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[发明专利]蒸镀粒子射出装置及蒸镀装置、以及蒸镀膜制造方法-CN201780095302.3有效
发明人：西口昌男 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2017-09-28 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：蒸镀粒子射出装置(1)具备：第二蒸镀源(20)、及在Y轴方向上夹着第二蒸镀源的第一蒸镀源(10)和第三蒸镀源(30)。在第一蒸镀源及第三蒸镀源中，在X轴方向上排列着朝向第二蒸镀源倾斜的多个喷嘴(12、31)。在第二蒸镀源中，在X轴方向上排列着朝向第一蒸镀源倾斜的多个喷嘴(23)和朝向第三蒸镀源倾斜的多个喷嘴(22)。
粒子射出装置以及镀膜制造方法

[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法及有机EL元件-CN201580041850.9有效
发明人：越智贵志;川户伸一;小林勇毅;松永和树;菊池克浩;市原正浩;松本荣一 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2015-07-24 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：在蒸镀装置(11)中设置有：第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)；与该第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)连接的共用配管(27)；与共用配管(27)连接并且放出来自第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)中的各个蒸镀源的蒸镀颗粒的蒸镀颗粒放出源(29)；与蒸镀颗粒放出源(29)连接的排气阀(32)；和与排气阀(32)连接的排气泵(34)。
装置方法有机 el 元件

[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法和有机电致发光显示装置的制造方法-CN201180061824.4有效
发明人：园田通;川户伸一;井上智;桥本智志 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2011-12-19 - 公布日： 2013-08-28 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明的蒸镀装置（50）是对被成膜基板（60）进行成膜的蒸镀装置，其具备：具有射出蒸镀颗粒的射出口（81）的蒸镀源（80）；向蒸镀源（80）供给蒸镀颗粒的蒸镀源坩埚（82）；通过使蒸镀源（80）旋转来使蒸镀颗粒的射出量的分布发生变化的旋转电动机
装置方法有机电致发光显示装置制造

[发明专利]一种蒸镀罩、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法-CN201710212406.X有效
发明人：李晓虎;王路 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-03-31 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种蒸镀罩、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法，涉及真空蒸发镀膜领域，能够解决现有的点蒸镀源在蒸镀过程中对待蒸镀基板上蒸镀区域不同位置处的蒸镀膜层厚度不均匀的问题。包括：支撑轴。调节罩，调节罩侧边设置在支撑轴上，调节罩上包括有镂空区域，蒸发状态的蒸镀材料可透过镂空区域，调节罩上的蒸镀材料透过率由中心向边缘逐渐增大。其中，支撑轴可转动，以带动调节罩移动覆盖于蒸镀源出口。通过转动支撑轴，使通过侧边固定在支撑轴上的调节罩移动位置，从而使得调节罩能够覆盖于蒸镀源出口，以对由蒸镀源出口蒸发的蒸镀材料向待蒸镀基板上各个位置处的蒸发速率进行调节。
一种蒸镀罩蒸镀源装置方法

[发明专利]一种蒸镀用掩模板及其制作方法-CN201510116859.3有效
发明人：洪飞;何信儒;陈志国 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2015-03-17 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本公开提供了一种蒸镀用掩模板及其制作方法。蒸镀用掩模板包括：掩模板本体，具有相对的第一表面和第二表面，第二表面靠近蒸镀源；及沿第一方向设置的至少一排蒸镀孔，其贯穿掩模板本体，每一蒸镀孔包括第一开口、第二开口、第一下侧缘及第二下侧缘，第一开口位于掩模板本体的第一表面侧，第二开口位于掩模板本体的第二表面侧，第一下侧缘和第二下侧缘沿第一方向相对设置，且延伸至第二开口，每一蒸镀孔的第二下侧缘相较于第一下侧缘较靠近掩模板本体的中心线，至少一蒸镀孔的第二下侧缘与第一方向的夹角小于第一下侧缘与第一方向的夹角
下侧缘掩模板蒸镀开口第二表面第一表面方向设置方向相对蒸镀源制作贯穿延伸

[发明专利]蒸镀机及其使用方法、显示面板-CN202311048821.8在审
发明人：郑盛夫 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2023-08-18 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请提供了一种蒸镀机及其使用方法、显示面板，解决了现有技术中蒸镀阴极膜层需要两个蒸镀腔室所导致的蒸镀机成本高、体积大，生产周期长，蒸镀材料利用率低中的至少一个问题。其中，蒸镀机包括蒸镀腔室；载台，位于蒸镀腔室内，载台包括吸附表面，吸附表面用于吸附基材；以及多个蒸镀源，每个蒸镀源包括第一腔体，第一腔体的表面设置有喷嘴，喷嘴连通第一腔体和蒸镀腔室，以将第一腔体内的蒸镀材料蒸镀到基材上；其中，多个蒸镀源各自的喷嘴相对于吸附表面的倾斜角度独立可调。
蒸镀机及其使用方法显示面板

