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[发明专利]用于精密计量的时栅式数控分度转台-CN200910103280.8无效
发明人：张兴红;彭东林;陈锡侯;杨伟;万文略;刘小康;王先全 -专利权人：重庆工学院
申请日： 2009-02-27 - 公布日： 2009-08-05 - 主分类号： G05B19/401 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于精密计量的时栅式数控分度转台，包括基于单片机的数控系统、步进电机、精密机械转台、时栅角度位移传感器。在精密计量过程中，当分度转台需要精确定位，按照一定转向转动至某一特定角度时，通过数控系统的键盘输入包含转向和转动角度信息指令，使机械转台按照指令中的转向和角度转动。时栅角度位移传感器检测机械转台转过的角度信息，反馈给数控系统，从而形成闭环控制，保证转台能够精确定位至指令中指示的角度，定位精度主要取决于时栅角度位移传感器的精度。由于采用了新型时栅角度位移传感器和基于步进电机的数控系统，大大降低了用于计量的精密数控分度转台的成本。
用于精密计量时栅式数控分度转台

[发明专利]一种利用可旋转光栅测量的位移测量系统-CN201410720041.8有效
发明人：张鸣;朱煜;崔健彰;王磊杰;叶伟楠;杨开明;胡金春;徐登峰;成荣;张利;赵彦坡;胡清平;张金;尹文生;穆海华 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2014-12-01 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：一种利用可旋转光栅测量的位移测量系统，包括激光器、凸透镜、折光元件、光栅、光电转换器、电子信号处理部件；该系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量，位移测量功能不受待测物体绕一个固定方向转动的限制，当光栅相对激光器做平面运动或绕激光光轴转动时，测量系统能够始终输出所需测量方向的位移信息，不受光栅面内平动或转动的影响。该测量系统可以为光刻机超精密工件台进行位置位移测量，提升工件台综合性能，也可应用于精密机床、三坐标测量机、半导体检测设备等的工件台多自由度位移的精密测量。
一种利用旋转光栅测量位移系统

[实用新型]一种水泥凝结时间测量探针直线位移精密测定装置-CN201920295839.0有效
发明人：罗华东;王湘祁;黄上敏;冯宇;徐乐;刘爽;龙娴 -专利权人：长沙海纳光电科技有限公司
申请日： 2019-03-08 - 公布日： 2020-02-18 - 主分类号： G01N11/12 文献下载
摘要：本实用新型属于水泥凝结时间测定技术领域，尤其为一种水泥凝结时间测量探针直线位移精密测定装置，包括支架，所述支架上固定连接有电机，所述电机的输出轴上固定连接有丝杆，所述丝杆的表面螺纹连接有位移台，所述位移台上设置有标尺；本实用新型，通过步进电机加精密丝杆实现测量探针直线位移全自动测量，避开了购买位移传感器与测量探针硬连接的问题，不影响探针自由落体运动，该装置通过设置嵌入式ARM芯片控制步进电机、精密丝杆、位置检测装置和测量探针来完成直线位移测量
一种水泥凝结时间测量探针直线位移精密测定装置

[实用新型]一种高精密多点位厚度检测设备-CN202220984357.8有效
发明人：李交贤;罗元强;张光平;蒲志国 -专利权人：四川海默生科技有限公司
申请日： 2022-04-26 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G01B5/06 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种高精密多点位厚度检测设备，涉及厚度检测设备技术领域。一种高精密多点位厚度检测设备，包括底座和设于底座上的安装立板，安装立板上设置有控制装置和移动装置，移动装置的输出端传动连接有检测工件厚度的厚度检测装置，厚度检测装置包括安装箱和多个位移传感器，安装箱与移动装置的输出端传动连接，多个位移传感器设于安装箱内，且任意一个位移传感器的探针下端部竖直向下穿过安装箱下侧壁并位于其外侧，移动装置和多个位移传感器均与控制装置电性连接；此设备能够自动化的对工件进行测量，工作效率高，且同时对工件上的多个点位进行测量
一种精密多点厚度检测设备

[发明专利]精密材料微观力学性能原位扭转测试平台-CN201310172164.8有效
发明人：赵宏伟;史成利;刘宏达;鲁帅;黄虎;田野;马志超;佟达 -专利权人：吉林大学
申请日： 2013-05-10 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： G01N3/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种精密材料微观力学性能原位扭转测试平台，属于机械领域。扭矩加载机构将扭矩加载在主动夹具一端，将扭矩加载至测试工件，被动夹具一端安装在精密导轨滑块上，拥有测试工件轴线方向的一个自由度。在被动夹具一端安装有精密扭矩传感器。在测试工件上安装有两个带轮，通过皮带将工件两侧的转角分别传递给两个精密角位移传感器，角位移信号反馈至检测系统，计算出工件标定长度上的绝对转角，显著提高扭转测试中角位移的检测精度，大大减小了对测试精度的不利影响
精密材料微观力学性能原位扭转测试平台

