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[发明专利]一种红外气体传感器-CN201910875672.X有效
发明人：李铁;刘延祥;王翊;周宏;王跃林 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2019-09-17 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： G01N21/3504 文献下载
摘要：本申请提供一种红外气体传感器，包括探测器，探测器包括多个传感单元，传感单元包括传感芯片和滤波元件；传感单元按功能分为第一类传感单元和第二类传感单元；第一类传感单元为检测单元，第二类传感单元为补偿单元；检测单元的数量为多个，检测单元的滤波元件的中心波长分别对应待测气体的不同红外特征吸收峰；补偿单元的数量为至少一个，补偿单元的滤波元件的中心波长分别对应不同无待测气体吸收的波长。本申请提供的红外气体传感器充分利用气体多个红外吸收峰的特性，以多个检测单元对待测气体的多级吸收峰信号进行检测，通过多级吸收峰信号的加权计算，结合补偿单元信号进行待测气体的识别和检测，提高待测气体的检测精度和气体识别能力
一种红外气体传感器

[发明专利]一种气体相对测量传感器-CN202310311110.9在审
发明人：丁基敏;唐云剑 -专利权人：上海振太仪表有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种气体相对测量传感器，包括进气结构、出气结构、测量组件以及电路组件，进气结构用于待检测气体进入传感器与测量组件接触，出气结构用于气体排出传感器，电路组件与测量组件电性连接，测量组件包括热敏元件、补偿元件以及调节组件，热敏元件置于传感器的测量腔室内，补偿元件置于传感器的补偿腔室内且通过调节组件调节松紧度；调节组件包括棘轮以及驱动棘轮转动的驱动件，棘轮与补偿元件一端连接用于松紧补偿元件；本发明通过调节组件中的驱动件驱动棘轮转动，使得与棘轮连接的补偿元件进行收紧，从而补偿测量腔室内由于长期的使用工作的热敏元件的松弛引起的传感器测量误差的问题。
一种气体相对测量传感器

[实用新型]组合包覆补偿器-CN201020131204.6有效
发明人：严明君;夏国华;张亚统;张彬县;周建新;华建丽 -专利权人：无锡金龙补偿器有限公司
申请日： 2010-03-03 - 公布日： 2010-12-22 - 主分类号： F16L51/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种组合包覆补偿器，尤其用于易燃易爆气体输送管线中的已损坏补偿器修复，其特征在于包括非金属包覆部及金属包覆部，非金属包覆部先在已损坏补偿器波纹管四周构成密封空间，再由金属包覆部包覆并替代已损坏补偿器波纹管工作本实用新型对易燃易爆气体输送管线中的已损坏补偿器进行修复，可在不停止管线运行的条件下，包覆在管线中已损坏补偿器外，替代已损坏补偿器，保证管线的连续运行，杜绝在对易燃易爆气体输送管线修复时的安全事故，减少停止管线运行带来的经济损失
组合补偿

[发明专利]三通自动增压阀及其自适应压力平衡应用-CN202310246238.1在审
发明人：马雄超;刘振君;付昌;江祯 -专利权人：上海船舶电子设备研究所（中国船舶集团有限公司第七二六研究所）
申请日： 2023-03-14 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： F16K17/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种涉及气动液压技术、海洋装备、及水下需要压力补偿的设备技术领域的三通自动增压阀及其自适应压力平衡应用，包括活塞、限位环、外壳体、气门芯、补偿受体连接端以及高压气体连接端，外壳体上设有活塞，活塞两端分别设有限位环，补偿受体连接端和高压气体连接端分别连接于外壳体上，气门芯连接于高压气体连接端上；活塞带动气门芯开关，当气门芯打开时，高压气体从高压气体连接端进入，通过补偿受体连接端排出实现补气；本发明结构简单，耐用可靠，成本低廉；占用空间小，尺寸小重量轻；适用于所有需要两相分离内腔自动增压至环境外部环境压力的需要压力补偿的设备。
三通自动增压及其自适应压力平衡应用

[发明专利]一种压电精密气体流量阀的复合控制系统及方法-CN202110718302.2在审
发明人：李传江;邓徽;王明月;朱燕飞;顾亚 -专利权人：上海师范大学
申请日： 2021-06-28 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： G05B11/42 文献下载
摘要：本发明涉及一种压电精密气体流量阀的复合控制系统及方法，该系统包括：前馈补偿控制器，采用改进PI迟滞模型的逆模型作为前馈补偿控制器，所述的前馈补偿控制器的输入为压电精密气体流量阀的目标流量，输出为补偿控制电压；模糊自适应PID反馈控制器，所述的模糊自适应PID反馈控制器的输入为压电精密气体流量阀的目标流量与实际流量的误差以及误差变化率，输出反馈控制电压；累加驱动控制器，用于将所述的前馈补偿控制器输出的补偿控制电压和模糊自适应PID反馈控制器输出的反馈控制电压累加作为压电精密气体流量阀的输入电压控制其运行。
一种压电精密气体流量复合控制系统方法

