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[实用新型]料舟勾舟自动出料装置和自动化冶炼炉-CN202023338346.2有效
发明人：许礼楷;林端瑜;邹建华;肖小华 -专利权人：崇义章源钨业股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： F27D3/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了料舟勾舟自动出料装置和自动化冶炼炉。该出料装置包括出料箱、出料内炉门组件、料舟升降平板组件、勾舟组件、出舟组件和出料外炉门组件，出料箱包括入舟直管、出舟斜口管、箱体、箱体充气口和箱体排气口；出料内炉门组件包括内炉门、内炉门驱动部件和内炉门连杆转动部件；料舟升降平板组件包括料舟升降平板和升降驱动部件；勾舟组件包括滑块驱动部件、滑块部件、料勾驱动部件和料勾；出舟组件包括出舟推板和出舟驱动部件；出料外炉门组件包括外炉门、外炉门驱动部件和外炉门连杆转动部件该出料装置不需人工操作，可达到料舟自动出料、减轻作业强度的目的，解决了现有料舟出料人工操作繁琐、作业环境恶劣等作业问题。
料舟勾舟自动装置自动化冶炼

[实用新型]一种CVD用新型两端支撑推舟机构-CN202020945518.3有效
发明人：王俊朝;寇宗和;常红旺 -专利权人：深圳丰盛装备股份有限公司
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开一种CVD用新型两端支撑推舟机构，包括推舟杆座组件、推舟杆组件以及反应管组件，所述推舟杆座组件包括推舟杆固定座以及组合支撑杆安装套筒，所述推舟杆组件的一端通过所述组合支撑杆安装套筒固定安装在所述推舟杆座组件上，所述推舟杆组件包括前端滚轮组件以及推舟杆，所述反应管组件内部设置有推舟杆导轨，所述推舟杆组件的另一端通过前端滚轮组件在所述推舟杆导轨上滑行。该种CVD用新型两端支撑推舟机构采用两端支撑结构，可以提升推舟机构的承载能力、大幅度提高推舟运行速度、大幅度延长使用寿命，可以有效减少设备的维护成本、缩短无效工艺时间、提高单机生产效率。
一种 cvd 新型两端支撑机构

[实用新型]一种石墨舟震舟器的加固结构-CN202122514239.9有效
发明人：刘金端 -专利权人：天合光能（宿迁）光电有限公司
申请日： 2021-10-19 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石墨舟震舟器的加固结构，涉及石墨舟震舟器技术领域，包括石墨舟震舟器、罗伯特科插片机固定架和节流阀，所述石墨舟震舟器设置在罗伯特科插片机固定架的上方，所述节流阀设置在石墨舟震舟器的一侧，所述石墨舟震舟器的上表面活动安装有调气机构。本实用新型通过采用L型气管接头、气管、节流阀、轴承杆、固定板、固定杆和螺杆的配合，通过L型气管接头和气管的配合，使得节流阀免受震动影响，同时利用固定杆和螺杆的配合，将石墨舟震舟器上震动分散，防止中心位置偏离震源中心，使得装置出现损坏，避免了长时间震动造成节流阀松动损坏，轴承杆断裂的问题，减少了震舟器的使用成本。
一种石墨舟震舟器加固结构

[实用新型]一种圆弧整体发泡舟底-CN202220419610.5有效
发明人：陈可;张廷勋;何家才;李金生;谢红振;李兵强 -专利权人：浙江星星冷链集成股份有限公司;江苏星星冷链科技有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： F25D11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种圆弧整体发泡舟底，具体涉及舟底技术领域，包括舟底外壳，所述舟底外壳的一侧焊接有舟底内壳，所述舟底外壳、舟底内壳之间形成发泡腔体，所述发泡腔体中发泡成型有舟底内体，所述舟底内壳的中部设有水盒，所述舟底内壳、水盒之间设有固定组件；所述舟底内壳靠近水盒的一侧锻压有凹槽，所述水盒活动卡接在凹槽中并延伸至舟底内体中，本实用新型，通过设置不锈钢材质的水盒，对水进行收集并及时排出，防止水渗进发泡腔体中对舟底内体造成生锈，进一步提升了整个圆弧整体发泡舟底的使用效果；通过设置固定组件，进行水盒和舟底内壳之间的快速固定，从而提升了水盒安装的稳定性，且便于水盒的快速拆卸清理或检修更换。
一种圆弧整体发泡