[发明专利]基于杠杆原理的机床多维几何误差测量方法-CN202010669001.0有效
发明人：王文;孙涛;吴海梅;陈占锋;卢科青 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2020-07-13 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： B23Q17/00 文献下载
摘要：本发明同时检测加长杆端精密球球头位移量与球杆仪端精密球球头伸缩量，通过加长杆端精密球的球心位移量能反映出被测机床做圆弧插补运动时垂直于球杆仪轴向方向的几何误差大小，通过球杆仪端精密球的球心位移量能反映出被测机床做圆弧插补运动时沿着球杆仪轴向方向的几何误差大小；且通过改变加长杆两端的长度比例，可以成倍地放大垂直于球杆仪轴向方向的机床几何误差，利于传感器对机床几何误差的高精度检测。
基于杠杆原理机床多维几何误差测量方法

[实用新型]精密材料微观力学性能原位扭转测试平台-CN201320253407.6有效
发明人：赵宏伟;史成利;刘宏达;鲁帅;黄虎;田野;马志超;佟达 -专利权人：吉林大学
申请日： 2013-05-10 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： G01N3/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种精密材料微观力学性能原位扭转测试平台，属于机械领域。扭矩加载机构将扭矩加载在主动夹具一端，将扭矩加载至测试工件，被动夹具一端安装在精密导轨滑块上，拥有测试工件轴线方向的一个自由度。在被动夹具一端安装有精密扭矩传感器。在测试工件上安装有两个带轮，通过皮带将工件两侧的转角分别传递给两个精密角位移传感器，角位移信号反馈至检测系统，计算出工件标定长度上的绝对转角，显著提高扭转测试中角位移的检测精度，大大减小了对测试精度的不利影响
精密材料微观力学性能原位扭转测试平台

[实用新型]一种外圆精密磨边机-CN201820283484.9有效
发明人：李晨;李洪亮 -专利权人：徐州盛唐光电科技有限公司
申请日： 2018-02-28 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： B24B27/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种外圆精密磨边机，包括：机架、位移补偿机构、旋转轴、磨砂盘、位移检测机构和置物平台，所述机架上段设置有位移补偿机构，所述位移补偿机构中央设置有旋转轴，所述旋转轴一端设置有磨砂盘，所述磨砂盘四周设置有位移检测机构，所述位移检测机构设置于机架上；所述机架下段设置有置物平台。其通过检测磨片的位置并保证磨片固定，使其不发生偏移，保证工件能够获得更高的尺寸精度，从而提高工件的质量。
位移补偿机构位移检测机构磨砂盘旋转轴置物平台磨边机磨片外圆精密本实用新型一端设置中央设置偏移下段保证检测

[实用新型]一种测量头机构-CN202221332578.3有效
发明人：刘晓松 -专利权人：武汉信格诺科技有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及测量头技术领域，尤其为一种测量头机构，包括精密转台，所述精密转台的底部连接有连接壳体，所述连接壳体的底部连接有线激光位移传感器，本实用新型通过在装置中采用精密转台的设计，使得精密转台底部的检测装置可以实现单测头的360°高精度扫描，从而降低了对复杂空间曲面扫描的时候对外部运动平台的要求，从而解决了对外部运动平台的要求较高的问题，以及通过在装置中采用线激光位移传感器与摄像头的设计，使得线激光位移传感器与摄像头相结合，实现轮廓的快速图像识别与局部精密尺寸的点云扫描，既保证了整体精度，又提高测量效率，从而解决了测量的精度和效率都不高的问题。
一种测量机构

[发明专利]全应变测量式原位纳米压/划痕测试装置-CN201210413791.1有效
发明人：黄虎;赵宏伟;史成利;万顺光 -专利权人：吉林大学
申请日： 2012-10-26 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： G01N3/42 文献下载
摘要：本发明涉及一种全应变测量式原位纳米压/划痕测试装置，属于电一体化的精密科学仪器领域。包括宏动调整机构、精密压入单元、载荷与位移信号检测单元以及划痕驱动单元，所述宏动调整机构安装在基座上；精密压入单元通过过渡连接板连接在宏动调整机构的x向滑台上；载荷与位移信号检测单元包含二组八片应变片，通过内嵌的方式分别安装在精密压入单元的载荷检测用柔性铰链和x向柔性铰链上；划痕驱动单元通过螺钉与基座相连接。采用内置的应变片进行信号检测，使得整个测试装置结构紧凑、体积小，便于整个测试装置安装于扫描电子显微镜（SEM）或X射线衍射仪等载物台上实现材料的原位压痕、划痕测试，为研究材料的损伤机制提供技术支持。
应变测量原位纳米划痕测试装置

