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[发明专利]内球面环精密磨削在位检测装置与自动检测方法-CN201310416107.X有效
发明人：胡德金 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2013-09-12 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： B24B49/02 文献下载
摘要：本发明提供一种内球面环精密磨削在位检测装置与自动检测方法，所述装置包括底板、摆动臂、摆动气缸和精密位移传感器；所述方法是：在磨削加工应用中当需要检测时，磨削主轴系统自动沿Y坐标轴离开内球面环，使砂轮磨具离开内球面环，内球面环和砂轮磨具停止旋转，摆动臂在摆动气缸的驱动下做顺时针摆动90°，此时精密位移传感器处于砂轮磨具的正前方；磨削主轴系统沿Y坐标轴向内球面环方向移动，当精密位移传感器接触到内球面环表面时，使磨削主轴系统停止移动，记录下精密位移传感器从检测零点到精密位移传感器接触到内球面环表面时的距离即为内球面环的半径值R，其检测精度取决于精密位移传感器的精度和磨削主轴系统进给移动的定位精度。
球面精密磨削在位检测装置自动检测方法

[发明专利]一种基于电容位移计的直线位移检测装置-CN201510263234.X有效
发明人：梁济民;张弓;陈贤帅;罗良维 -专利权人：广州中国科学院先进技术研究所
申请日： 2015-05-20 - 公布日： 2017-12-08 - 主分类号： G01B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于电容位移计的直线位移检测装置，包括直线位移模块和位移信息采集模块，直线位移模块包括直线导轨、精密驱动单元和动平台，精密驱动单元可驱动动平台沿直线导轨往复运动，位移信息采集模块包括装在动平台上的电容位移计和装在需要检测的运动轴上的电容测头，电容位移计和电容探头彼此正对设置。应用本基于电容位移计的直线位移检测装置进行精度检测时，通过对比机床运动轴运动检的测距离和动平台运动的标准距离便可完成机床的精度检测。本发明能够可实现大尺度精密位移，进行精度检测。
一种基于电容位移直线检测装置

[发明专利]一种超精密位移激光感测方法-CN201810211857.6有效
发明人：陈珂;蒋伟 -专利权人：四川大学
申请日： 2018-03-14 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种超精密位移激光感测方法。所述超精密位移激光感测方法基于超精密激光位移传感器对物体位移进行超精密测量；所述超精密激光位移传感器包括激光发射装置，圆弧形镜面反射装置，激光接收装置，控制器；所述控制器依据激光接收装置上受光位置变化量与被检测物表面位置量间的几何映射关系，计算得到被检测物的位移值。本发明通过在被检测物反射激光到激光接收装置的光路中加入圆弧形镜面反射装置，利用方向相同而入射位置不同的激光束在圆弧形镜面上入射角的变化，使最终投射到激光接收装置上的激光光斑位置发生较大的改变，实现被检测物位移量在激光接收装置上的高倍率放大；在激光接收装置分辨率一定的情况下，可实现对被检测物位移超高精度测量。
激光接收装置被检测物超精密圆弧形感测激光位移传感器镜面反射装置激光控制器激光发射装置激光光斑位置超精密测量表面位置反射激光精度测量入射位置受光位置物体位移映射关系镜面变化量高倍率激光束入射角位移量分辨率光路投射放大

[发明专利]一种精密数控钻床摇臂长度检测设备-CN201310386240.5无效
发明人：宋凯 -专利权人：宋凯
申请日： 2013-08-30 - 公布日： 2015-03-18 - 主分类号： G01B21/02 文献下载
摘要：一种精密数控钻床摇臂长度检测设备，其特征在于：所述的精密数控钻床摇臂长度检测设备包括操作平台，位移检测装置，可伸缩连接装置，数据处理装置，数据输出设备；其中：位移检测装置通过支架安装在底座上，位移检测装置通过可伸缩连接装置与数据处理装置连接本发明的优点：本发明所述的精密数控钻床摇臂长度检测设备，结构简单，测量精度高，测量所需时间短，易于推广使用。
一种精密数控钻床摇臂长度检测设备

