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[发明专利]与互补金属氧化物半导体工艺兼容的微机械热电堆红外探测器及制作方法-CN200610026291.7有效
发明人：李铁;刘义冬;王翊;熊斌;王跃林 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2006-04-29 - 公布日： 2006-10-25 - 主分类号： H01L35/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种与互补金属氧化物半导体(Complementary Metal－Oxide Semiconductor，CMOS)兼容的微机械热电堆红外探测器结构及其制作方法，其特征为利用(100)单晶硅各向异性腐蚀特性采用正面特定的开口通过正面腐蚀实现大吸收面积微机械热电堆结构，所制作的红外探测器特征在于框架与中间悬浮的红外吸收区构成热电堆的冷结区和热结区；支撑臂连接框架和红外吸收区以及承载热电堆；长条形开口覆盖整个红外吸收区。本发明提供的结构和工艺具有腐蚀时间短、器件占空比大，器件成品率高等特点，特别适合大阵列红外探测器的制作。
互补金属氧化物半导体工艺兼容微机热电红外探测器制作方法

[发明专利]一种高性能MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法-CN201210303727.8有效
发明人：毛海央;陈媛婧;欧文;明安杰 -专利权人：江苏物联网研究发展中心
申请日： 2012-08-23 - 公布日： 2012-11-28 - 主分类号： G01J5/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种高性能MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法，其包括衬底；衬底上设有释放阻挡带，释放阻挡带内具有热隔离腔体，热隔离腔体的正上方设有黒硅红外吸收区，黒硅红外吸收区位于释放阻挡带上；黒硅红外吸收区的外侧设有若干热电堆，黒硅红外吸收区外侧的若干热电堆相互串接后电连接成一体；热电堆的探测冷端通过第一热导通电隔离结构及所述第一热导通电隔离结构下方的热传导体与衬底相连；热电堆的探测热端通过第二热导通电隔离结构与黒硅红外吸收区相接触
一种性能 mems 热电红外探测器结构及其制备方法

[发明专利]一种夜视兼容近红外吸收防眩光学膜及其制备方法和应用-CN201610160069.X有效
发明人：杨柱;胡露;张小平;姜磊;龚露露;刘振宇;夏萍;张宏元 -专利权人：湖北航天化学技术研究所
申请日： 2016-03-18 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： C08J7/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种夜视兼容近红外吸收防眩光学膜及其制备方法和应用，它包括一个厚度为20~200μm的光学级透明薄膜基材，以及涂覆在透明薄膜基材上厚度为3~15μm的近红外吸收防眩光涂层，其中近红外吸收防眩光涂层含有平均粒径为2~20μm的透明防眩微粒和近红外吸收剂。以透明薄膜为基材，采用精密湿法涂布工艺制备的夜视兼容近红外吸收防眩光学膜不仅具有优异的夜视兼容特性，其在660~930nm近红外区的光线透过率低于0.2%，对波长在400~630nm可见光区的光线透过率大于
一种兼容红外吸收眩光及其制备方法应用

[发明专利]微机械热电堆红外探测器及其制作方法-CN200610118474.1有效
发明人：熊斌;杨恒昭;李铁;王翊;王跃林 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2006-11-17 - 公布日： 2007-05-09 - 主分类号： H01L35/32 文献下载
摘要：本发明涉及微机械红外热电堆探测器结构及其制作方法，其特征在于作为红外吸收层的悬浮膜结构具有多种形状的腐蚀开口，使用各向同性的干法刻蚀从正面腐蚀衬底形成悬浮膜结构释放器件。探测器的衬底和悬浮于框架中间的红外吸收层分别构成热电堆的冷结区和热结区，支撑臂连接框架和红外吸收区并承载热电堆；中间悬浮的红外吸收层带有不同形状的腐蚀开口，作为干法刻蚀工作气体进入衬底进行反应的通道。使用了选择性很好的干法刻蚀形成红外吸收层，相比传统的湿法腐蚀不仅简化了工艺流程，降低了对光刻机的要求；同时不需考虑对其它材料的破坏，拓宽了探测器可用材料的范围。
微机热电红外探测器及其制作方法

