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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种新型宽带声表滤波器-CN202011013957.1在审
发明人：董元旦;薛浩;赵孟娟;杨涛 -专利权人：成都频岢微电子有限公司
申请日： 2020-09-24 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： H03H3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型宽带声表滤波器，其包括信号输入端、并联连接的第一DMS型滤波器和第二DMS型滤波器、及信号输出端；第一DMS型滤波器包括依次级联的汇流条、叉指换能器结构及反射栅，其中叉指换能器结构包括至少三个数量的叉指换能器，相邻所述叉指换能器之间设置有反射栅；第二DMS型滤波器具有与第一DMS型滤波器相同的上述结构，并设置所述第二DMS型滤波器带通通带的新型谐振峰与第一DMS型滤波器带通通带的栅格谐振峰的谐振频率对齐。
一种新型宽带滤波器

[实用新型]一种新型宽带声表滤波器-CN202022116321.1有效
发明人：董元旦;薛浩;赵孟娟;杨涛 -专利权人：成都频岢微电子有限公司
申请日： 2020-09-24 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型宽带声表滤波器，其包括信号输入端、并联连接的第一DMS型滤波器和第二DMS型滤波器、及信号输出端；第一DMS型滤波器包括依次级联的汇流条、叉指换能器结构及反射栅，其中叉指换能器结构包括至少三个数量的叉指换能器，相邻所述叉指换能器之间设置有反射栅；第二DMS型滤波器具有与第一DMS型滤波器相同的上述结构，并设置所述第二DMS型滤波器带通通带的新型谐振峰与第一DMS型滤波器带通通带的栅格谐振峰的谐振频率对齐。
一种新型宽带滤波器

[发明专利]一种横向模式抑制的声表面波谐振器-CN202110227486.2在审
发明人：郝文昌;骆伟;赵广宏;焦海龙;张小辉;刘铁钢 -专利权人：北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：一种横向模式抑制的声表面波谐振器，基片中心位置处设置有叉指换能器，叉指换能器两侧设置有第一金属反射栅阵和第二金属反射栅阵，叉指换能器和第一金属反射栅阵之间形成第一间隙，叉指换能器和第二金属反射栅阵之间形成第二间隙；叉指换能器两端汇流条处均连接输出引线；定义声孔径垂直方向为x轴，叉指换能器、第一金属反射栅阵、第二金属反射栅阵的上方汇流条在同一直线上，且该直线与x轴的夹角为偏向角，能流角在‑10°～+10°之间，偏向角与能流角不重合
一种横向模式抑制表面波谐振器

[发明专利]表声波谐振器及其制造方法-CN202010761041.8在审
发明人：黄河;李伟;罗海龙 -专利权人：中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司
申请日： 2020-07-31 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种表声波谐振器及其制造方法，所述表声波谐振器包括：基板及设置于基板上的压电层；叉指换能器，设置于压电层的上表面；叉指换能器的间隙之间设有第一介质层，至少部分第一介质层的下表面与压电层的上表面之间设有第一空腔本发明通过在第一介质层临近压电层一侧开设第一空腔，使得叉指换能器的间隙之间的第一介质层悬空，以便于将沿压电层表面传播至第一介质层悬空处的声波反射回去，从而减少声波的损耗；通过叉指换能器将第一空腔分割为多个子第一空腔，以便于将叉指换能器临近于压电层表面的部分暴露于空气中，从而便于消除叉指换能器边界的杂波，进而提升谐振器的整体性能。
声波谐振器及其制造方法

[发明专利]一种声表面波无损检测系统-CN201910177356.5有效
发明人：肖夏;戚海洋 -专利权人：天津大学
申请日： 2019-03-08 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： G01N29/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种声表面波无损检测系统，用以测量测试样片的薄膜特性，包括波形发生器、多个声表面波叉指换能器、压电传感器和计算机。由多个声表面波叉指换能器构成可生成不同频率声表面波的声表面波叉指换能器组，一个声表面波叉指换能器包括一个叉指电极，用以在待测样片上产生单频声表面波；压电传感器用以在待测样片上拾取声表面波的信号，通过对采集到的信号进行处理，从而获得相应频率下声表面波的波速，更换可产生不同频率的声表面波叉指换能器，即可获得该待测样片的声表面波频散曲线，通过将实验频散曲线和理论频散曲线进行匹配即可完成对薄膜特性的无损检测。
一种表面波无损检测系统