[发明专利]基于可调式拉伸-弯曲预载荷的原位纳米压痕测试仪-CN201310235996.X有效
发明人：赵宏伟;袁英堃;李烁;邹青;马志超;黄虎;史成利;崔涛;佟达;张攀峰 -专利权人：吉林大学
申请日： 2013-06-14 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： G01N3/40 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于可调式拉伸-弯曲预载荷的原位纳米压痕测试仪，属于机电一体化精密科学仪器领域。包括原位纳米压痕测试模块、拉伸预载荷加载模块和弯曲预载荷加载模块，所述原位纳米压痕测试模块由精密位移/力加载单元和载荷/位移信号检测单元组成；拉伸预载荷加载模块由精密驱动单元A、精密传动单元A、载荷/位移信号检测及控制单元A以及夹持单元A组成；弯曲预载荷加载模块由精密驱动单元B、精密传动单元B、载荷/位移信号检测及控制单元B组成；优点在于：体积小巧，结构紧凑，测试精度高，可提供的测试内容丰富、变形/位移/载荷速率可控，可安装于各种主流电子显微镜真空腔体的载物平台上
基于调式拉伸弯曲载荷原位纳米压痕测试仪

[实用新型]基于可调式拉伸-弯曲预载荷的原位纳米压痕测试仪-CN201320341794.9有效
发明人：赵宏伟;袁英堃;李烁;邹青;马志超;黄虎;史成利;崔涛;佟达;张攀峰 -专利权人：吉林大学
申请日： 2013-06-14 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： G01N3/40 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基于可调式拉伸-弯曲预载荷的原位纳米压痕测试仪，属于机电一体化精密科学仪器领域。包括原位纳米压痕测试模块、拉伸预载荷加载模块和弯曲预载荷加载模块，所述原位纳米压痕测试模块由精密位移/力加载单元和载荷/位移信号检测单元组成；拉伸预载荷加载模块由精密驱动单元A、精密传动单元A、载荷/位移信号检测及控制单元A以及夹持单元A组成；弯曲预载荷加载模块由精密驱动单元B、精密传动单元B、载荷/位移信号检测及控制单元B组成；优点在于：体积小巧，结构紧凑，测试精度高，可提供的测试内容丰富、变形/位移/载荷速率可控，可安装于各种主流电子显微镜真空腔体的载物平台上
基于调式拉伸弯曲载荷原位纳米压痕测试仪

[发明专利]一种三轴超精密轮廓检测装置-CN202210171704.X在审
发明人：王刚 -专利权人：成都特密思科技有限公司
申请日： 2022-02-24 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种三轴超精密轮廓检测装置，属于精密测量技术领域，其基于柱坐标测量原理，主要由运动执行单元及精密测量单元构成；测量装置包括隔振平台、大理石基座、精密气浮转台、X轴直线运动平台、Z轴直线运动平台、光谱共焦位移传感器、X轴位移参考基准、Z轴位移参考基准、法布里－珀罗干涉位移传感器、工件调整台、回转轴基准R、环境传感器、主控制器、隔离罩，利用光谱共焦位移传感测量技术进行零件表面轮廓的非接触探测，使用法布里－珀罗干涉位移传感测量技术进行大位移高精度测量，结合精密气浮转台实现轮廓快速回转扫描测量，其结构简单、工程易实现，可实现精密零件面形轮廓的快速高效检测，测量精度可优于50nm（PV）。
一种三轴超精密轮廓检测装置

[发明专利]大行程三平动正交解耦型精密微动平台及其控制方法-CN201110053202.9无效
发明人：李威;叶果;杨雪锋;王禹桥 -专利权人：中国矿业大学
申请日： 2011-03-07 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：一种大行程三平动正交解耦型精密微动平台及其控制方法，属于三平动微动平台及其方控制方法。该精密微动平台系统的激光位移传感器与中央控制单元的输入端相连，激光位移传感器位于精密微动平台外，位移检测挡板安装在精密微动平台上，激光位移传感器与位移检测挡板相对应；中央控制单元的输出端与驱动器电源的输入端相连，驱动器电源的多路输出端与各微位移驱动器相连，微位移驱动器安装在精密微动平台内。精密微动平台采用对称结构，有效避免了运动方向上的耦合和“温漂效应”，且结构简单紧凑、定位精度高、能实现1mm×1mm×50um的工作范围，可广泛用于生物医学工程、光纤对接等需要精细操作和加工的领域。
行程平动正交解耦型精密微动平台及其控制方法

