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[发明专利]基板角度对准装置、基板角度对准方法及基板运送方法-CN201480077355.9有效
发明人：后藤博彦 -专利权人：川崎重工业株式会社
申请日： 2014-03-25 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：角度对准装置（3）包括将多个基板（100）的每个以横放的状态在上下方向并列地保持的多个保持部（10A～E）、包含多个第一支持部（11A～E）的第一升降体（21A～E）、以及包含多个第二支持部（12A～E在依次选择基板的同时重复进行如下一系列的角度对准动作：使多个保持部（10A～E）一体旋转而对选择的一片基板（100）进行角度对准，使与角度对准完的基板（100）对应的第一支持部（11A～E）上升并用该第一支持部使多个第二支持部（12A～E）一起上升，支持在多个第一支持部（11A～E）的每个上的角度对准完毕的多片基板（100Z）的每个由多个第二支持部（12A～E）的每个抬起。
角度对准装置方法运送

[发明专利]对准标记及掩膜版-CN201610012639.0在审
发明人：李冲;丰亚洁;何艳;吕本顺;郭霞 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2016-01-09 - 公布日： 2016-04-06 - 主分类号： G03F1/42 文献下载
摘要：本发明涉及一种对准标记和掩膜版，其中对准标记包括基准标记单元和对准标记单元，基准标记单元包括角度基准标记单元、纵向基准标记单元和横向基准标记单元，该对准标记单元包括角度对准标记单元、纵向对准标记单元和横向对准标记单元，其中，该角度基准标记单元为十字形状，该角度对准标记单元包括4个角度对准标记元素，该4个角度对准标记元素分别与角度基准标记的4个直角接近配合，用以在旋转角度参量上精确对准。本发明适用于微电子流程中任意图形的套刻工艺中，可以将套刻的掩膜版与待加工的样品精确对准，具有广泛的实用意义。
对准标记掩膜版

[发明专利]一种同轴型光有源器件的自动耦合对准及封装方法及系统-CN202011049875.2有效
发明人：唐四新;段吉安 -专利权人：湖南鼎晟光电科技有限公司
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：一种同轴型光有源器件的自动耦合对准及封装方法，通过控制所述第一夹具和所述第二夹具移动到预设位置，以使所述光纤组件与所述光源组件移动到预设的靠近位置以及预设的对准预备角度，获取所述光纤组件与所述光源组件的一次耦合对准角度；然后控制所述第一夹具和所述第二夹具移动到所述一次耦合对准角度，并获取所述光纤组件与所述光源组件的二次耦合对准角度；在所述二次耦合对准角度与所述一次耦合对准角度之间的偏差值不大于所述预设阈值时，确定所述一次耦合对准角度为确定的耦合对准角度实现同轴型光电子器件的全自动化耦合对准，新增二次耦合对准工艺，可以对第一次耦合对准的精确性进行检测，提升对准精度。
一种同轴有源器件自动耦合对准封装方法系统

[发明专利]模制后对准和对准监测-CN201680040907.8有效
发明人：王志明;维杰·戈毗昌德·潘万尼 -专利权人：赫斯基注塑系统有限公司
申请日： 2016-06-16 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： B29C45/80 文献下载
摘要：公开了用于模制后调节器的对准和对准监测的设备和方法。调节器包括第一和第二模制后装置、两个或多个平行对准传感器和对应的接收器，以及两个或多个角度对准传感器和对应的接收器。两个或多个平行对准传感器测量模制后装置之间的距离。两个或多个角度对准传感器测量模制后装置的角度对准(例如，相对位置)。控制器监测来自平行对准传感器的反馈以评估装置的平行度和来自角度对准传感器的反馈以评估装置的角度对准。当装置不平行和/或没有角度对准时提醒操作员。
模制后对准监测

[发明专利]一种基于角度和速度增量的车载姿态精对准系统-CN201910804008.6有效
发明人：李雨洋;张啸宇;刘琪 -专利权人：北京机械设备研究所
申请日： 2019-08-28 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于角度和速度增量的车载姿态精对准系统，属于车辆姿态对准技术，解决了现有技术对准精度差、对准时间较长的问题。该系统包括：角度增量采集模块，用于实时采集车辆当前三轴偏离原始三轴的角度增量；速度增量采集模块，用于实时测量车辆沿原始三轴的速度增量；导航计算模块，用于对角度增量和速度增量分别进行误差补偿，根据补偿结果进行粗对准，然后更新车辆姿态对准系统的实时状态，进而修正粗对准后车辆的姿态和速度，根据车辆姿态对准系统自适应滤波的滤波增益获得车辆状态估计，判断所述车辆状态估计与车辆当前状态是否相同；不同，再次更新车辆姿态对准系统的实时状态，直到相同为止，完成车辆姿态精对准。
一种基于角度速度增量车载姿态对准系统

