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[发明专利]减少薄膜式电容真空规零点漂移的装置及其方法-CN200510126344.8有效
发明人：南建辉 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2005-12-07 - 公布日： 2006-10-25 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明公开的一种减少薄膜式电容真空规零点漂移的装置及其方法，包括：反应室、真空规及真空规上的加热带、连接反应室和真空规的连接管道，还包括：隔离阀、真空开关、隔离阀上的加热带、连接管道上的加热带，其中，隔离阀设在连接管道上方法：1)将真空开关的设定动作点设置为真空规满流程的100％－150％之间；2)当反应室压力大于真空开关设定点时，关闭隔离阀；3)当反应室压力小于真空开关设定点时，开启隔离阀。本发明能够减少工艺反应副产物和颗粒在真空规内部薄膜上的淀积和附着；防止薄膜式电容真空规零点漂移，提高工艺稳定性。
减少薄膜电容真空零点漂移装置及其方法

[发明专利]双轴取向聚丙烯薄膜和使用它的电容器-CN96122430.4无效
发明人：平野巧;永井逸夫;田中茂;朝仓正芳 -专利权人：东丽株式会社
申请日： 1996-08-27 - 公布日： 2003-04-09 - 主分类号： C08F110/06 文献下载
摘要：本发明涉及双轴取向聚丙烯薄膜及使用它的电容器。本发明的双轴取向聚丙烯薄膜是等规度为98-99.5％、等规五单元分率大于99％、120℃下的机械方向和宽度方向的热收缩率之和为1-4％的双轴取向聚丙烯薄膜，或者是薄膜的灰分和内部雾度的积为10ppm％以下、等规五单元分率大于99％的双轴取向聚丙烯薄膜。通过采取以上的构成，本发明的双轴取向聚丙烯薄膜在高温下的耐绝缘破坏特性优良。并且本发明的电容器在比过去的聚丙烯薄膜电容器最高使用温度85℃最高提高20℃的使用温度下，可长期稳定地使用。
取向聚丙烯薄膜使用电容器

[发明专利]基于双路温控的薄膜真空计以及双路温控方法-CN202211117537.7在审
发明人：王松杰;王杰;刘旭强;韩雪飞;闫冉;林立男;宋冬谊;唐嫒尧;廖兴才 -专利权人：北京晨晶精仪电子有限公司
申请日： 2022-09-14 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于双路温控的薄膜真空计以及双路温控方法，薄膜真空计包括：等温体温控电路、下规管温控电路、电容器以及下规管，等温体温控电路与电容器连接，下规管与下规管温控电路以及电容器连接，第一电压控制模块并基于第一变化值输出第一控制信号，控制第一加热元件的加热效率，以控制电容器在预设温度范围内工作，第二电压控制模块，用于接收第二测温元件的第二变化值，并基于第二变化值输出第二控制信号，控制第二加热元件的加热效率，以控制下规管在预设温度范围内工作这样，可以极大地降低温度对薄膜真空计的影响，提高薄膜真空计的稳定性。
基于温控薄膜真空计以及方法

[发明专利]一种基于人工智能的塑料薄膜检测方法-CN202210494702.4在审
发明人：陈春辉 -专利权人：陈春辉
申请日： 2022-05-07 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于人工智能的塑料薄膜检测方法，通过人工智能，对塑料薄膜的瑕疵点率进行检测，误差小，包括以下工序：步骤S1：熔融塑料颗粒；步骤S2：吹塑成塑料薄膜；步骤S3：通过图像采集设备采集相同批次塑料薄膜样品的图像信息；步骤S4：对图像信息进行质检，判断塑料薄膜是否合规；步骤S5：将不合规的塑料薄膜回收处理。
一种基于人工智能塑料薄膜检测方法

[发明专利]光刻机气压控制及监测系统、方法和光刻机-CN202111417683.7有效
发明人：王魁波;吴晓斌;罗艳;谢婉露;沙鹏飞;李慧;韩晓泉 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明属于光刻机技术领域，具体涉及一种光刻机及其气压控制及监测系统和方法，光刻机气压控制及监测系统包括全量程真空规组件、薄膜真空规组件和真空泵组。全量程真空规组件包括分别设置于主腔室、硅片台腔室、硅片传输腔室和掩模传输腔室的全量程真空规；薄膜真空规组件包括分别设置于主腔室、照明光学腔室、投影光学腔室、硅片台腔室、硅片传输腔室和掩模传输腔室的薄膜真空规
光刻气压控制监测系统方法