[发明专利]一种叉指换能器及蜂窝状结构声表面波滤波器-CN202310104822.3在审
发明人：安虹瑾;安建光;许夏茜;董元旦;杨涛 -专利权人：成都频岢微电子有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H03H9/145 文献下载
摘要：本发明涉及声表面波滤波器技术领域，尤其涉及一种叉指换能器及蜂窝状结构声表面波滤波器；所述叉指换能器包括第一汇流条、第二汇流条、反射栅以及设置在第一汇流条和第二汇流条之间的叉指电极；通过第一汇流条、第二汇流条以及反射栅将第一叉指电极和第二叉指电极合围在内，形成正六边形结构的叉指换能器。并且由于叉指换能器为正六边形，因此将会形成一个相对主要部分的夹角，可以反射声波，减少汇流条漏波，提高声表面波滤波器的性能指标。
一种叉指换能器蜂窝状结构表面波滤波器

[发明专利]叉指换能器指条成型工艺以及声表滤波器-CN202211158553.0有效
发明人：张敬迎;张树民;王国浩 -专利权人：杭州左蓝微电子技术有限公司
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2023-02-07 - 主分类号： H03H3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种叉指换能器指条成型工艺以及声表滤波器，叉指换能器指条成型工艺通过调整光刻图形传统的互联结构，修改版图曝光区，有效地避免了光刻工艺中光刻图形形变异化的情况发生。并在后续的工艺流程中，通过目前已经较为成熟的、被本领域技术人员熟知的光刻、湿法腐蚀或干法刻蚀、去胶工艺，最终得到结构正常无形变异化的叉指换能器指条结构，而无需升级设备或提高其他工序制成能力，即在现有产线工艺制成能力水平上通过优化工艺达到了提高产品良率的效果本发明提供的该叉指换能器指条成型工艺尤其适用于POI晶圆，制备POI SAW器件，提升器件生产良率。
叉指换能器指条成型工艺以及滤波器

[实用新型]一种压电式自动反应芯片-CN201420200610.1有效
发明人：刘国君;赵天;杨志刚;刘建芳;李新波;杨旭豪;吴越 -专利权人：吉林大学
申请日： 2014-04-22 - 公布日： 2014-10-01 - 主分类号： B01J19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种压电式自动反应芯片，从上至下设有数层，依次为微混合器层、第一绝缘层、换能器层和第二绝缘层，其中微混合器层内集成有振动混合池，第一绝缘层设在微混合器层和换能器层之间，换能器层内集成有叉指型换能器和芯片电极，叉指型换能器设在振动混合池的正下方，叉指型换能器与振动混合池的形状相应，振动混合池内的流体在叉指型换能器的作用下振动，叉指型换能器与芯片电极相连接，芯片电极与反应控制器相连，反应控制器由内置程序控制，
一种压电自动反应芯片

[发明专利]一种声表面波的谐振器及其制作方法-CN201810779027.3在审
发明人：汪繁荣 -专利权人：湖北工业大学
申请日： 2018-07-16 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： H03H3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种声表面波的谐振器，包括基板，所述基板的上端设置有叉指换能器和反射器，所述反射器位于叉指换能器的两侧，所述基板包括固定板和安装板，所述安装板位于固定板的上端，且叉指换能器和反射器位于安装板的上端，本方明制备方法简单，通过激光刻蚀机对薄膜层进行刻蚀处理，此时模具能够将模具下方的薄膜层保护住，激光刻蚀机能够将模具外侧的薄膜层烧穿，得到叉指换能器和反射器，操作过程方便简单。
叉指换能器反射器上端安装板薄膜层基板模具激光刻蚀机声表面波固定板谐振器操作过程刻蚀烧穿制备制作