[发明专利]连续调温式高真空低温微纳米压痕测试方法与装置-CN201510012892.1有效
发明人：赵宏伟;徐海龙;李莉佳;付海双;孙玉娇;杜宪成;刘阳;高景;程虹丙;刘航 -专利权人：吉林大学
申请日： 2015-01-12 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： G01N3/54 文献下载
摘要：本发明涉及一种连续调温式高真空低温微纳米压痕测试方法与装置，属于精密科学仪器领域。X向精密调整模块用以调整压入点的位置，通过Z向精密压入驱动模块实现精密压入，通过位移信号和力信号精密检测模块对压入位移信号和力信号进行精密检测；变温载物平台与低温恒温器相连，以实现对样品的接触调温。与定制真空箱集成，可实现真空环境下样品温度在77K~500K连续变化时的微纳米压痕测试，解决了低温微纳米压痕测试中的精确变温、隔热、精密检测等问题，填补了传统微纳米压痕仪在低温环境下的改变环境温度的压痕测试技术的空白结构简单、加工方便、体积小、响应快、定位精确，能够实现精确变温控温、位移载荷信号的精密检测、微观精密压入。
连续调温真空低温纳米压痕测试方法装置

[实用新型]腐蚀及加热环境下的原位纳米压痕测试系统-CN201620177635.3有效
发明人：薛兵;刘昱范;薛靖雯;常广锋;雷川川;田金坤;贾英锋 -专利权人：郑州大学
申请日： 2016-03-09 - 公布日： 2016-08-17 - 主分类号： G01N3/54 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种集宏微驱动、精密加载与位移信号检测为一体的腐蚀及加热环境下的原位纳米压痕测试系统；该系统主要由腐蚀及加热环境装置、x轴方向精密定位平台、y轴方向光学微动平台、z轴方向的精密定位平台和精密压入驱动单元、载荷信号和位移信号的检测单元组成；腐蚀及加热环境装置安装在载物台上，载物台通过y轴方向的精密定位平台装配在底座上，x、y轴方向精密定位平台装配在底座上，z轴方向的精密定位平台装配在竖板上，精密压入驱动单元、检测金刚石工具头压入材料压力的精密力学传感器和精密位移传感器装配在z轴方向的精密定位平台上。
腐蚀加热环境原位纳米压痕测试系统

[发明专利]原位压/划痕测试装置-CN201210418066.3无效
发明人：赵宏伟;米杰;黄虎;邵明坤 -专利权人：吉林大学
申请日： 2012-10-26 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： G01N3/40 文献下载
摘要：本发明涉及一种原位压/划痕测试装置，属于机电一体化精密科学仪器领域。包括X、Y方向精密定位平台、Z方向精密线性定位平台、精密压入驱动单元、载荷信号检测和位移信号检测单元，其中，所述X、Y方向精密定位平台通过连接板Ⅱ固定在底座上，载物台通过X、Y向压电叠堆与X、Y方向精密定位平台连接；Z方向精密线性定位平台装配在底座上；精密压入驱动单元的步进电机、导轨分别固定在底座上；载荷信号检测和位移信号检测单元固定在底座上。可以实现特征尺寸毫米级以上三维试件的力学性能测试，位移加载分辨率达到纳米级，加载力分辨率达到微牛级。
原位划痕测试装置