[发明专利]材料成膜装置、制备方法及其制备的有机电致发光器件-CN200810124031.2有效
发明人：邱勇;张嵩;洪瑞;高裕弟 -专利权人：昆山维信诺显示技术有限公司;清华大学;北京维信诺科技有限公司
申请日： 2008-05-29 - 公布日： 2009-12-02 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种材料成膜装置，其包括蒸镀腔室，蒸镀腔室内设有蒸镀源及蒸镀基体放置机构；蒸镀源设有至少两个，蒸镀源至少一个为电阻加热蒸镀源，至少一个为电子束加热蒸镀源。本发明将蒸镀腔室内单一形式的蒸镀源，改变为多种蒸镀形式共同实现蒸镀，克服了现有技术单一蒸镀源的缺陷，特别在有机电致发光器件的膜层制备中，有效改善后续膜层制备中对有机层的破坏，大幅提高器件良率；同时，速率比单纯采用电阻加热蒸镀得到提高
材料装置制备方法及其有机电致发光器件

[发明专利]一种OLED真空老化系统-CN201510069586.1有效
发明人：任海;向欣;魏锋;朱儒辉;李小明 -专利权人：四川虹视显示技术有限公司
申请日： 2015-02-10 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种OLED真空老化系统，包括与蒸镀机相连的输入腔，用于运送蒸镀后的基板；与输入腔相连的转运腔，转运腔内设有用于转运基板的机械手；位于转运腔一侧的老化腔，老化腔用于对基板进行老化；与转运腔相连的输出腔用于将老化后的基板运送至封装机；输入腔、输出腔、转运腔和老化腔均处于真空环境中；本发明的真空老化系统，让基板在接触水汽与氧气前提前达到稳定状态，把水汽与氧气对器件品质的影响降到最低，利于良率的提升；同时结合了蒸镀工序与封装工序设备结构特点，利用蒸镀机和封装机的真空条件，不论是对老式生产线的改造，还是设计新的生产线，成本均较低；且自动化程度高，提高了效率。
一种 oled 真空老化系统

[实用新型]掩膜集成框架-CN202021390431.0有效
发明人：张国梦;嵇凤丽;吴建鹏;黄琰 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2020-07-15 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种掩膜集成框架，包括框架，固定于框架上的多个精细金属掩膜板、多个间隔设置的支撑条和多个间隔设置的遮挡条；精细金属掩膜板包括有效蒸镀区和无效蒸镀区；多个遮挡条与精细金属掩膜板平行设置，且相邻两个精细金属掩膜板之间设置有一个遮挡条；多个支撑条与多个遮挡条相交设置，且多个支撑条支撑于精细金属掩膜板的无效蒸镀区；精细金属掩膜板具有与其延伸方向相垂直设置的第一中心线，在每个精细金属掩膜板的至少两个对称设置于第一中心线两侧的无效蒸镀区内设置有焊接部
集成框架

[实用新型]一种蒸镀用掩膜板和蒸镀掩膜结构-CN202021785843.4有效
发明人：王勇波;秦晓强 -专利权人：苏州清越光电科技股份有限公司
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一种蒸镀用掩膜板和蒸镀掩膜结构，其中，所述蒸镀用掩膜板包括蒸镀区和包围所述蒸镀区的外围区，所述蒸镀用掩膜板的外围区中具有贯穿蒸镀用掩膜板部分厚度的引线遮盖槽。所述蒸镀用掩膜板能够避免在蒸镀的过程中对基板引线区造成短路。
一种蒸镀用掩膜板蒸镀掩膜结构

[发明专利]一种可监测速率的蒸镀装置及速率监测方法-CN201811548810.5在审
发明人：刘全宝;李浩永;郑基泽;鲁俊瑞;曹景博;金薰 -专利权人：合肥欣奕华智能机器有限公司
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种可监测速率的蒸镀装置及速率监测方法，该装置包括：蒸发源模块用于加热待蒸镀材料至蒸镀状态；蒸发源遮挡板模块，所述遮挡板一端带传输通道a，用于在不需要利用蒸镀材料进行蒸镀时，与所述蒸发源模块连通，在需要利用蒸镀材料进行蒸镀时，与所述蒸发源模块错开；测速模块包括测速子模块及与测速子模块连接的传输通道b，在不需要利用蒸镀材料进行蒸镀时，所述传输通道b与所述传输通道a相对形成用于将蒸镀材料传输至所述测速子模块的通道，测速子模块用于蒸镀速率测速。本发明无论蒸镀材料是否需要蒸镀到基板上，都可使蒸镀速率保持恒定，提高了器件基板蒸镀效率。
一种监测速率装置方法