[实用新型]一种薄膜电容器加工用的蒸发舟-CN202022546361.X有效
发明人：陈永民;刀绍飞 -专利权人：厦门精伦电子有限公司
申请日： 2020-11-06 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型属于蒸发舟技术领域，且公开了一种薄膜电容器加工用的蒸发舟，包括舟体，所述舟体内壁的底部固定安装有导热块，所述舟体的左右两侧均固定安装有通电板，所述舟盖的左右两侧均固定安装有导电板，一个所述通电板和一个所述导电板之间通过转轴活动安装本实用新型通过与舟体通过转轴活动连接的舟盖，舟盖的上方设有透气孔与下料口，在进行蒸发时，由于舟盖在舟体的上方，可将舟体内液体在蒸腾作用下的溅射控制在舟体之内，不会溅射到外部，且在蒸腾时，蒸汽会先于舟盖上方接触然后再从透气孔排出，接触时蒸汽内附带的原材料会依附在舟盖的内壁，然后滑落至舟体内，避免浪费，提高了原材料的利用率，节约了生产成本。
一种薄膜电容器工用蒸发

[发明专利]一种舟脚、载具和沉积设备-CN202211015818.1在审
发明人：严大;张胜;李挺 -专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日： 2022-08-23 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种舟脚、载具和沉积设备，载具包括：交替间隔排布的若干第一导电舟片和若干第二导电舟片；第一导电舟片包括第一连接凸件；第二导电舟片包括第二连接凸件；部分第一导电舟片和第二导电舟片构成第一舟片组，第一舟片组中的第一导电舟片还包括位于前侧的第一补充连接凸件；第一舟脚导电块，第一舟脚导电块中具有第一隔离槽；第一隔离槽中具有第一主绝缘件；第一舟片组中第二连接凸件通过第一主绝缘件与第一舟脚导电块电隔离；第一舟片组中的第一补充连接凸件与第一舟脚导电块电连接；第一舟片组之外的第二连接凸件电连接；相邻的第一连接凸件电连接且与第二导电舟片电隔离。
一种沉积设备

[发明专利]一种石墨舟-CN201110328881.6无效
发明人：尤耀明;代宁;李文虎 -专利权人：无锡绿波新能源设备有限公司
申请日： 2011-10-25 - 公布日： 2012-02-15 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及一种石墨舟，其包括交错分布的第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片间通过石墨棒及石墨螺母串接后紧固连接；所述第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片间均通过陶瓷管相隔离；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片间端部的石墨棒上套有石墨块；陶瓷管的长度为10.98mm~11.02mm，外径为9.95mm~10.05mm，内径为6.1~6.3mm；石墨棒的直径为5.9mm~6mm；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片上均设置有石墨棒安装孔，石墨棒安装孔的孔径为6.1mm~6.5mm。
一种石墨

[发明专利]一种全地形舟艇投送装备-CN202210360893.5有效
发明人：彭隆贤;阳同光;伍秋生;戴龙;姜涛;丁鹏 -专利权人：益阳市消防救援支队
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B62D55/06 文献下载
摘要：一种全地形舟艇投送装备，包括舟艇存放架、升降机构、行走底盘车和拖板；所述拖板上承载行走底盘车，行走底盘车上安装舟艇存放架，舟艇存放架上安装升降平台；所述行走底盘车具有移动和旋转功能，用于带动其上的舟艇存放架做相应运动；所述升降机构用于控制舟艇存放架中的舟艇进行升降运动。本发明的全地形舟艇投送装备，可以实现对救援舟艇的快速装、卸操作，为救援工作争取时间，提高救援效率。且在舟艇投送装备的门体结构上设置有吸水机构，在舟艇进入存入架的过程中，可以对舟艇底面上的水分及污渍等进行清理。
一种地形投送装备

[实用新型]舟托结构及半导体加工设备-CN202320811973.8有效
发明人：龙占勇;李东林;周亮;林佳继 -专利权人：拉普拉斯（广州）半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种舟托结构及半导体加工设备，舟托结构用于支撑舟结构，舟托结构具有定位槽，定位槽用于与舟结构的支撑柱配合，且定位槽的底壁与舟结构的支撑柱的接触形式为线接触。在实际工作过程中，将舟结构放置在舟托结构上时，支撑柱配合在定位槽内，定位槽能够限制支撑柱沿舟托结构的长度方向的运动，且由于定位槽的底壁与支撑柱的接触形式为线接触，增加接触压强，使得舟结构更为牢固的放置在舟托结构上
结构半导体加工设备