[发明专利]用于测量表面未对准和角度未对准的设备-CN201110160497.X无效
发明人：植木伸明;神田秀雄 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2011-06-15 - 公布日： 2012-02-29 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于测量表面未对准和角度未对准的设备。通过第一衍射光栅，相对于第一表面的光轴的波前传播角度不同的两个圆锥形通量被施加到第一表面。通过第二衍射光栅，相对于第二表面的光轴的波前传播角度不同的两个圆锥形通量被施加到第二表面。分析由从第一表面反射的通量和基准光束形成的两组干涉条纹以获得第一表面相对于光轴的表面未对准和角度未对准。类似地，分析由从第二表面反射的通量和基准光束形成的两组干涉条纹以获得第二表面相对于光轴的表面未对准和角度未对准。从第一和第二表面的测量结果获得样品透镜的表面未对准和角度未对准。
用于测量表面对准角度设备

[发明专利]确定用于道路车辆雷达自动对准控制器的雷达传感器的对准角度的方法-CN202010558223.5在审
发明人： T.古斯塔夫松;J.萨尔施泰特 -专利权人：哲纳提公司
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： G01S7/40 文献下载
摘要：一种从对准角度的初始可用粗略估计开始来确定用于道路车辆雷达自动对准控制器（3）的两个或更多个道路车辆（1）运载的雷达传感器（4）的所述对准角度的方法。从来自静止目标所确定的检测中导出线性化的信号处理模型，所述模型涉及所述道路车辆的对准角度、纵向和横向速度以及侧转率。应用（6）滤波算法来估计所述对准角度。基于所述估计的对准角度，产生适合于使道路车辆雷达自动对准控制器执行雷达偏移补偿的信号。
确定用于道路车辆雷达自动对准控制器传感器角度方法

[发明专利]用于医用直线加速器的调制放射束对准-CN202110990434.0在审
发明人：尼古拉斯·G·扎卡罗普洛斯 -专利权人：阿克蒂娜公司
申请日： 2021-08-26 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： A61N5/10 文献下载
摘要：可以针对N个机架角度中的每一个机架角度来确定和存储最佳束对准参数。束对准参数可以调整供应给LINAC的一个或多个弯曲磁体的电流，并因此改变放射束的角度和方向。可以通过调整束对准参数直到放射透射图像中的放射束的放射场的中心位于放射不透明标记的阴影的中心来确定机架角度的最佳束对准参数，放射不透明标记可以位于放射等中心。当机架旋转通过任何任意的机架角度时，针对N个机架角度存储的束对准参数可用于调整束转向电流。
用于医用直线加速器调制放射对准

[发明专利]具有引导对准装置的镜头(1)-CN01141601.7无效
发明人：陈文琦 -专利权人：致福股份有限公司
申请日： 2001-09-27 - 公布日： 2003-04-16 - 主分类号： G03B13/04 文献下载
摘要：一种具有引导对准装置的镜头，适用于一般CCD镜头，也可用于其它影像感测镜头如CMOS镜头等。是在镜头外围结构体嵌入一个引导对准装置(如色环或导光环)，并利用该引导对准装置嵌入的深度调整可视角度。当使用者面对镜头中心线的偏离角度若小于引导对准装置可视角度时，则可看见完整的圆形的引导对准装置。借此，可引导使用者对准镜头，对使用者十分方便。
具有引导对准装置镜头

[发明专利]一种单芯片平行位置的确定方法-CN201711442714.8有效
发明人：孙彬;周文静;夏志伟;刘婷婷;侯佳丽;颜剡;孟庆嵩 -专利权人：北京中电科电子装备有限公司
申请日： 2017-12-26 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供一种单芯片平行位置的确定方法，包括以下步骤：步骤1，确定图像模板及图像模板对准点的坐标；步骤2，通过图像模板找到对应位置的芯片图像；步骤3，根据图像模板对准点的坐标和芯片图像对准点的坐标对比得到芯片图像与图像模板的角度偏差值和芯片图像对准点与图像模板对准点坐标的偏差值,以得到芯片图像对准点A的坐标A(m，n)及对准点A在坐标系中的角度β；步骤4，根据角度偏差值和芯片图像对准点A的坐标偏差值得出芯片图像对准点旋转至平行位置时芯片图像对准点坐标B(x，y)。根据本发明的实施例能够在任一对准点进行拉直计算，方便快捷的确定芯片的平行位置，减少了对准时间，提高了对准精度。
一种芯片平行位置确定方法