[实用新型]全应变测量式原位纳米压/划痕测试装置-CN201220552542.6有效
发明人：黄虎;赵宏伟;史成利;万顺光 -专利权人：吉林大学
申请日： 2012-10-26 - 公布日： 2013-04-24 - 主分类号： G01N3/42 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种全应变测量式原位纳米压/划痕测试装置，属于电一体化的精密科学仪器领域。包括宏动调整机构、精密压入单元、载荷与位移信号检测单元以及划痕驱动单元，所述宏动调整机构安装在基座上；精密压入单元通过过渡连接板连接在宏动调整机构的x向滑台上；载荷与位移信号检测单元包含二组八片应变片，通过内嵌的方式分别安装在精密压入单元的载荷检测用柔性铰链和x向柔性铰链上；划痕驱动单元通过螺钉与基座相连接。采用内置的应变片进行信号检测，使得整个测试装置结构紧凑、体积小，便于整个测试装置安装于扫描电子显微镜（SEM）或X射线衍射仪等载物台上实现材料的原位压痕、划痕测试，为研究材料的损伤机制提供技术支持。
应变测量原位纳米划痕测试装置

[发明专利]一种利用光栅测量的位移测量系统-CN201410720157.1在审
发明人：朱煜;张鸣;崔健彰;王磊杰;叶伟楠;杨开明;胡金春;徐登峰;成荣;张利;赵彦坡;胡清平;尹文生;穆海华 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2014-12-01 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：一种利用光栅测量的位移测量系统，该系统包括激光器、凸透镜、折光元件、光栅、光电转换器和电子信号处理部件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量，位移测量功能不受读取距离的限制，可灵活安装和应用到多种需要测量位移的场合之中。当光栅相对激光器做三自由度平动时，测量系统能够始终输出所需测量方向的位移信息，不受另两个方向运动的影响。该测量系统安装灵活，调整方便，对环境敏感性低、测量信号易于处理，分辨率与精度可达亚纳米甚至更高。本发明可以为光刻机超精密工件台进行位置位移测量，提升工件台综合性能，也可应用于精密机床、三坐标测量机、半导体检测设备等的工件台多自由度位移的精密测量。
一种利用光栅测量位移系统

[实用新型]基于光电开关的位移量检测装置-CN202222108647.9有效
发明人：吴建兴 -专利权人：嘉兴景焱智能装备技术有限公司
申请日： 2022-08-11 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及精密设备检测测量技术领域，公开了一种基于光电开关的位移量检测装置，包括光电开关和信号处理单元，所述信号处理单元包括阻容单元、运放单元和电压采集单元，所述光电开关传感器包括发光部和收光部，发光部和收光部之间形成位移槽，检测物从位移槽中移动一定的位移量，所述检测物从位移槽中位移时，光电开关输出的电压信号经运放信号跟随号输出至电压采集单元进行电压信号采集，采集的电压信号与检测物的位移量相对应。本实用新型安装尺寸小、动态响应好、成本低，检测精度高。
基于光电开关位移检测装置

[发明专利]一种剪切类线性痕迹激光检测系统-CN201510807425.8有效
发明人：潘楠;刘益;宋卫国;沙生;张斌 -专利权人：云南卡索实业有限公司
申请日： 2015-11-20 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本发明涉及一种剪切类线性痕迹激光检测系统，剪切类线性痕迹激光检测系统的仪器部件装置于减震台上，保障了精密测量必要的稳定条件；多功能载物台的平移、旋转和升降，实现了载物台上的承载体快速地空间位置调节和定位；电控角度位移台可以实现电控角度位移台上的一个平面在±15°内任意方向倾斜角度调节；显微镜装置主要把截面上微小痕迹放大并传输至计算机显示，通过控制高精度激光位移传感器和精密电动滑台，检测和提取截面上微小痕迹的特征本发明提出一种剪切类线性痕迹激光检测系统，采用高精度激光测距技术与巧妙的光学成像相结合，实现对截面痕迹的高精度检测；本发明适用于剪切类线性痕迹的激光检测。
一种剪切线性痕迹激光检测系统

[实用新型]一种应用于零长弹簧微形变测量的敏感装置-CN201920367634.9有效
发明人：王智奇;吴畏;朱学毅;刘红光;谭志军;褚宁;仇恺 -专利权人：中国船舶重工集团公司第七0七研究所
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种应用于零长弹簧微形变测量的敏感装置，包括测试支架、精密光电微距测试仪、支撑刀口、横梁、石英玻璃片和挂重，测试支架安装精密光电微距测试仪，测试支架的底板上表面安装竖直设置的支撑刀口，该支撑刀口上安装一个水平设置的横梁，该横梁的左端上表面粘贴石英玻璃片，该石英玻璃片位于精密光电微距测试仪的光学探头的下方；横梁的右端下表面悬挂一定重量的挂重。本实用新型是一种设计科学、结构合理、使用方便的应用于零长弹簧性能检测的高精度微位移检测装置，采用本机构能够精确敏感零长弹簧的微小位移变化，将重力信息的变化转化为电信号，实现微小位移的精确测量，适用于各类零长弹簧的性能检测
长弹簧横梁石英玻璃片测试支架刀口微距精密本实用新型性能检测测试仪挂重支撑测量微位移检测装置微小位移变化底板上表面光学探头敏感装置竖直设置水平设置微小位移重力信息上表面微形变下表面左端粘贴应用测试悬挂敏感转化

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