[发明专利]基于黑硅吸收层及多层组合膜结构的红外探测器敏感元件-CN201210317953.1无效
发明人：谭秋林;熊继军;薛晨阳;梁庭;石云波;张斌珍;刘俊;张文栋;裴向东 -专利权人：中北大学
申请日： 2012-08-31 - 公布日： 2012-12-19 - 主分类号： G01N21/35 文献下载
摘要：本发明涉及红外气体探测器的敏感元件，具体是一种基于黑硅吸收层及多层组合膜结构的红外探测器敏感元件。进一步提高了热释电薄膜型红外气体探测器的检测性能。由上至下包括红外敏感吸收层、上电极、热释电薄膜组合层、下电极、热隔离层、高热阻抗基底；红外敏感吸收层为具有锥状森林形貌结构的黑硅吸收层，热释电薄膜组合层为若干层PT薄膜和PZT薄膜交替设置构成的PT/PZT/PT～PT/PZT/PT多层薄膜结构；结构及加工工艺合理，具备良好的热吸收性能和热响应性能，能用于构建高性能红外气体探测器，满足环境安全、煤矿生产安全、以及危化品气体储运、煤气管道防泄、森林火灾防护、
基于吸收多层组合膜结构红外探测器敏感元件

[实用新型]一种耐受振动和冲击的双层红外焦平面微桥结构-CN202221102923.4有效
发明人：杜建林;黄梅 -专利权人：成都市精鹰光电技术有限责任公司
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： G01J5/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种耐受振动和冲击的双层红外焦平面微桥结构，包括保护底板，所述保护底板内部活动安装有复合桥面，所述保护底板上部设置有桥板，所述桥板上部通过支柱连接有红外吸收层，所述红外吸收层左右两侧设置有侧撑板，所述侧撑板上部设置有缓冲垫，所述红外吸收层上部活动设置有保护缓冲层。通过设置的抵紧弹簧对压板施加向下作用力，来增加复合桥面在使用过程中的稳定性，同时设置在底板对复合桥面进行限位固定，设置的缓冲座卡接在底板内部对复合桥面起到减震缓冲的作用，且能够在受到震动或冲击时对红外吸收层进行保护，同时通过缓冲垫减少保护缓冲层对红外吸收层的力，最大程度上保证整体使用稳定。
一种耐受振动冲击双层红外平面结构

[发明专利]一种基于红外吸收光谱的甲醛浓度检测方法及装置-CN201911345606.8在审
发明人：崔海林;苏波;周庆莉 -专利权人：首都师范大学
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： G01N21/3504 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于红外吸收光谱的甲醛浓度检测方法和装置，同时检测甲醛气体的两个红外吸收峰位置来检测甲醛对红外光的吸收情况，最终计算甲醛浓度；由于大气中气体都有自己的特征吸收峰，不会与甲醛的两个吸收峰都重合，这样就可以通过选择未被影响的吸收峰，作为检测浓度的数据，就可以大大减少其他气体的影响，提供甲醛浓度的检测精度；本发明中通过事先标定浓度电压比值系数k，并不单独设置一个参考通道，因此可以简化检测流程；本发明的基于红外吸收光谱的甲醛浓度检测装置
一种基于红外吸收光谱甲醛浓度检测方法装置

[发明专利]一种基于四纳米柱耦合振子的可调超窄带吸收体-CN201910406347.9有效
发明人：董士奎;赵磊;贺志宏;帅永;冯颖;孟夏莹 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： H01Q17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于四纳米柱耦合振子的近红外波段线性热光可调超窄带吸收体，属于超构材料吸收体技术领域。该吸收体包括多个周期性结构单元，每个周期性结构单元均为三层结构，底层为金属薄膜，中间层为电介质薄膜，顶层为由四个纳米柱耦合而成的振子，且振子的材料为非晶硅。该吸收体通过采用四纳米柱耦合非晶硅振子能在近红外波段形成一个超窄吸收带，成功实现了近红外波段线性热光可调超窄吸收体的设计。本发明吸收体可应用于微型光学开关，光学调节器和红外伪装。
一种基于纳米耦合可调窄带吸收体

[实用新型]一种气体吸收池及具有其的二氧化碳气体分析仪-CN202320097988.2有效
发明人：江康 -专利权人：安徽皖仪科技股份有限公司
申请日： 2023-02-01 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G01N21/03 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气体吸收池，包括气体吸收池本体、采样泵、第一三通电磁阀、三通接头和二氧化碳吸收器，气体吸收池本体具有进气口和出气口，采样泵的工作管路与气体吸收池本体的出气口连接，第一三通电磁阀具有两个进口和一个出口，出口与气体吸收池本体的进气口连接，三通接头的出口与第一三通电磁阀的其中一个进口连接，二氧化碳吸收器连接在三通接头的其中一个进口的气路中；一种二氧化碳气体分析仪，包括气体吸收池、红外光源、红外探测器以及相关轮，红外光源与红外探测器分布于气体吸收池的两侧，相关轮转动设置，且位于红外光源与气体吸收池之间，本实用新型自动设定时间校零检测，无需人工操作，节省人工成本。
一种气体吸收具有二氧化碳分析

