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[发明专利]一种低应力类金刚石多层薄膜及其制备方法-CN201810721326.1在审
发明人：许伟;周克崧;林松盛;代明江;石倩;韦春贝 -专利权人：广东省新材料研究所
申请日： 2018-07-03 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： C23C16/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种低应力类金刚石多层薄膜及其制备方法，属于硬质薄膜技术领域。低应力类金刚石多层薄膜包括基体、过渡层以及类金刚石薄膜层组。类金刚石薄膜层组包括多层内应力为压应力的第一类金刚石薄膜层及多层内应力为拉应力的第二类金刚石薄膜层，第一类金刚石薄膜层与第二类金刚石薄膜层依次交替设置，类金刚石薄膜层组中最靠近过渡层以及最远离过渡层的一层均为第一类金刚石薄膜层该低应力类金刚石多层薄膜内应力低、硬度高、膜基结合力高、摩擦学性能优异，可作为表面防护涂层广泛地应用于工模具领域。制备方法包括：于基体的表面沉积过渡层，于过渡层的远离基体的一侧的表面沉积类金刚石薄膜层组。该方简单、工艺可控、成本较低。
类金刚石薄膜层过渡层多层薄膜类金刚石低应力制备表面沉积多层表面防护涂层膜基结合力摩擦学性能交替设置硬质薄膜工模具拉应力压应力可控应用

[发明专利]PVD-CVD联用制备类金刚石膜的方法、类金刚石膜、合金材料及汽车部件-CN202111124614.7有效
发明人：龙丹;林勇刚;王立利 -专利权人：科汇纳米技术（深圳）有限公司
申请日： 2021-09-25 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： C23C28/00 文献下载
摘要：本申请涉及类金刚石层领域，尤其涉及一种PVD‑CVD联用制备类金刚石膜的方法、类金刚石膜、合金材料及汽车部件。PVD‑CVD联用制备类金刚石膜的方法，先在基材表面通过PVD法依次镀制Cr层、CrW层以及WC层；之后在所述WC层上通过CVD法镀制类金刚石层。类金刚石膜，采用上述PVD‑CVD联用制备类金刚石膜的方法制备而得，类金刚石膜包括依次叠合的Cr层、CrW层、WC层以及类金刚石层，Cr层与基材连接。合金材料，其表面镀制有上述类金刚石膜。本申请通过在基材表面依次镀制Cr层、CrW层及WC层而构成了一个性能渐变的过渡层，使从基材到类金刚石层的性能变化更加缓和，从而减少了“蛋壳效应”的产生，有利于类金刚石层更好的发挥作用。
pvd cvd 联用制备金刚石方法合金材料汽车部件

[发明专利]一种硬掩膜叠层结构及半导体器件的形成方法-CN202110440990.0在审
发明人：鞠韶复;刘峻;李喆;田宝毅 -专利权人：长江先进存储产业创新中心有限责任公司
申请日： 2021-04-23 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： H01L21/308 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种硬掩膜叠层结构，用于自对准双重构图工艺，其特征在于，所述硬掩膜叠层结构包括：层叠设置的第一硬掩膜层和核心层；其中，所述第一硬掩膜层包括类金刚石碳层，所述核心层包括旋涂的含碳材料层。
一种硬掩膜叠层结构半导体器件形成方法

[发明专利]静电卡盘组合件及其制备方法-CN202111026047.1在审
发明人：刘研;S·唐奈;J·莱辛斯基;陈俊泓;C·明斯基 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明描述了在处理工件的步骤期间用以支撑所述工件的静电卡盘，所述静电卡盘包含由多个经沉积层制成的凸起，所述层包含类金刚石碳层及含有基于硅的材料的层，例如碳化硅层。
静电卡盘组合及其制备方法

[发明专利]一种金刚石/类金刚石多层复合涂层及其制备方法-CN201510824541.0有效
发明人：唐永炳;蒋春磊;张静 -专利权人：中国科学院深圳先进技术研究院
申请日： 2015-11-24 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明适用于真空镀膜技术领域，提供了一种金刚石/类金刚石多层复合涂层的制备方法，包括以下步骤：提供一基底，对所述基底进行表面预处理后装炉；真空条件下，通入甲烷并进行第一涂层过程，在所述基底表面沉积金刚石涂层；真空条件下，调整加热温度和甲烷浓度进行第二涂层过程，在所述金刚石涂层表面沉积类金刚石涂层；重复所述第一涂层过程和所述第二涂层过程，制备金刚石层和类金刚石交替沉积的多层复合结构，且得到的金刚石/类金刚石多层复合涂层的最外层为类金刚石涂层
类金刚石涂层过程多层复合涂层金刚石制备类金刚石涂层真空条件甲烷基底沉积金刚石涂层金刚石涂层表面多层复合结构真空镀膜技术表面预处理基底表面交替沉积金刚石层最外层装炉沉积加热重复

