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- [发明专利]晶圆载具的气体传输结构-CN201811196601.9在审
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郑凯鸿
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乐华科技股份有限公司
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2018-10-15
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2020-04-21
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H01L21/673
- 本发明公开了一种晶圆载具的气体传输结构,包括一架体;架体上设有一转动组件;转动组件上设有一承载座用以承载一晶圆载具。架体上还设有一进出气装置,进出气装置连接有至少一进气组件及至少一出气组件,而进气组件及出气组件会连接至承载座上,当晶圆载具放置于承载座上时,进气组件及出气组件会连接至晶圆载具中,借此将气体导入或导出晶圆载具内,借上述结构,用户可将晶圆载具放置于承载座上,并配合出气组件将晶圆载具内的气体导出,再由进气组件将惰性气体导入晶圆载具内,还可经由旋转组件来旋转晶圆载具,以增加其使用上的方便性及效率。
- 晶圆载具气体传输结构
- [发明专利]双检测器气相色谱仪-CN201210045434.4有效
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吴达;李钢;刘百战
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上海烟草集团有限责任公司
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2012-02-27
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2012-07-18
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G01N30/02
- 本发明公开了一种双检测器气相色谱仪,包括进样口和第一毛细色谱柱,其还包括一载气控制模块,所述载气控制模块包括进气口、第一出气口和第二出气口,所述载气控制模块可控制所述进气口与所述第一出气口、第二出气口的通断,所述进样口通过所述第一毛细色谱柱与所述载气控制模块的进气口连接,所述载气控制模块的第一出气口与一FID检测器连接,所述载气控制模块的第二出气口与一AED检测器连接。该气相色谱仪可有效提高AED检测器的灵敏度,而且可避免溶剂进入反应管污染AED检测器,延长AED检测器的使用寿命。
- 检测器色谱仪
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