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[发明专利]沉积装置及沉积方法-CN201710116613.5在审
发明人：林钟熙;金圭范;金兑龙;朴宰奭;朴镇翰 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2017-02-28 - 公布日： 2017-10-24 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及沉积装置和沉积方法。根据本发明一实施方式的沉积装置包括对衬底执行沉积工艺的沉积单元、包括固定所述衬底的载体以及传送所述载体的传送部件的传送单元、以及布置成与所述沉积单元相邻并且对所述载体执行维修的维护单元，并且所述传送部件包括维护传送部件，该维护传送部件布置于所述沉积单元与所述维护单元之间以将所述载体从所述沉积单元传送至所述维护单元。
沉积装置方法

[发明专利]气相沉积设备和气相沉积方法-CN202110586355.3在审
发明人：柳成龙;金京汉;劝炯斗;郑钟桓;崔庆五;崔承浩 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本公开涉及气相沉积设备和气相沉积方法。所述气相沉积设备包括：载体，在所述载体上安置有基底；沉积腔室，在所述沉积腔室中执行用于将沉积材料沉积到所述基底的沉积工艺；第二腔室，在所述第二腔室中搬运所述载体，在所述载体上安置有完成了所述沉积工艺的所述基底；以及第一腔室，包括机械臂，所述机械臂在真空状态下将完成了所述沉积工艺的所述基底与所述载体分离开以从所述第二腔室传送到所述第一腔室，其中，所述第二腔室始终保持真空状态。
沉积设备和气方法

[发明专利]用于在载体上沉积纤维材料层的方法和装置-CN202080033325.3在审
发明人：保罗·约翰尼斯·弗朗西斯·玛丽亚·詹森;拉蒙·胡伯尔特斯·马蒂斯·索尔伯格 -专利权人：维沃塔公司
申请日： 2020-04-30 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： D01D5/00 文献下载
摘要：用于在载体上沉积纤维材料层(2b)的方法和装置，诸如使用电纺丝工艺。该装置包括在操作期间远离载体定位的沉积单元(2)，并且沉积单元(2)布置成用于以连续的方式在载体上形成纤维材料层(2b)。提供了用于以预定速度(vb)在运输方向上进给载体的载体进给单元(3)，其中，载体包括多个载体板(4)。切割单元(5)存在并且布置在沉积单元(2)的下游，切割单元(5)布置成在多个载体板(4)中的两个相邻载体板之间中切割沉积的纤维材料层(2b)。
用于载体沉积纤维材料方法装置

[实用新型]载体环以及晶圆沉积设备-CN201920989248.3有效
发明人：贾中宇;曾圣翔;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2019-06-27 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：该实用新型涉及一种载体环以及晶圆沉积设备，其中所述载体环，用于承载晶圆，包括：环形沟槽，设置在所述载体环的上表面，将所述载体环的圆心环绕在内，且所述上表面用于与晶圆接触，承载晶圆。以上载体环以及晶圆沉积设备在所述载体环的上表面设置有环形沟槽，这样，在对载体环的上表面放置的晶圆进行膜层沉积等操作时，若晶圆与载体环上表面之间有间隙，也不会在间隙内沉积膜层，而会直接沉积到环形沟槽中，这样，避免了沉积在载体环上表面的膜层顶起晶圆，造成晶圆放置不稳的现象的发生，也减少了因此造成的晶圆的缺陷，提高了晶圆生产的良率。
载体以及沉积设备

[发明专利]有载体的电沉积铜箔及使用该电沉积铜箔制造的包铜层叠物-CN00802508.8无效
发明人：妙中咲子;土桥诚;杉元晶子;高桥直臣 -专利权人：三井金属鉱业株式会社
申请日： 2000-09-29 - 公布日： 2002-02-13 - 主分类号： C25D1/04 文献下载
摘要：本发明目的是降低和稳定具有有机粘合界面的有载体电沉积铜箔中载体箔的剥离强度,从而实施载体箔的剥离。本发明有载体的电沉积铜箔包含载体箔、在载体箔层上形成的有机粘合界面层、以及在有机粘合界面层上形成的电沉积铜箔,所述形成载体箔的材料和形成电沉积铜箔的材料在一定的同样温度下热膨胀系数之差为4×10－7/℃
载体沉积铜箔使用制造层叠