[发明专利]一种低应力散热层半导体衬底及其制备方法和应用-CN201911397643.3在审
发明人：魏志鹏;郭德双;唐吉龙;王华涛;徐英添;范杰;郝永芹;王新伟;林逢源;王晓华;马晓辉 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： C23C16/505 文献下载
摘要：本发明提供的低应力散热层半导体衬底由上至下依次为半导体衬底层、类金刚石缓冲层和金刚石薄膜层。本发明在半导体衬底层和金刚石薄膜层中间添加类金刚石缓冲层，类金刚石缓冲层和金刚石薄膜层构成低应力散热层，利用类金刚石缓冲层的缓冲作用，解决了半导体衬底和金刚石薄膜层之间由于不匹配的热膨胀系数引起的应力问题，类金刚石缓冲层有效降低了与半导体衬底间的应力；而且金刚石导电性能较差，本发明通过添加具有导电特性的类金刚石缓冲层，有效改善了金刚石导电性差导致的电极制备难度大的问题。
一种应力散热半导体衬底及其制备方法应用

[发明专利]类金刚石薄膜-CN201710582567.8有效
发明人：田梦军 -专利权人：维达力实业（深圳）有限公司
申请日： 2017-07-17 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种类金刚石薄膜。该类金刚石薄膜包括：沉积于基材之上的金属打底层；沉积于所述金属打底层之上的金属碳化物过渡层；沉积于所述金属碳化物过渡层之上的第一类金刚石层，该第一类金刚石层为功能性类金刚石层；沉积于所述第一类金刚石层之上的第二类金刚石层，该第二类金刚石层为颜色控制类金刚石层。该类金刚石薄膜层间结合力强，具有高硬度、高光洁度、低摩擦系数、耐腐蚀等优点，且具有深色色系外观，特别适用于对颜色外观及可靠性能要求都非常苛刻的装饰镀领域。
金刚石薄膜

[发明专利]基于激光辐照的DLC-纳米金刚石复合涂层制备方法-CN202011372926.5有效
发明人：崔雨潇;郭平;马家豪;戚厚军 -专利权人：天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心）
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： C23C16/56 文献下载
摘要：一种基于激光辐照的DLC‑纳米金刚石复合涂层制备方法，包括：对纳米金刚石涂层表面进行预处理；将飞秒激光光束聚焦在预处理后的纳米金刚石涂层表面晶粒顶端，进行飞秒激光刻蚀扫描处理，将纳米金刚石涂层表层纳米金刚石团簇原位诱变为类金刚石；3)对类金刚石‑纳米金刚石复合涂层进行后处理。本发明不仅能够在纳米金刚石涂层表面制备类金刚石薄膜，同时大幅改善类金刚石‑纳米金刚石复合涂层的表面粗糙度，具有显著增益效果。本发明获得的类金刚石‑纳米金刚石复合涂层的表面粗糙度大幅降低，在摩擦过程中可显著降低摩擦副的摩擦系数和对磨面的磨损量。本发明的制备方法工艺简单，成本低廉，非常适合于干摩擦及水润滑工况。
基于激光辐照 dlc 纳米金刚石复合涂层制备方法

[发明专利]将爆轰纳米金刚石和类金刚石碳共沉积到衬底上的方法和包含爆轰纳米金刚石和类金刚石碳的复合膜-CN201780042035.3在审
发明人： J.埃图拉;A.艾耶;J.科斯金恩 -专利权人：阿尔托大学注册基金会
申请日： 2017-05-05 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本申请提供用物理气相沉积(PVD)方法将纳米金刚石和类金刚石碳共沉积到衬底上的方法，该方法包括：提供衬底，提供离子化碳等离子体的来源，提供纳米金刚石的来源，将纳米金刚石和离子化碳等离子体向衬底喷射以将纳米金刚石和类金刚石碳共沉积到衬底上本申请还提供包含纳米金刚石和类金刚石碳的复合膜。
纳米金刚石类金刚石碳衬底共沉积碳等离子体复合膜离子化爆轰物理气相沉积申请喷射

[发明专利]类金刚石薄膜及制备方法-CN202010286376.9有效
发明人：胡琅;徐平;侯立涛;冯杰;胡强;吴猛 -专利权人：季华实验室
申请日： 2020-04-13 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开一种类金刚石薄膜及制备方法，其中，类金刚石薄膜包括基材层、过渡层和类金刚石层，过渡层贴设于基材层的一侧，类金刚石层贴设于过渡层远离基材层的一侧，类金刚石层内掺杂有氮原子，以调节类金刚石薄膜内sp本发明技术方案改变了类金刚石薄膜的表面电阻，使其满足抗静电的应用需求。
金刚石薄膜制备方法

[发明专利]汽车传动部件表面镀制类金刚石涂层的方法及汽车传动部件-CN202111077093.4有效
发明人：龙丹;林勇刚;王立利 -专利权人：科汇纳米技术（深圳）有限公司
申请日： 2021-09-15 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： C23C8/36 文献下载
摘要：本申请涉及类金刚石涂层领域，具体公开了一种汽车传动部件表面镀制类金刚石涂层的方法及汽车传动部件。汽车传动部件表面镀制类金刚石涂层的方法，包括：对汽车传动部件表面进行渗氮处理；在经过渗氮处理的汽车传动部件表面由内而外依次镀制TiN层、Al层以及TiC层，三层构成过渡层；在TiC层上形成类金刚石功能层汽车传动部件，表面具有类金刚石涂层，所述类金刚石涂层采用上述汽车传动部件表面镀制类金刚石涂层的方法镀制。本申请所制得的类金刚石涂层具有较高的涂层结合力；本申请通过TiN‑Al‑TiC过渡层的设置，能够有效提高类金刚石涂层的涂层结合力，有利于类金刚石涂层更有效地发挥作用。
汽车传动部件表面镀制类金刚石涂层方法