[发明专利]具有环境温、湿度自补偿能力的SnO2基热线型半导体气体传感器-CN201510905817.8有效
发明人：詹自力;陈翔宇;彭溦;陈克城;郭雪原;李亚丰 -专利权人：郑州大学
申请日： 2015-12-10 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明属于气体传感器技术领域，具体公开一种具有环境温、湿度自补偿能力的SnO2基热线型半导体气体传感器。该气体传感器包括敏感元件和补偿元件，其特别之处在于敏感元件的敏感材料为添加贵金属和掺杂Sb或F的SnO2，所述贵金属为Pd、Pt中的至少一种；补偿元件的补偿材料为掺杂X的SnO2，所述X为Mg、Ca、Si本发明通过敏感材料设计实现传感器对目标气体的高响应，通过补偿材料设计实现传感器对环境温、湿度干扰的自动补偿，从而使传感器不仅具有高的灵敏度，而且具有优良的抗温、湿度干扰的能力。
具有环境湿度补偿能力 sno sub 线型半导体气体传感器

[发明专利]中低浓度氚的在线测量系统及方法-CN202110723152.4有效
发明人：张帅;孙胜;刘晓松;冯明全;徐灵杰;魏甫;岳潇;傅源杰;何潘庆;曹娜 -专利权人：中国核动力研究设计院
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： G01T1/167 文献下载
摘要：本发明公开了中低浓度氚的在线测量系统及方法，所述中低浓度氚的在线测量系统包括低浓度本底补偿系统、中浓度本底补偿系统、含氚气体测量系统，以及信号采集与数据处理模块。当β总活度低于1MBq/m³时，激活低浓度本底补偿系统，低浓度本底补偿系统中的氩甲烷气体经管道进入干燥装置进行吹扫，HTO经过干燥装置内由氩甲烷气体带走，进入测量比例计数器获得浓度数据；当β总活度高于1MBq/m³时，激活中浓度本底补偿系统，空气通过中浓度本底补偿系统的管道进入干燥装置，作为吹扫气体，带走HTO进入测量比例计数器获得浓度数据。
浓度在线测量系统方法

[发明专利]投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法-CN201010243111.7无效
发明人：赵磊;巩岩;张巍;倪明阳;王学亮;袁文全 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2010-08-03 - 公布日： 2010-12-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法，涉及一种光学元件重力补偿的装置及方法，它解决了现有光学元件重力补偿装置安装调试困难，制造成本高，无法实现光学元件的中心区域补偿等问题，它包括第一镜筒单元组件、第二镜筒单元组件、隔圈、第一气体压力传感器、第二气体压力传感器和第三气体压力传感器；所述第一镜筒单元组件与第二镜筒单元组件之间设置隔圈；其方法为：气体压力传感器测量密封腔内的气压，将信号经数据采集卡输入到主控制器；主控制器调整供气管道和排气管道工作状态，进而实现光学元件的重力补偿。本发明适用于深紫外投影光刻物镜系统的光学元件重力补偿。
投影物镜系统光学元件重力变形气压补偿装置方法

[实用新型]一种无负压真空抑制装置-CN201520811314.X有效
发明人：王雅香 -专利权人：北京同力华盛环保供水科技股份有限公司
申请日： 2015-10-19 - 公布日： 2016-03-23 - 主分类号： E03B11/08 文献下载
摘要：本实用新型提出一种无负压真空抑制装置，包括气体存储装置、稳流补偿器和用于在气体存储装置与稳流补偿器之间进行气体传输的气体传输装置；气体存储装置内盛装有氮气。本实用新型运行时完全与外界隔离，杜绝二次污染；保证全套设备全封闭运行；控制灵敏度高，稳定性好；气体存储装置与稳流补偿器之间通过法兰连接，安装方便；本实用新型维护简单，平时不需要维护保养，两年充一次氮气即可
一种无负压真空抑制装置

[发明专利]气体浓度控制方法、气体浓度控制装置及半导体设备-CN202110412183.8在审
发明人：杨建姣 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-04-16 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种气体浓度控制方法、气体浓度控制装置及半导体设备，其中，气体浓度控制方法，用于半导体工艺中，包括：在半导体工艺开始前，将待控制气体的浓度控制在预设的目标浓度值；在半导体工艺过程中，对待控制气体的实际浓度值进行实时检测，判断实际浓度值是否大于预设的目标浓度值；若是，则根据预设的待控制气体的目标浓度值与补偿气体的目标流量值的第一对应关系，获得与预设的目标浓度值对应的第一目标流量值；控制补偿气体以第一目标流量值进行补偿。本发明提供的气体浓度控制方法、气体浓度控制装置及半导体设备，能够提高气体浓度控制的实时性，提高半导体工艺稳定性及安全性。
气体浓度控制方法装置半导体设备

