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- [实用新型]一种石墨舟震舟器的加固结构-CN202122514239.9有效
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刘金端
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天合光能(宿迁)光电有限公司
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2021-10-19
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2022-05-13
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F16M11/04
- 本实用新型公开了一种石墨舟震舟器的加固结构,涉及石墨舟震舟器技术领域,包括石墨舟震舟器、罗伯特科插片机固定架和节流阀,所述石墨舟震舟器设置在罗伯特科插片机固定架的上方,所述节流阀设置在石墨舟震舟器的一侧,所述石墨舟震舟器的上表面活动安装有调气机构。本实用新型通过采用L型气管接头、气管、节流阀、轴承杆、固定板、固定杆和螺杆的配合,通过L型气管接头和气管的配合,使得节流阀免受震动影响,同时利用固定杆和螺杆的配合,将石墨舟震舟器上震动分散,防止中心位置偏离震源中心,使得装置出现损坏,避免了长时间震动造成节流阀松动损坏,轴承杆断裂的问题,减少了震舟器的使用成本。
- 一种石墨舟震舟器加固结构
- [实用新型]一种薄膜电容器加工用的蒸发舟-CN202022546361.X有效
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陈永民;刀绍飞
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厦门精伦电子有限公司
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2020-11-06
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2021-06-25
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C23C14/24
- 本实用新型属于蒸发舟技术领域,且公开了一种薄膜电容器加工用的蒸发舟,包括舟体,所述舟体内壁的底部固定安装有导热块,所述舟体的左右两侧均固定安装有通电板,所述舟盖的左右两侧均固定安装有导电板,一个所述通电板和一个所述导电板之间通过转轴活动安装本实用新型通过与舟体通过转轴活动连接的舟盖,舟盖的上方设有透气孔与下料口,在进行蒸发时,由于舟盖在舟体的上方,可将舟体内液体在蒸腾作用下的溅射控制在舟体之内,不会溅射到外部,且在蒸腾时,蒸汽会先于舟盖上方接触然后再从透气孔排出,接触时蒸汽内附带的原材料会依附在舟盖的内壁,然后滑落至舟体内,避免浪费,提高了原材料的利用率,节约了生产成本。
- 一种薄膜电容器工用蒸发
- [发明专利]一种舟脚、载具和沉积设备-CN202211015818.1在审
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严大;张胜;李挺
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江苏微导纳米科技股份有限公司
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2022-08-23
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2023-01-20
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H01J37/32
- 本发明提供一种舟脚、载具和沉积设备,载具包括:交替间隔排布的若干第一导电舟片和若干第二导电舟片;第一导电舟片包括第一连接凸件;第二导电舟片包括第二连接凸件;部分第一导电舟片和第二导电舟片构成第一舟片组,第一舟片组中的第一导电舟片还包括位于前侧的第一补充连接凸件;第一舟脚导电块,第一舟脚导电块中具有第一隔离槽;第一隔离槽中具有第一主绝缘件;第一舟片组中第二连接凸件通过第一主绝缘件与第一舟脚导电块电隔离;第一舟片组中的第一补充连接凸件与第一舟脚导电块电连接;第一舟片组之外的第二连接凸件电连接;相邻的第一连接凸件电连接且与第二导电舟片电隔离。
- 一种沉积设备
- [发明专利]一种石墨舟-CN201110328881.6无效
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尤耀明;代宁;李文虎
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无锡绿波新能源设备有限公司
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2011-10-25
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2012-02-15
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H01L21/673
- 本发明涉及一种石墨舟,其包括交错分布的第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片;第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片间通过石墨棒及石墨螺母串接后紧固连接;所述第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片间均通过陶瓷管相隔离;第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片间端部的石墨棒上套有石墨块;陶瓷管的长度为10.98mm~11.02mm,外径为9.95mm~10.05mm,内径为6.1~6.3mm;石墨棒的直径为5.9mm~6mm;第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片上均设置有石墨棒安装孔,石墨棒安装孔的孔径为6.1mm~6.5mm。
- 一种石墨
- [发明专利]高效石墨舟-CN201210217097.2无效
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沈文伟
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沈文伟
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2012-06-28
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2014-01-15
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C23C16/458
- 本发明涉及真空镀膜设备技术领域,尤其是一种高效石墨舟。其包括舟体、舟片、支脚、上电极和下电极,舟片设置在舟体内,支脚安装在舟体底部,上电极和下电极分别位于舟体的上部和下部,舟体由基座和副座组合而成。将舟体设计成由基座和副座连接而成的组合体,可大大适应沉淀室的结构,充分利用空间,扩大舟体的容量,并根据需要做出多种组合,从而大大提高生产效率。
- 高效石墨
- [实用新型]高效石墨舟-CN201220306879.9有效
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沈文伟
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沈文伟
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2012-06-28
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2013-01-23
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C23C16/458
- 本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域,尤其是一种高效石墨舟。其包括舟体、舟片、支脚、上电极和下电极,舟片设置在舟体内,支脚安装在舟体底部,上电极和下电极分别位于舟体的上部和下部,舟体由基座和副座组合而成。将舟体设计成由基座和副座连接而成的组合体,可大大适应沉淀室的结构,充分利用空间,扩大舟体的容量,并根据需要做出多种组合,从而大大提高生产效率。
- 高效石墨
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