[发明专利]结构自对准制作微机械热堆红外探测器的红外吸收层方法-CN01131975.5无效
发明人：徐峥谊;熊斌;王翊;王跃林 -专利权人：中国科学院上海冶金研究所
申请日： 2001-10-22 - 公布日： 2002-04-03 - 主分类号： G01J1/00 文献下载
摘要：一种结构自对准制作微机械热堆红外探测器的红外吸收层方法,属于微机械领域,其特点是从单晶硅片的正面和反面同时进行腐蚀,在热堆背面得到一个与红外吸收区大小相仿的窗口,通过此窗口的对准作用,在氮气氛下蒸发黑体所以本发明的最为关键的工艺是利用硅各向异性腐蚀生成的结构,自对准沉积黑体制作红外吸收层。这样既可一次成型,省去了光刻等相关工艺,降低了生产成本;又可精确定位生成红外吸收层,提高器件的成品率。
结构对准制作微机械热堆红外探测器红外吸收方法

[发明专利]用于预测人血糖水平的方法-CN200680020891.0无效
发明人：钟慧仪;樊家伦;汪国成;林泽庆;张清政;陈颂文;刘彦麒;迈克尔·约翰·弗林特 -专利权人：香港理工大学
申请日： 2006-05-04 - 公布日： 2008-06-04 - 主分类号： A61B5/1455 文献下载
摘要：一种用于预测人血糖水平的方法，包括：对所述人在第一组波长和第二组波长下进行身体局部的近红外光谱扫描，确定对应于所述第一组波长的第一组近红外吸收值和对应于所述第二组波长的第二组近红外吸收值，确定对应于所述第一组近红外吸收值的一阶差分和对应于所述第二组近红外吸收值的二阶差分
用于预测血糖水平方法

[发明专利]一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器-CN201610566175.8在审
发明人：周大华;魏兴战;冯双龙;申钧;杨俊;史浩飞;杜春雷 -专利权人：中国科学院重庆绿色智能技术研究院
申请日： 2016-07-19 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： H01L31/101 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器，还公开了该红外探测器的制备方法。基于石墨烯夹层式红外吸收层包括热敏层，所述热敏层上方覆盖有石墨烯薄膜，下方贴附有Si₃N₄薄膜。到达热敏层的红外线有三种途径：部分红外线反射回石墨烯层，部分被热敏层吸收红生热，剩余的红外线透过热敏层辐照到Si₃N₄薄膜。本发明是让从热敏层反射和透射的红外线，尽可能又重新被反射回热敏层，形成“温室效应”的腔体结构。
一种基于石墨夹层红外吸收红外探测器

[发明专利]红外探测器及其制备方法-CN202010649857.1有效
发明人：魏斌;翟光杰;潘辉;武佩 -专利权人：北京北方高业科技有限公司
申请日： 2020-07-08 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： G01J5/20 文献下载
摘要：本公开涉及一种红外探测器及其制备方法，红外探测器包括多个阵列排布的探测器像元，每个探测器像元包括微桥式探测器结构和超材料金属层；超材料金属层包括多个阵列排布的金属重复单元，每个金属重复单元包括两个对角设置的L型图案化结构；红外探测器的红外吸收谱段为3微米至30微米波段。通过本公开的技术方案，实现了红外探测器的宽谱吸收，大大提高了红外探测器对目标物体温度红外辐射能量的吸收率，进而使得红外探测器具有较高的探测灵敏度。
红外探测器及其制备方法

[发明专利]光激发式微型热红外线放射装置-CN201910822603.2在审
发明人：谢正雄;廖怡钧;陈介羿;林忠正;杨呈尉;张启增 -专利权人：神匠创意股份有限公司;光磊科技股份有限公司
申请日： 2019-09-02 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： H05B1/02 文献下载
摘要：一种光激发式微型热红外线放射装置，包含基板、发光元件及热红外线放射单元。发光元件设置于基板并包括出光侧。热红外线放射单元设置于基板的对应发光元件处，并包括薄膜结构。薄膜结构具有紧邻发光元件的出光侧的光吸收膜层，光吸收膜层吸收发光元件发出的光线而有效率地升温放射热红外线。
激发式微红外线放射装置

[发明专利]一种热电堆红外探测器-CN201010173938.5有效
发明人：刘瑞文;焦斌斌;陈大鹏 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2010-05-10 - 公布日： 2011-11-16 - 主分类号： H01L35/32 文献下载
摘要：一种热电堆红外探测器，包括全镂空结构的衬底以及其上的热电堆、第一红外吸收层和钝化层，以及形成于钝化层之上的反射层，以及通过牺牲层释放技术形成的第二红外吸收层。所述探测器提高了红外吸收率，并使热电偶对冷端与热端的温度差增大，从而使探测器的响应率变大，灵敏度提高。
一种热电红外探测器