[发明专利]带载体的电沉积铜箔及其制造方法-CN00802507.X无效
发明人：吉冈淳志;杉元晶子;土桥诚;岩切健一郎;平泽裕 -专利权人：三井金属鉱业株式会社
申请日： 2000-09-29 - 公布日： 2002-02-13 - 主分类号： C25D1/22 文献下载
摘要：本发明提供一种带载体的电沉积铜箔,它有一粘合界面层,可控制载体箔和电沉积铜箔之间剥离强度的下限,还提供这种铜箔的制造方法。所述带载体的电沉积铜箔包括载体箔、在所述载体箔上形成的粘合界面层以及在所述粘合界面层上形成的电沉积铜箔,所述载体箔由铜箔形成,粘合界面层含有有机物质和金属颗粒,有机物质和金属颗粒处于掺混状态。
载体沉积铜箔及其制造方法

[发明专利]制备银催化剂的方法、该催化剂及其用于烯烃氧化的用途-CN200580010471.X无效
发明人： J·R·洛克迈耶;R·C·耶茨 -专利权人：国际壳牌研究有限公司
申请日： 2005-03-31 - 公布日： 2007-04-11 - 主分类号： B01J23/68 文献下载
摘要：制备催化剂的方法，所述催化剂包括在载体上的银、铼组分和铼共促进剂，所述方法包括：在载体上沉积银之前或同时，在载体上沉积铼共促进剂，和在载体上沉积银之后在载体上沉积铼组分；催化剂；和在该催化剂存在下通过使烯烃与氧气反应制备烯烃氧化物的方法
制备催化剂方法及其用于烯烃氧化用途

[发明专利]一种附载体超薄铜箔及其制备方法-CN202210627115.8在审
发明人：刘亚净;王学江;孙云飞;王维河;徐好强;张艳卫;徐凤;王其伶;刘铭 -专利权人：山东金宝电子股份有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： C23C18/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种附载体超薄铜箔，包括金属箔载体层、合金层与超薄铜箔层；超薄铜箔层的厚度为1‑4μm，通过光催化沉积法沉积于合金层上；合金层通过电镀沉积于金属箔载体层上，电解液为含有稀土元素Ce的Ni‑Co本发明还提供了上述附载体超薄铜箔的制备方法，包括步骤：(1)对金属箔载体层进行预处理；(2)在金属箔载体层表面电沉积合金层；(3)在合金层表面沉积超薄铜箔层：在含有光催化剂的硫酸铜混合溶液中通过光催化沉积法在金属箔载体层上形成超薄铜箔层本发明能够得到可与载体稳定分离的超薄铜箔，剥离后的超薄铜箔致密性、均匀性好，具有优异的抗拉性能，在减小铜箔厚度的同时提高超薄铜箔性能。
一种载体超薄铜箔及其制备方法

[发明专利]用于提高衬底载体的性能的方法-CN201510436976.8在审
发明人： J·曼古姆;W·E·奎因 -专利权人：维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司
申请日： 2010-11-12 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种修改衬底载体以提高处理性能的方法，包括在由衬底载体支撑的衬底上沉积材料或制造器件。然后根据它们在衬底载体上的对应位置测量在衬底上沉积的层的参数。使在衬底上制造的至少一些器件的测量的参数或沉积的层的特性与衬底载体的物理性质关联，以获得与衬底载体上的多个位置对应的衬底载体的多个物理性质。然后在衬底载体上的多个对应位置中的一个或更多个处修改衬底载体的物理性质，以根据衬底载体上的位置获得沉积的层或制造的器件的期望的参数。
用于提高衬底载体性能方法

[发明专利]用于提高衬底载体的性能的方法-CN201410546852.0有效
发明人： J·曼古姆;W·E·奎因 -专利权人：维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司
申请日： 2010-11-12 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：一种用于提高衬底载体的性能的方法，包括在由衬底载体支撑的衬底上沉积材料或制造器件。然后根据它们在衬底载体上的对应位置测量在衬底上沉积的层的参数。使在衬底上制造的至少一些器件的测量的参数或沉积的层的特性与衬底载体的物理性质关联，以获得与衬底载体上的多个位置对应的衬底载体的多个物理性质。然后在衬底载体上的多个对应位置中的一个或更多个处修改衬底载体的物理性质，以根据衬底载体上的位置获得沉积的层或制造的器件的期望的参数。
用于提高衬底载体性能方法