[发明专利]蒸镀装置及方法-CN201610830421.6有效
发明人：孙亮 -专利权人：湖畔光电科技（江苏）有限公司
申请日： 2016-09-18 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀装置，包括：蒸镀源、蒸镀材料与显示器背板，蒸镀源用于加热蒸镀材料；蒸镀材料设置在蒸镀源的内部；显示器背板为蒸镀材料最终蒸镀到的位置，显示器背板与蒸镀源之间的距离定义为TS距离；其中，蒸镀源的顶部设置有上盖板，上盖板上设置有多个导流气孔，导流气孔用于引导被蒸镀的蒸镀材料运动至显示器背板；多个导流气孔包括：一中心直孔与围绕中心直孔的多圈斜孔，在上盖板上方每圈斜孔均以纵向方向为中心向上盖板方向呈锐角倾斜本发明还公开了与该蒸镀装置相对应的蒸镀方法。本发明具有材料使用率高、成膜均匀性好且生产成本低的有益效果。
装置方法

[实用新型]一种蒸镀源-CN201320367636.0有效
发明人：唐元刚 -专利权人：四川虹视显示技术有限公司
申请日： 2013-06-25 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀源，包括蒸镀舟和缠绕在蒸镀舟外部的加热电阻丝，该蒸镀源还包括冷却管、活动底板和升降机构，所述冷却管缠绕在蒸镀舟的外部且不与加热电阻丝重合，所述活动底板连接升降机构并在升降机构的作用下沿蒸镀舟内壁上下运动与现有技术相比，本实用新型所述蒸镀源通过活动底板位置的变化改变蒸镀材料的位置实现蒸镀材料的快速降温：蒸镀时，蒸镀材料位于电阻丝加热区受热蒸发进行蒸镀；蒸镀停止时，蒸镀材料能够迅速离开电阻丝加热区，并进入所设置的冷却管冷却区，通过冷却循环液使材料迅速降温，避免被蒸镀材料变质和浪费。
一种蒸镀源

[实用新型]一种蒸镀载板及蒸镀装置-CN201721763249.3有效
发明人：刘肖楠;宋锐男;于森;宋裕斌;谢飞;李坡;吕冲;曾义红;唐富强;靳福江;安成国 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2017-12-15 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种蒸镀载板及蒸镀装置，用于蒸镀技术领域，解决了待蒸镀基板在点亮时出现白点异常的问题。该蒸镀载板用于承载待蒸镀基板，所述待蒸镀基板包括多个子蒸镀基板，所述蒸镀载板包括：底板和设置在所述底板上多个分离设置的支撑块，一个所述支撑块对应一个所述子蒸镀基板，所述支撑块在所述待蒸镀基板上的正投影与所述支撑块对应的所述子蒸镀基板的显示区域重叠，且重叠面积大于所述显示区域面积的1/3，小于所述子蒸镀基板的面积；其中，所述支撑块用于与所述待蒸镀基板接触的表面为平面或者为向远离所述底板一侧凸起的弧面。用于蒸镀工序中。
蒸镀基板蒸镀载板底板支撑显示区域蒸镀装置本实用新型分离设置白点正投影点亮弧面凸起承载

[实用新型]蒸发源及蒸镀设备-CN201721643442.3有效
发明人：赵子仪;张金中;黄俊杰;裴凤巍 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种蒸发源及蒸镀设备，该蒸发源包括：坩埚，所述坩埚具有用于盛放蒸镀材料的容置腔，且所述容置腔包括多个蒸镀区；加热单元，用于加热所述坩埚内的蒸镀材料，设置于所述坩埚上；检测部件，用于检测各所述蒸镀区的蒸镀状态，设置在所述坩埚上，所述蒸镀状态包括蒸镀速率；用于对各蒸镀区的蒸镀温度进行调节的调温部件，设置在所述坩埚上；以及，用于根据所述检测部件所检测到的各所述蒸镀区的蒸镀状态，控制所述调温部件对各所述蒸镀区的蒸镀温度进行调节的控制单元本实用新型能够实时监控坩埚内蒸镀状态，实现膜厚均一性可控的目的。
蒸镀坩埚调温部件蒸发源检测本实用新型蒸镀材料蒸镀设备容置腔膜厚均一性加热单元实时监控可控的加热盛放

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