[发明专利]一种具有软硬相间类金刚石涂层的活塞环及制备方法-CN201811120153.4在审
发明人：王星;程伟胜;严满生;张凯峰;章昱;金鹏 -专利权人：安庆帝伯格茨活塞环有限公司
申请日： 2018-09-25 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本发明提供一种具有软硬相间类金刚石涂层的活塞环及制备方法，包括活塞环基体，所述活塞环基体外圆面设置有氮化钛层，所述氮化钛层外圆面由内至外设置有一组或多组的类金刚石复合涂层，该类金刚石复合涂层包括由内至外设置的软类金刚石涂层和硬类金刚石涂层，利用氮化钛作为类金刚石复合涂层与活塞环基体之间的过渡结构，可以有效的提高类金刚石复合涂层与活塞环基体的结合强度，并且类金刚石复合涂层采用软硬相间的结构，可以降低类金刚石复合涂层的内应力，进而增加后期的使用寿命，同时具有软硬相间类金刚石涂层的活塞环生产工艺简单，可以根据实际需要进行厚度改变，增加活塞环的实用性。
类金刚石复合涂层类金刚石涂层活塞环活塞环基体氮化钛层外圆面制备金刚石复合涂层过渡结构使用寿命氮化钛生产工艺

[发明专利]一种聚晶金刚石复合片的基底材料及其制备方法、聚晶金刚石复合片-CN201810717712.3有效
发明人：李翠;孔帅斐 -专利权人：河南富莱格超硬材料有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种聚晶金刚石复合片的基底材料及其制备方法、聚晶金刚石复合片，属于聚晶金刚石复合片技术领域。本发明的硬质合金复合材料，包括硬质合金衬底层、用于设置聚晶金刚石层的类金刚石碳膜层、设置于硬质合金衬底层和类金刚石碳膜层之间的过渡层；所述过渡层包括金属层、金属键型硬质材料层中的至少一种。本发明的聚晶金刚石复合片的基底材料，表面为用于设置聚晶金刚石层的类金刚石碳膜层，能够大大增强基底材料与聚晶金刚石层的结合强度，延长聚晶金刚石复合片的使用寿命；在衬底层与类金刚石碳膜层之间设置过渡层以增强类金刚石碳膜层与硬质合金衬底层之间的结合强度
一种金刚石复合基底材料及其制备方法

[发明专利]一种类金刚石涂层活塞环及制备方法-CN201811115488.7有效
发明人：王星;程伟胜;严满生;张凯峰;章昱;金鹏 -专利权人：安庆帝伯格茨活塞环有限公司
申请日： 2018-09-25 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： F02F5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种类金刚石涂层活塞环及制备方法，所述活塞环基体外圆面设置有含氮量递增的氮化钛过渡层，所述氮化钛过渡层上由内至外设置有一组或多组的类金刚石复合涂层，所述类金刚石复合涂层包括由内至外设置的软类金刚石涂层和硬类金刚石涂层，利用递增氮含量的氮化钛作为类金刚石复合涂层与活塞环基体之间的过渡结构，同时类金刚石复合涂层采用软硬相间的结构，可以降低类金刚石复合涂层的内应力，进而增加后期的使用寿命，同时具有软硬相间类金刚石涂层的活塞环生产工艺简单
种类金刚石涂层活塞环制备方法

[发明专利]一种在物件基底上沉积抗腐蚀类金刚石薄膜的方法-CN201110308211.8有效
发明人：李钱陶;杨长城;熊长新;张炜;李季 -专利权人：湖北久之洋红外系统有限公司
申请日： 2011-10-12 - 公布日： 2012-02-22 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及一种在物件基底上沉积抗腐蚀类金刚石薄膜的方法，属于涂层技术领域，适用于硅、锗半导体材料以及钢及其合金、铝及其合金金属材料表面类金刚石膜的化学气相法镀制，产品特别适合在盐雾、海水、酸、碱、盐等腐蚀环境下使用本发明方法包括下述步骤：（1）基底清洗；（2）惰性气体离子轰击；（3）类金刚石薄膜沉积；类金刚石薄膜沉积分为A型类金刚石膜层沉积和B型类金刚石膜沉积；在沉积过程中A型类金刚石膜和B型类金刚石膜交替沉积生长本发明的优点是：方法简单，易于操作和实现，类金刚石薄膜具备优异的抗盐雾、海水、酸、碱、盐等介质腐蚀能力，且无需使用剧毒气体或原料，因此，安全环保。
一种物件基底沉积腐蚀金刚石薄膜方法