[发明专利]用于提高衬底载体的性能的方法-CN201080048148.2有效
发明人： J·曼古姆;W·E·奎因 -专利权人：维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司
申请日： 2010-11-12 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种修改衬底载体以提高处理性能的方法，包括在由衬底载体支撑的衬底上沉积材料或制造器件。然后根据它们在衬底载体上的对应位置测量在衬底上沉积的层的参数。使在衬底上制造的至少一些器件的测量的参数或沉积的层的特性与衬底载体的物理性质关联，以获得与衬底载体上的多个位置对应的衬底载体的多个物理性质。然后在衬底载体上的多个对应位置中的一个或更多个处修改衬底载体的物理性质，以根据衬底载体上的位置获得沉积的层或制造的器件的期望的参数。
用于提高衬底载体性能方法

[实用新型]非均相多功能反应瓶-CN201820964204.0有效
发明人：刘艳凤;牛成;任国建 -专利权人：海南大学
申请日： 2018-06-22 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：气泵或气瓶产生的气体通过通气总管送入各个通气支管中，最终通过各个通气支管喷入反应瓶瓶体内，气体有助于载体悬浮于溶剂中，从而使得溶质中的分子能够均匀沉积在载体上，且保持了载体原有的形貌特征，在进行多相分子沉积反应时，能够使载体保持原有形貌且悬浮于溶剂当中，反应物分子均匀沉积在载体上。避免了载体沉积在反应瓶底部或漂浮于溶剂表面，造成反应物分子在载体上沉积不均匀，影响制备样品的使用效果。
反应瓶通气支管反应物分子均匀沉积通气总管非均相溶剂形貌分子沉积气体通过溶剂表面形貌特征载体保持载体沉积载体悬浮不均匀滴定管反应时原有的沉积喷入瓶体气泵气瓶溶质旋塞制备送入悬浮漂浮体内

[发明专利]渗透屏障-CN201880049362.6在审
发明人： R.本茨;S.沃瑟;J.维查特 -专利权人：瑞士艾发科技
申请日： 2018-07-12 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：层沉积设备，包含基材载体(14)、具有PVD层沉积室和/或ALD层沉积室的无机材料层沉积站(10)以及聚合物沉积站(8)。控制单元(20)控制在基材载体(14)上的基材(12)对来自无机材料层沉积站(10)和聚合物沉积站(8)的沉积作用的间歇暴露。
渗透屏障

[发明专利]精细沉积的锂金属粉末-CN201710066684.9在审
发明人： M.亚科夫列瓦;高原;李阳兴;K.B.费奇 -专利权人： FMC公司
申请日： 2010-11-30 - 公布日： 2017-08-22 - 主分类号： C23C24/02 文献下载
摘要：本发明提供将锂金属粉末或薄锂箔精细沉积到基底上同时避免使用溶剂的方法。该方法包括将锂金属粉末或薄锂箔沉积到载体上；使载体与基底接触，相比于载体对锂金属粉末的亲和力，该基底对锂金属粉末的亲和力更高；使基底在与载体接触的同时经受足以将沉积在载体上的锂金属粉末或锂箔转移至基底的条件；将载体和基底分离以致保持锂金属粉末或锂金属箔沉积在基底上。
精细沉积金属粉末

[发明专利]精细沉积的锂金属粉末-CN201080054443.9在审
发明人： M.亚科夫列瓦;高原;李阳兴;K.B.费奇 -专利权人： FMC公司
申请日： 2010-11-30 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： H01M4/04 文献下载
摘要：本发明提供将锂金属粉末或薄锂箔精细沉积到基底上同时避免使用溶剂的方法。该方法包括：将锂金属粉末或薄锂箔沉积到载体上；使载体与基底接触，相比于载体对锂金属粉末的亲和力，该基底对锂金属粉末的亲和力更高；使基底在与载体接触的同时经受足以将沉积在载体上的锂金属粉末或锂箔转移至基底的条件；将载体和基底分离以致保持锂金属粉末或锂金属箔沉积在基底上。
精细沉积金属粉末

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