[实用新型]一种可测量垂直水平度的测绘装置-CN202220603670.2有效
发明人：郑海洋;孙甜甜;徐林蒙 -专利权人：山东麦讯地理信息咨询有限公司
申请日： 2022-03-20 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G01C15/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及测绘设备技术领域，具体为一种可测量垂直水平度的测绘装置，包括垂直对准板和活动设于垂直对准板上的水平对准板，所述水平对准板和垂直对准板之间安装有可测量垂直水平度的测量组件，所述测量组件由两个悬挂于水平对准板上的吊绳、安装于吊绳底端的铅锤以及固定安装于水平对准板上的角度尺构成。本实用新型通过设置可以自由展开或收拢的垂直对准板和水平对准板，并在垂直对准板和水平对准板之间设置测量组件，使用时，通过将垂直对准板或水平对准板贴合待测量物体，观察吊绳所指向的刻度，即可非常直观的判断该物体是否垂直，如果垂直或水平，则吊绳正好指向角度尺的0角度位置，反之则不垂直或水平。
一种可测量垂直水平测绘装置

[发明专利]一种晶圆对准检测方法及系统-CN201510996708.1有效
发明人：刘国敬;张文斌;高岳 -专利权人：北京中电科电子装备有限公司
申请日： 2015-12-28 - 公布日： 2018-11-09 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆对准检测方法及系统。所述晶圆对准检测方法包括：对位于工作台上的晶圆进行第一对准，得到晶圆的第一旋转角度，并将晶圆按照第一旋转角度进行旋转；对经过旋转后的晶圆进行第二对准，得到晶圆的第二旋转角度，并将晶圆按照第二旋转角度进行旋转上述方案，通过采用自动对准的方式实现工作台上的晶圆的对准，减少了人工成本，大大提高了晶圆对准的效率和准确性。
一种对准检测方法系统

[发明专利]一种磁对准方法及一种磁浮电机-CN201711051623.1有效
发明人：张霖 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： H02N15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁对准方法及一种磁浮电机，所述磁对准方法包括：S1：在一对线圈数量及排列方向均相同的线圈组中通入电流进行磁对准初始化，任意设置其中一个线圈组的初始磁角度，并根据两个线圈组的位置关系设置另一个线圈组的初始磁角度；S2：控制电流的电流角度在一个磁对准角度周期内变化，通过至少一个垂向测量装置测量一对线圈组中至少一个线圈组与磁钢阵列之间的垂向间距；S3：根据记录的一个周期的数据，选择所述垂向测量装置测得的数据最大值对应的电流角度，并根据该电流角度计算所述一对线圈组的磁对准角度。本发明对成对的线圈组进行磁对准，不会发生水平向位移，对准精度高。
一种对准方法电机

[发明专利]一种方形晶圆预对准方法、系统、电子设备及存储介质-CN202210284294.X在审
发明人：王家林;罗杨;崔洁;牛岩;祁雪飞;菅彦彬 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-03-22 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本申请提供了一种方形晶圆预对准方法、系统、电子设备及存储介质，该方法包括：获取待对准方形晶圆对应的目标图像；基于目标图像，确定待对准方形晶圆的四个顶点的顶点位置以及四条边的角度信息；基于四条边的角度信息，确定第一旋转角度；控制旋转平台按照第一旋转角度进行旋转；基于第一旋转角度以及四个顶点的顶点位置，确定待对准方形晶圆的旋转后的中心点位置，以及旋转后的中心点位置与目标位置之间的偏移距离；基于偏移距离控制移动平台移动，以使待对准方形晶圆移动至测量坐标系中的目标位置完成位置对准。通过采用上述方形晶圆预对准方法、系统、电子设备及存储介质，解决了无法对方形晶圆进行预对准的问题。
一种方形晶圆预对准方法系统电子设备存储介质

[发明专利]一种自动天馈系统的自动对准控制方法-CN202110361149.2有效
发明人：王龙娜;张森枝;桂晓明;赵亭军;李新龙 -专利权人：北京航天科工世纪卫星科技有限公司
申请日： 2021-04-02 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01Q3/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种自动天馈系统的自动对准方法，涉及通信和运动控制技术领域，首先进行初始对准的天线角度计算，然后进行精对准的搜索，即寻找二维空间中场强信号满足条件的位置，从而实现一键式两个地点车载天线的自动快速对准该对准控制方法包括如下步骤：步骤一：根据本车与远端车辆的的地理位置信息、自动天馈系统的天线伺服机构相对于本车坐标系的位置，计算出天线的方位和俯仰角度，使天线指向远端方车辆的方向，实现天线的初始对准；步骤二：以初始对准完成后天线的方位和俯仰角为初始角度，进行方位和俯仰二维空间的轨迹搜索寻找场强信号最强的角度，以搜寻到的角度结果控制天线指向。
一种自动系统对准控制方法

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