[实用新型]原位压/划痕测试装置-CN201220555878.8有效
发明人：赵宏伟;米杰;黄虎;邵明坤 -专利权人：吉林大学
申请日： 2012-10-26 - 公布日： 2013-04-24 - 主分类号： G01N3/40 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种原位压/划痕测试装置，属于机电一体化精密科学仪器领域。包括X、Y方向精密定位平台、Z方向精密线性定位平台、精密压入驱动单元、载荷信号检测和位移信号检测单元，其中，所述X、Y方向精密定位平台通过连接板Ⅱ固定在底座上，载物台通过X、Y向压电叠堆与X、Y方向精密定位平台连接；Z方向精密线性定位平台装配在底座上；精密压入驱动单元的步进电机、导轨分别固定在底座上；载荷信号检测和位移信号检测单元固定在底座上。可以实现特征尺寸毫米级以上三维试件的力学性能测试，位移加载分辨率达到纳米级，加载力分辨率达到微牛级。
原位划痕测试装置

[实用新型]一种自动检测工件轴径的应用装置-CN202321093414.4有效
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：广州创和智能科技有限公司
申请日： 2023-05-09 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01B21/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动检测工件轴径的应用装置，包括机座、水平滑轨、竖直滑轨、L型检测架和精密滑台气缸，机座的上方固定有安装架，安装架顶部的两侧安装有水平滑轨，L型检测架的水平段竖直安装有水平位移伺服电机，L型检测架外侧面的两侧平行安装有竖直滑轨，竖直滑轨上安装有检测夹爪，检测夹爪的端部安装有精密滑台气缸，精密滑台气缸的输出端安装有检测探针，L型检测架的顶端安装有竖直位移伺服电机，竖直位移伺服电机的输出端安装有调节丝杆本实用新型采用水平位移伺服电机和竖直位移伺服电机对检测探针的水平位置和竖直位置进行调节，并通过滑轨保证位移的平稳性，其结构简单，便于操作。
一种自动检测工件应用装置

[发明专利]超精密跨尺度原位纳米压痕刻划测试系统-CN200910066697.1有效
发明人：赵宏伟;黄虎;邓金强;赵宏健 -专利权人：吉林大学
申请日： 2009-03-27 - 公布日： 2009-09-02 - 主分类号： G01N3/46 文献下载
摘要：本发明涉及一种集驱动、加载、检测、微纳米级力学性能测试、超精密刻划加工和原位观察为一体的超精密跨尺度原位纳米压痕刻划测试系统。该系统主要由沿X、Y轴方向精密定位的载物台、Z轴方向的调整机构和精密压入驱动单元、载荷信号和位移信号的检测单元、用于观测存储测试过程中材料变形、损伤状况的高分辨率数字显微成像系统组成；载物台、Z轴方向的调整机构和精密压入驱动单元均装配在底座上，高分辨率数字显微成像系统装在载物台上，检测金刚石工具头压入材料压力的精密力学传感器和检测X、Y方向载物台精密位移的传感器I装在载物台上，用于检测压入深度Z方向金刚石工具头精密位移的传感器II通过支架I
精密尺度原位纳米压痕刻划测试系统

[实用新型]超精密跨尺度原位纳米压痕刻划测试系统-CN200920093269.3无效
发明人：赵宏伟;黄虎;邓金强;赵宏健 -专利权人：吉林大学
申请日： 2009-03-27 - 公布日： 2010-03-10 - 主分类号： G01N3/46 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种集驱动、加载、检测、微纳米级力学性能测试、超精密刻划加工和原位观察为一体的超精密跨尺度原位纳米压痕刻划测试系统。该系统主要由沿X、Y轴方向精密定位的载物台、Z轴方向的调整机构和精密压入驱动单元、载荷信号和位移信号的检测单元、用于观测存储测试过程中材料变形、损伤状况的高分辨率数字显微成像系统组成；载物台、Z轴方向的调整机构和精密压入驱动单元均装配在底座上，高分辨率数字显微成像系统装在载物台上，检测金刚石工具头压入材料压力的精密力学传感器和检测X、Y方向载物台精密位移的传感器I装在载物台上，用于检测压入深度Z方向金刚石工具头精密位移的传感器II通过支架I
精密尺度原位纳米压痕刻划测试系统

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