[实用新型]改善EMC性能的薄膜电容及电机驱动器-CN201621023371.2有效
发明人：何友东 -专利权人：苏州汇川技术有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-05-03 - 主分类号： H01G4/38 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种改善EMC性能的薄膜电容及电机驱动器，所述薄膜电容包括母线电容、第一安规电容、第二安规电容、正输入引脚、正输出引脚、负输入引脚、负输出引脚和两个外接引脚，且所述第一安规电容、第二安规电容和母线电容集成在一起，其中所述母线电容的第一电极分别连接正输入引脚、正输出引脚以及第一安规电容的第一电极，且该母线电容的第二电极分别连接负输入引脚、负输出引脚以及第二安规电容的第二电极；所述第一安规电容的第二电极和第二安规电容的第一电极分别连接到一个外接引脚本实用新型通过将安规电容与母线电容集成在一起，可避免或减少流经LISN的传导电流，从而提升了EMC传导效果。
改善 emc 性能薄膜电容电机驱动器

[发明专利]一种电容薄膜真空计封装前电容信号调测装置-CN202111085360.2在审
发明人：裴晓强;成永军;孙雯君;吴成耀;宋伊;丁栋;习振华;董猛;陈会颖 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2021-09-16 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种电容薄膜真空计封装前电容信号调测装置，包括芯柱引线法兰、分离规、低压调测参考端腔室、待调测未封装真空计、第一复合规、第二复合规、第一机械泵、第一涡轮分子泵、第二机械泵、第二涡轮分子泵、高压调测稳压室、石英规、压力变送器、低压气源、高压气源、多个连接管道和多个截止阀；本发明装置利用低压调测系统、高压调测系统两个不同压力区域相配合实现不同规格量程电容薄膜真空计(13.3Pa～1.33×106Pa)传感器封装前电容信号的全量程调测；解决了现有电容薄膜真空计校准装置无法开展封装前传感器性能调测的问题，降低了电容薄膜真空计制造成本，提高了整机成品率。
一种电容薄膜真空计封装信号装置

[发明专利]一种全自动薄膜规焊接机-CN202211530347.8在审
发明人：唐云剑 -专利权人：上海振太仪表有限公司
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B23K26/21 文献下载
摘要：本发明公开了一种全自动薄膜规焊接机，所述焊接机包括驱动机构、旋转机构、夹紧机构以及焊接机构，所述旋转机构通过安装座与工作平台连接，所述旋转机构与所述安装座转动连接，所述旋转机构通过传动结构与所述驱动机构输出端连接，所述旋转机构为两个且同步运动，所述旋转机构相对设置的一端为用于安装所述夹紧机构的安装区；所述焊接机构焊接端置于所述夹紧机构之间，用于焊接置于所述夹紧机构之间的薄膜规与接头，所述焊接机构的高度位置可调节；本发明实现多角度的焊接；在焊接过程中，采用的是自动焊接，不需要人工旋转薄膜规与接头，既能对薄膜规管接头进行全方位的焊接，效率高，避免人工焊接出现的问题。
一种全自动薄膜焊接

[发明专利]用于电容薄膜规的压力测量系统、方法及电容薄膜规-CN202210251300.1有效
发明人：刘乔;郭可升;王凤双;卫红;侯少毅;黄星星;胡强 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-03-15 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G01L1/04 文献下载
摘要：本申请涉及电容薄膜规技术领域，具体提供了用于电容薄膜规的压力测量系统、方法及电容薄膜规，其包括：膜片；陶瓷基体,设置在膜片一侧；固定电极组，设置在陶瓷基体靠近膜片的端面上，用于根据其与膜片的距离生成测量电容信息控制器，与固定电极组和形变检测电极电性连接，用于获取检测电容信息，还用于根据检测电容信息检测膜片形变是否均匀，还用于在膜片形变均匀时，获取测量电容信息并根据测量电容信息计算压力值；有效地提高了用于电容薄膜规的压力测量系统测量压力的稳定性
用于电容薄膜压力测量系统方法

[实用新型]一种环形激光器充排气装置-CN202020866038.8有效
发明人：郭学永 -专利权人：郭学永
申请日： 2020-05-22 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： H01S3/083 文献下载
摘要：包括电容薄膜规，高真空挡板阀1，高真空挡板阀2，高真空挡板阀3，环形激光器，电离规，真空排气系统，手动微调阀，混合气体供应装置，充气阳极，排气阳极。其中，真空排气系统与电离规连接，电离规与高真空挡板阀2连接，高真空挡板阀2与排气阳极连接，排气阳极连接在谐振腔阳极口上，充气阳极连接在谐振腔另一阳极口上，充气阳极与高真空挡板阀1连接，高真空挡板阀1与电容薄膜规连接，电容薄膜规与高真空挡板阀3和手动微调阀依次连接，手动微调阀与混合气体供应装置连接。
一种环形激光器排气装置