[发明专利]一种沟槽型声表面波液体粘度系数测量装置-CN202010487658.5在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：西安柯莱特信息科技有限公司
申请日： 2020-06-02 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： G01N11/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种沟槽型声表面波液体粘度系数测量装置，基底上设有沟槽，基底和沟槽的上表面设有压电材料层，第一叉指换能器和第二叉指换能器设置在沟槽的两侧。应用时，第一叉指换能器激发声表面波，待测液体置于沟槽内，第二叉指换能器接收声表面波，通过接收的声表面波实现液体粘度系数的测量。
一种沟槽表面波液体粘度系数测量装置

[发明专利]一种基于飞秒激光加工掩膜制备声波器件叉指换能器的系统及方法-CN202111633866.2在审
发明人：王勇;张磊;刘峰江;耿娇;孙潇雨;石理平;仇旻 -专利权人：西湖大学
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： B23K26/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于飞秒激光加工掩膜制备声波器件叉指换能器的系统及方法，该方法利用聚焦飞秒激光在金属薄膜上直写出叉指换能器掩膜，然后将掩膜置于压电衬底上蒸镀金属，最后移除掩膜获得叉指换能器结构。本发明相比于传统微电子光刻工艺，省去了匀胶、烘干、光刻、显影、剥离等过程，大大简化了叉指换能器的制备工艺，具有低成本、工艺简便、绿色环保、可重复使用、易于大规模生产等优点，在大波长、低频声波微流体器件制备方面具有广阔的应用前景
一种基于激光加工制备声波器件叉指换能器系统方法

[发明专利]一种声表面波非接触式雾化装置-CN201810076802.9有效
发明人：李廷华;朱东来;韩熠;吴俊;陈永宽;李寿波;张霞;巩效伟 -专利权人：云南中烟工业有限责任公司
申请日： 2018-01-26 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： A24F47/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种声表面波非接触式雾化装置，其包括压电基底(1)、T型纤维纸(10)、放置于T型纤维纸(10)两侧的第二叉指换能器(52)和第三叉指换能器(53)。所述T型纤维纸(10)、第二叉指换能器(52)和第三叉指换能器(53)紧密贴合在所述压电基底(1)的表面。
叉指换能器非接触式声表面波雾化装置纤维纸基底压电紧密贴合烟液雾化能力强烟雾量抽吸

[发明专利]无源无线温度传感器-CN201310490432.0无效
发明人：王凯武;郑为民;田海林;荆晓东;姚宸;周春红;靳键云;席忠华;闫永芳;乔涛;李海洋;赵群;李江浩;闫俊杰;王秋云 -专利权人：国家电网公司;国网山西省电力公司临汾供电公司
申请日： 2013-10-19 - 公布日： 2014-02-05 - 主分类号： G01K11/00 文献下载
摘要：本发明无源无线温度传感器，属于变电站设备温度监测装置技术领域；解决的技术问题是：提供一种方便变电站设备触点温度监测的装置；采用的技术方案是：无源无线温度传感器，包括：叉指换能器、反射栅、压电基片和传感器天线，所述叉指换能器和反射栅设置在压电基片上，所述传感器天线与叉指换能器电连接，所述叉指换能器、反射栅、压电基片和传感器天线封装在传感器外壳内；本发明适用于电力部门。
无源无线温度传感器

[发明专利]表面声波器件-CN200410090434.1无效
发明人：折户悟士;竹崎徹;市川聪;和知宽忠;大浦毅;田中敏文;和田刚一 -专利权人：富士通媒体部品株式会社
申请日： 2004-11-18 - 公布日： 2005-05-25 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：一种表面声波器件，包括：压电基板；设置在所述压电基板上的第一叉指式换能器和第二叉指式换能器(IDT)。第一叉指式换能器包括频率特性不同并且并联连接的多个轨。第二叉指式换能器包括正规型电极图案。
表面声波器件

[实用新型]一种低衍射效应声表面波滤波器-CN201020055341.6有效
发明人：陈小兵;罗山焱;杜雪松;姚远;丁毅;杨静;杨增涛;曹亮 -专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请日： 2010-01-13 - 公布日： 2010-09-15 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：一种低衍射效应声表面波滤波器，包括压电基片以及设置于压电基片上的发射端叉指换能器和接收端叉指换能器，其特点是：所述发射端叉指换能器和接收端叉指换能器孔径小，孔径宽度介于3.5-15个波长。
一种衍射效应表面波滤波器

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