好达电子股份有限公司
申请日： 2020-02-17 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有横模抑制功能的声表面波换能器及其制备方法，涉及声表面波器件及其制造领域，该结构包括压电基板以及设置在其上的叉指换能器，叉指换能器包括相对交叉设置的第一叉指电极和第二叉指电极、第一汇流条和第二汇流条，根据叉指换能器的结构还将其划分为叉指区、第一单指区和第二单指区，在叉指区内的相邻叉指电极之间的叉指间隙内开设凹槽，凹槽位于叉指区分别和第一单指区、第二单指区的边缘交界处的叉指区内；通过开设凹槽使得声表面波换能器的叉指区边缘的声速低于叉指区中心的声速，第一单指区和第二单指区的声速高于叉指区中心的声速，从而能够有效抑制声波的横波模式，抑制杂波响应，因此声表面波换能器的性能大幅提高。
一种具有抑制功能表面波换能器及其制备方法

[发明专利]一种声表面波器件及其制备方法-CN202210109625.6在审
发明人：刘宗亮 -专利权人：苏州达波新材科技有限公司;江苏第三代半导体研究院有限公司
申请日： 2022-01-29 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：所述声表面波器件包括第一压电层，所述第一压电层的表面分布有输入区和输出区，所述输入区内设置有输入叉指换能器，所述输出区内设置有输出叉指换能器，所述输入叉指换能器与输出叉指换能器通过传输通道配合，所述传输通道包括第二压电层，所述第二压电层设置在凹槽结构内，所述凹槽结构开设于第一压电层的表面并分布于输入区和输出区之间；所述第一压电层、第二压电层由III族氮化物形成。
一种表面波器件及其制备方法

[发明专利]一种基于声流控的富集分离装置及方法-CN202310190025.1在审
发明人：杨欣;波维拉斯·达姆塞斯;孙超 -专利权人：武汉欧必诺生物科技有限公司
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C12M1/42 文献下载
摘要：本发明提出了一种基于声流控的富集分离装置及方法，通过设置信号发生器、叉指电极和压电基片，压电基片上设有储液区；叉指电极以预定角度在压电基片上形成叉指换能器；储液区部分被声表面波振动区域覆盖；通过调整叉指电极与压电基片参考方向的夹角，以及设置叉指换能器输入信号的频率和功率，在储液区实现外泌体、纳米颗粒或病毒的高效、便捷富集分离，推动了声流控技术在生物医学领域的应用。
一种基于声流控富集分离装置方法

[发明专利]叉指换能器的指条参数确定方法、装置、设备及滤波器-CN202310252594.4在审
发明人：陈晓阳;王永安;叶志;王宇;孟腾飞;高黄杰;周培根;范佰杰 -专利权人：北京航天微电科技有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本发明涉及滤波器技术领域，提供一种叉指换能器的指条参数确定方法、装置、设备及滤波器，该方法包括：获取声表面波滤波器的目标时域信号，根据目标时域信号对声表面波滤波器的叉指换能器进行变迹加权，得到变迹叉指换能器；以变迹叉指换能器的孔径大小为基准，确定变迹叉指换能器中各指条的加权数值；根据加权数值对变迹叉指换能器的指条在孔径方向上进行相位加权，以确定变迹叉指换能器的各指条的指条参数；所述指条参数包括指条长度和指条位置通过变迹加权和相位加权确定指条长度和指条位置，可以使指条在孔径方向上连续排列且与孔径等长，实现变迹换能器的加权效果，以使声表面波滤波器获得高带外抑制，增加滤波器的带宽应用范围。
叉指换能器参数确定方法装置设备滤波器

[发明专利]一种混合有机传感膜的声表面波氨气传感器-CN202110308347.2在审
发明人：徐江城 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2021-03-23 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：铝电极和外围振荡电路；外围振荡电路包括移相电路和放大电路；其中，移相电路用于将声波信号的相位翻转，放大电路用于放大经移相电路相位翻转后的声波信号；声表面波谐振器上设有压电基底，以及从左向右依次设置于压电基底上的反射输入叉指换能器、传感膜、输出叉指换能器和反射栅；输入叉指换能器通过铝电极连接到移相电路的输入端，移相电路输出端通过放大电铝电极连接到输出叉指换能器。
一种混合有机传感表面波氨气传感器