[实用新型]一种新型气体密度继电器-CN202120895696.4有效
发明人：宋恩雨;高岭飞 -专利权人：帕孚（上海）电气设备有限公司
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： G01N9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型气体密度继电器，包括气体密度继电器本体，气体密度继电器本体底部的一侧固定连接有连接法兰，气体密度继电器本体外壁的一侧固定连接有气体密度监测带微动开关。本实用新型通过两个传动齿轮与两个齿轮条的啮合，带动遮光板在限位槽中滑动，从而使遮光板对气体密度继电器本体一侧的刻度显示盘进行遮光，解决了当阳光正对密度继电器的表盘方向时，阳光可透过透明的仪表玻璃及弧形开孔，直射在温度补偿元件上。由于温度补偿元件对光及热的敏感性高，温度补偿元件会迅速动作，从而使温度补偿元件与设备内气体压力的变化不同步，造成密度继电器的指针指示异常或异常报警的问题。
一种新型气体密度继电器

[发明专利]用于热损失压力测量的装置和方法-CN200380103192.9无效
发明人：迈克尔·D·博雷斯坦 -专利权人：螺旋技术有限公司
申请日： 2003-10-14 - 公布日： 2005-12-21 - 主分类号： G01L21/12 文献下载
摘要：用来测量环境气体压力的热损失真空压力计包括电阻型敏感元件和电阻型补偿元件。电阻型补偿元件在电路中与敏感元件一起暴露在实质上匹配的环境中。电源与敏感元件和补偿元件相连接用来施加通过元件的电流。通过敏感元件的电流实质上大于通过补偿元件的电流。测量电路与敏感元件和补偿元件相连接，用来基于敏感元件和补偿元件的电响应确定在敏感元件和补偿元件暴露在其中的环境中气体的压力。
用于损失压力测量装置方法

[实用新型]一种带储气罐的稳流补偿器-CN200920213201.4有效
发明人：池学聪;谭红全 -专利权人：上海熊猫机械(集团)有限公司
申请日： 2009-12-16 - 公布日： 2010-09-15 - 主分类号： E03B7/09 文献下载
摘要：当自来水由进出水口进入囊内时，由于自来水有一定的压力(一般2～3公斤)，随着水的不断进入这样会慢慢将囊撑开使囊的体积慢慢扩大并对气体仓进行压缩，气体受到压缩后进入到储气罐，使气体在储气罐中成为压缩气体(储气罐的容积根据气体仓的大小按压缩比进行计算)，最后使囊完全打开将罐内全部气体压缩进储气罐，这样稳流补偿器中储存的就全部是水，这样增强了稳流补偿器的储备调节能力，当自来水进水流量减小(压力降低)不能满足用户需求是，这时储气罐的压缩气体利用气压原理进入气体仓并推动囊进行收缩，使稳流补偿器中的储备水由进出水口进入到泵，然后由泵加压到用户使用，以此满足自来水进水流量不足而造成的用水压力波动，同时又不影响自来水压力出现负压的现象，使稳流补偿器的补偿能力更强。
一种储气罐补偿

[实用新型]气缸盖和具有其的发动机-CN202021329832.5有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：九号智能（常州）科技有限公司
申请日： 2020-07-08 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： F02F1/42 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种气缸盖和具有其的发动机，气缸盖包括：缸盖本体和空气补偿阀，所述缸盖本体形成有排气通道和空气通道，所述排气通道与所述空气通道的一端连通，所述空气补偿阀设置于所述缸盖本体上且与所述空气通道的另一端相连通，所述空气补偿阀具有空气进口。通过在气缸盖的缸盖本体上安装空气补偿阀，可以使车辆行驶过程中产生的有害气体在排放过程中与空气混合，并通过有害气体自身的热量与空气产生氧化还原反应，从而使部分有害气体分解成无害气体，减少发动机有害气体的排放
缸盖具有发动机

[发明专利]一种高压状态下平衡调节眼部压力装置-CN201910518466.3在审
发明人：高玉霞;王艳军;胡海霞;史楠;李坤 -专利权人：吉林大学
申请日： 2019-06-15 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： A61F9/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种平衡调节解除眼部压力装置，包括眼罩、信号反馈装置、左侧气体补偿装置和右侧气体补偿装置，信号反馈装置设置在眼罩上，左侧气体补偿装置设置在眼罩左侧，右侧气体补偿装置设置在眼罩右侧，本发明结构简单
眼罩气体补偿装置眼部压力信号反馈装置高压氧治疗平衡调节高压状态眼部不适正常压力舒适度充血并发症眼部治疗出血痛苦预防医疗应用

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