[发明专利]复合型真空规校准系统及方法-CN201210244444.0无效
发明人：卢耀文 -专利权人：卢耀文
申请日： 2012-07-16 - 公布日： 2012-10-24 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本发明公开的复合型真空规校准系统及方法，属于测量技术领域。本发明公开的复合型真空规校准系统包括机械泵、分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门、真空规、电容薄膜规、第三真空规、校准室、第一小孔、第二小孔本发明还公开了复合型真空规校准方法，采用一台满量程为1000Torr的电容薄膜规作为参考标准，采用直接比对法实现105～100Pa范围内的校准，采用膨胀法实现100～10-3Pa范围内的校准，采用动态流导法实现本发明公开的复合型真空规校准系统具有成本低、重量和体积小、便携等特点。
复合型真空校准系统方法

[发明专利]一种绝缘电致变色器件的制备方法-CN202010840203.7有效
发明人：聂永杰;赵现平;赵腾飞;王科 -专利权人：云南电网有限责任公司电力科学研究院
申请日： 2020-08-18 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G02F1/1516 文献下载
摘要：本发明涉及一种绝缘电致变色器件的制备方法，包括以下步骤：将等规P3HT和无规P3HT混合；将等规P3HT和无规P3HT的混合物，溶于邻二氯苯中，即得复合聚噻吩溶液；将所述复合聚噻吩溶液涂覆在ITO导电玻璃基底的一面，形成复合聚噻吩薄膜；使用高真空蒸镀仪，在复合聚噻吩薄膜表面蒸镀金电极，即得聚合物薄膜器件；利用紫外‑可见光分光光度计检测聚合物薄膜器件在不同外施电压下的光谱信息。本发明的聚合物薄膜器件结构包括ITO导电玻璃基底、等规/无规P3HT复合聚噻吩薄膜、源电极和漏电极，利用该器件可以可视化检测电力设备中的净空间电荷。
一种绝缘变色器件制备方法

[发明专利]高温高压安规电容器-CN201510234646.0在审
发明人：刘金宝;柯云;李超超;郑美 -专利权人：长兴华强电子有限公司
申请日： 2015-05-10 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： H01G4/33 文献下载
摘要：本发明公开了高温高压安规电容器，属于半导体器件技术领域，解决了薄膜介质升温过快，导致耐压性能降低的技术问题，本发明高温高压安规电容器，包括电容器芯体，所述电容器芯体由金属化薄膜卷曲而成，所述金属化薄膜包括基层薄膜和金属极板，所述金属极板为镀蒸在基层薄膜上的金属镀层，所述基层薄膜的一端设有无金属镀层的留边，相邻叠加的金属化薄膜上的留边设在不同侧，所述金属镀层上设有若干根金属凸条。
高温高压电容器

[发明专利]电离规-CN200710074323.5有效
发明人：肖林;陈丕瑾;胡昭复;魏洋;刘亮;范守善 -专利权人：清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
申请日： 2007-05-09 - 公布日： 2008-11-12 - 主分类号： G01L21/30 文献下载
摘要：本发明涉及一种电离规，该电离规包括线状阴极、阳极和离子收集极，该阳极环绕于线状阴极外侧，离子收集极环绕于阳极外侧，其中，线状阴极包括线状基体及设置于线状基体上的场发射薄膜。该场发射薄膜优选为碳纳米管。该电离规利用碳纳米管的场发射性质发射电子，从而测量气体压强，因此具有结构简单、稳定性好、低功耗、低放气率等优点，适用于对温度或光敏感的真空系统。
电离

[实用新型]高温高压安规电容器-CN201520299368.2有效
发明人：刘金宝;柯云;李超超;郑美 -专利权人：长兴华强电子有限公司
申请日： 2015-05-10 - 公布日： 2015-09-23 - 主分类号： H01G4/33 文献下载
摘要：本实用新型公开了高温高压安规电容器，属于半导体器件技术领域，解决了薄膜介质升温过快，导致耐压性能降低的技术问题，本实用新型高温高压安规电容器，包括电容器芯体，所述电容器芯体由金属化薄膜卷曲而成，所述金属化薄膜包括基层薄膜和金属极板，所述金属极板为镀蒸在基层薄膜上的金属镀层，所述基层薄膜的一端设有无金属镀层的留边，相邻叠加的金属化薄膜上的留边设在不同侧，所述金属镀层上设有若干根金属凸条。
高温高压电容器