[发明专利]声表面波谐振器-CN201710067035.0有效
发明人：董启明;王宁;李善斌;刘长顺;张伟 -专利权人：深圳华远微电科技有限公司
申请日： 2017-02-07 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种声表面波谐振器，包括基础叉指换能器和反射栅，所述基础叉指换能器包括两个基础叉指换能器单元，并排设置在压电基片上，用于产生声表面波，所述两个基础叉指换能器单元相邻电极条的中心距离为(n+0.05)P～(n+0.2)P(n＝1，2，3…)，所述反射栅设置在所述基础叉指换能器的两侧，用于反射所述基础叉指换能器产生的声表面波，其中，P为所述基础叉指换能器的周期；通过在两个基础叉指换能器单元之间设置特定的间距，使得其产生的声表面波的速度变化被反射系数变化补偿，进而稳定了谐振频率，谐振频率对声表面波谐振器自身的尺寸，如叉指换能器的金属厚度变化不敏感，使得谐振频率更稳定，同时简化了制造工艺。
表面波谐振器

[发明专利]声表面波气体传感器及其制作方法-CN201110340578.8有效
发明人：李冬梅;周文;刘明;谢常青;侯成诚;汪幸;闫学锋 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2011-11-01 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： G01N29/036 文献下载
摘要：本实施例公开了一种声表面波气体传感器及其制作方法，该声表面波气体传感器用于探测NO2气体的浓度，该方法包括：提供基底，所述基底包括本体层和位于所述本体层表面上的输入叉指换能器和输出叉指换能器；在所述基底表面上形成感光层，在感光层表面内形成敏感膜区图形；以具有敏感膜区图形的感光层为掩膜，在所述基底表面上形成具有In2O3与Ag的复合膜；去除所述感光层材料，得到敏感膜，所述敏感膜位于所述输入叉指换能器和输出叉指换能器之间的本体层表面上
表面波气体传感器及其制作方法

[发明专利]级联谐振器-CN201680022232.4有效
发明人：安德烈亚斯·贝格曼 -专利权人：追踪有限公司
申请日： 2016-04-13 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： H03H9/145 文献下载
摘要：在谐振器中，两个叉指换能器(W1，W2)在由所述谐振器限制的声道之内在纵向方向上并排地通过电气方式串联连接。在两个所述叉指换能器之间形成过渡区域(UEB)，在其中，叉指周期p，其被定义为相邻换能器叉指的叉指中心之间的距离，在所述过渡区域中此在其余叉指换能器区域中更高。
级联谐振器

[发明专利]Rayleigh波与love波双模式声波产生器件-CN201310045633.X有效
发明人：文常保;丁娜;巨永锋;李演明;全思;于晓晨 -专利权人：长安大学
申请日： 2013-02-05 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： G10K9/122 文献下载
摘要：本发明公开了一种Rayleigh波与love波双模式声波产生器件，包括在同一压电基片材料上制作Love波激发叉指换能器和Love波接收叉指换能器，还包括覆盖在激发叉指换能器、接收叉指换能器和压电基片上的压电波导层，还包括制作在所述压电波导层上的Rayleigh波激发叉指换能器和Rayleigh波接收叉指换能器。
rayleigh love 双模声波产生器件

[发明专利]一种三维声子晶体反射栅声表面波滤波器及制备方法-CN202310061029.X在审
发明人：杨思川;姜静雯;闫坤坤;黄歆;苗湘;刘璐;赵淄红 -专利权人：北京中科飞鸿科技股份有限公司
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本申请涉及一种三维声子晶体反射栅声表面波滤波器及制备方法，声表面波滤波器包括压电衬底、叉指换能器以及两个反射栅，所述叉指换能器设置于所述压电衬底的上表面，两个所述反射栅分别设置于所述叉指换能器的相对两侧本申请有助于滤除输入声表面波滤波器的杂波。
一种三维晶体反射表面波滤波器制备方法

[实用新型]一种基于压电材料的气体检测装置-CN202120309487.7有效
发明人：高倩倩;戴玉强;张石定;朱尊伟;李志涛;刘洪亮;袁晓峰 -专利权人：安阳工学院
申请日： 2021-02-01 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： G01N29/036 文献下载
摘要：本实用新型涉及气体检测领域，具体提供了一种基于压电材料的气体检测装置，第一叉指换能器、第二叉指换能器、多孔材料部设置在压电体的同侧，多孔材料部置于第一叉指换能器和第二叉指换能器之间，多孔材料部不与第一叉指换能器或第二叉指换能器接触应用时，第一叉指换能器在压电体表面激发声表面波，第二叉指换能器接收压电体表面的声表面波，多孔材料部吸附待测气体，改变了压电体中声表面波的共振频率，通过探测该共振频率的变化，实现待测气体浓度检测。
一种基于压电材料气体检测装置