[发明专利]一种PECVD石墨舟存储与下料方法-CN202210286205.5有效
发明人：杨飞飞;张波;张云鹏;申开愉;李雪方;吕涛 -专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明涉及PECVD石墨舟存储及下料领域。一种PECVD石墨舟存储与下料方法，石墨舟的冷却时间从石墨舟反应完置于PECVD石墨舟的搬运区域开始计时，冷却时间Tx代表X编号存储位置上对应石墨舟的冷却时间；将上下料存储区域、进出炉管存储区域位置状态依据有无石墨舟存放设置为1和0，1有，0无；根据PECVD石墨舟的搬运区域的存储区域的位置状态和石墨舟的冷却时间对存储区域上石墨舟进行移动及下料。
一种 pecvd 石墨存储方法

[发明专利]高效石墨舟-CN201210217097.2无效
发明人：沈文伟 -专利权人：沈文伟
申请日： 2012-06-28 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是一种高效石墨舟。其包括舟体、舟片、支脚、上电极和下电极，舟片设置在舟体内，支脚安装在舟体底部，上电极和下电极分别位于舟体的上部和下部，舟体由基座和副座组合而成。将舟体设计成由基座和副座连接而成的组合体，可大大适应沉淀室的结构，充分利用空间，扩大舟体的容量，并根据需要做出多种组合，从而大大提高生产效率。
高效石墨

[实用新型]高效石墨舟-CN201220306879.9有效
发明人：沈文伟 -专利权人：沈文伟
申请日： 2012-06-28 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是一种高效石墨舟。其包括舟体、舟片、支脚、上电极和下电极，舟片设置在舟体内，支脚安装在舟体底部，上电极和下电极分别位于舟体的上部和下部，舟体由基座和副座组合而成。将舟体设计成由基座和副座连接而成的组合体，可大大适应沉淀室的结构，充分利用空间，扩大舟体的容量，并根据需要做出多种组合，从而大大提高生产效率。
高效石墨

[实用新型]扩散石英舟的改进装置-CN201220135168.X有效
发明人：韩波;丁巍;高常辉;袁前程 -专利权人：宁波升科太阳能股份有限公司
申请日： 2012-04-01 - 公布日： 2012-10-10 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扩散石英舟的改进装置，包括石英舟本体和舟叉，所述石英舟本体两侧设有与舟叉相配合的叉把，所述舟叉上设有螺母，其特征是所述螺母前端设有垫片。本实用新型得到的扩散石英舟的改进装置，通过上述的结构设计，来阻止石英舟与舟叉的碰撞，避免了石英舟的损坏而使得扩散硅片的掉落，提高了生产的安全性，降低了生产成本，让使用更加安全。
扩散石英改进装置

[实用新型]一种管式炉的样品放置装置-CN202023230689.7有效
发明人：朱永福;沈涛;史惠妍;刘国军;马威;金波;蒋青 -专利权人：吉林大学;铜陵富翔铜再生循环利用有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： F27D5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种管式炉的样品放置装置，包括弧形舟和长方形舟，所述弧形舟的弧形腔体内设有至少一个凹槽，所述凹槽与长方形舟相适配。本结构的样品放置装置，解决将样品送到加热区过程中，石英舟或瓷舟易被卡且易倾斜的问题；且使石英舟或瓷舟在加热过程中免受石英管内壁的挤压；同时排除各装置间因热胀冷缩差异导致的石英舟或瓷舟、石英管炸裂的风险。
一种管式炉样品放置装置

[实用新型]易插型石墨舟-CN201220306929.3有效
发明人：沈文伟 -专利权人：沈文伟
申请日： 2012-06-28 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是一种易插型石墨舟。其包括舟体、舟片、支脚、上电极和下电极，舟片设置在舟体内，支脚安装在舟体底部，上电极和下电极分别位于舟体的上部和下部，舟片上设有切口。在舟片的两端间隔设置楔形切口，为插、取硅片提供了方便，避免了破损，从而大大提高了硅片镀膜生产效率。
易插型石墨