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[发明专利]一种等离子体抛光工件的方法及装置-CN202211079241.0在审
发明人：田灿鑫;吐沙姑·阿不都吾甫;付德春 -专利权人：珠海鑫泽瑞科技有限公司
申请日： 2022-09-05 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及等离子抛光的技术领域，更具体地，涉及一种等离子体抛光工件的方法及装置，等离子体抛光工件的方法包括如下步骤：将待抛光工件置入抛光真空室内的工件架上，并将抛光真空室抽真空；向真空室内通入惰性气体至真空室内气压达到设定值；对待抛光工件进行等离子体加热；完成等离子体加热后，向真空室内通入含氟气体至真空室内气压达到设定值；打开离子源，对栅网通电，使待抛光工件浸没在等离子体中进行抛光；关闭离子源，同时栅网断电，即完成对工件的抛光；通过离子源、高频电场、电磁场和栅网的有效配合，实现等离子体的有效控制，实现浸没式抛光；本发明可以实现等离子体对工件保形，实现对复杂形状表面、平整表面的抛光。
一种等离子体抛光工件方法装置

[发明专利]常压等离子喷射辅助气压砂轮随形抛光装置及方法-CN201810280992.6有效
发明人：赵军;何瑛俏;计时鸣 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2018-04-02 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：一种常压等离子喷射辅助变刚度气压砂轮随形抛光装置，包括等离子体发生装置、等离子喷射装置、变刚度气压砂轮随形抛光装置、CCD检测装置和多自由度机器人控制装置，所述等离子体发生装置与所述等离子喷射装置，所述等离子喷射装置的等离子喷射头位于工作台的抛光工位的上方；所述变刚度气压砂轮随形抛光装置安装在多自由度机器人控制装置的动作端，所述变刚度气压砂轮随形抛光装置的抛光头位于工作台的抛光工位上，所述CCD检测装置的视角范围覆盖所述工作台的抛光工位。以及提供一种常压等离子喷射辅助变刚度气压砂轮随形抛光方法。本发明实现大气压条件下脆硬材料表面的超精密抛光加工，并且做到加工效率高，加工效果好。
常压等离子喷射辅助气压砂轮抛光装置方法

[发明专利]一种铝材的液相等离子抛光液及抛光工艺-CN201110320156.4无效
发明人：徐鹤霖;张延武;仓黎黎;华丽芳;何乐;范平;李晨 -专利权人：无锡源清高新技术研究所有限公司
申请日： 2011-10-20 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种铝材的液相等离子抛光液及其抛光工艺，所述抛光液包括如下组份：重量百分含量为3%~4%的三氯化铁，重量百分含量为1%~2%的氯化铵，其余为纯水。抛光工艺如下：将待抛光铝材装在挂具上后在纯水中浸泡、冲淋；将液相等离子抛光液倒入抛光槽内，将液相等离子抛光液加热至70~90℃，挂具上的待抛光铝材浸在液相等离子抛光液中，将液相等离子抛光机的正极接待抛光铝材，液相等离子抛光机的负极并联接若干块阴极板，输出抛光电源控制在270~330V；抛光后取出铝材浸泡、冲淋；将铝材进行干燥。本发明的液相等离子抛光液对操作人员无任何伤害；本发明的抛光工艺具有抛光时间短、效率高、对铝材的光泽度提高幅度大等优点。
一种相等离子抛光工艺

[发明专利]一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工方法-CN201510389611.4有效
发明人：王波;苏星;张鹏;辛强;王骏 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-07-06 - 公布日： 2015-09-30 - 主分类号： G02B1/10 文献下载
摘要：一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工方法，它属于精密光学零件加工的技术领域。它的步骤一：启动加工电感耦合等离子体炬和火抛光电感耦合等离子体炬；步骤二：使火抛光电感耦合等离子体炬的火抛光电感耦合等离子体炬作用区位于加工电感耦合等离子体炬的加工电感耦合等离子体炬作用区运动方向前侧；步骤三：被加工件的上表面被加工件吸热，微裂纹发生融化修复作用；然后加工电感耦合等离子体炬对火抛光电感耦合等离子体炬作用区进行去除加工。本发明在对光学镜片加工时，使用火抛光电感耦合等离子体炬预处理，不会产生波纹度误差条件下部分修复微裂纹，进而使用大气等离子体加工，避免了等离子体加工损伤打开的效果，实现了高质量的光学加工。
一种抛光辅助电感耦合等离子体加工方法

[发明专利]一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工装置-CN201510389614.8有效
发明人：王波;苏星;张鹏;李娜;王骏 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-07-06 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工装置，本发明属于精密光学零件加工的技术领域。它的加工电感耦合等离子体炬和火抛光电感耦合等离子体炬都安装在双炬连接组件上；加工电感耦合等离子体炬通入的工作气体为含氟气体，具有去除效果；火抛光电感耦合等离子体炬通入的气体为不含氟气体，无去除效果；使火抛光电感耦合等离子体炬的火抛光电感耦合等离子体炬作用区位于加工电感耦合等离子体炬的加工电感耦合等离子体炬作用区运动方向前侧本发明在对光学镜片加工时，使用火抛光电感耦合等离子体炬预处理，不会产生波纹度误差，部分修复微裂纹，进而使用大气等离子体加工，避免了等离子体加工损伤打开的效果，实现了高质量的光学加工。
一种抛光辅助电感耦合等离子体加工装置

[实用新型]抛光系统-CN201721632419.4有效
发明人：樊成;张雷;赵启智 -专利权人：苏州大学
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2018-06-15 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种抛光系统，包括并列设置的等离子枪和气囊抛光工具，等离子枪安装于等离子枪安装板上，等离子枪安装板和气囊抛光工具之间设置有升降气缸，该升降气缸固定于气囊抛光工具上、且与等离子枪安装板之间可相对移动本实用新型提供的结合等离子表面改性和气囊抛光的抛光工具及方法，能够有效降低碳化硅硬脆材料表面硬度，降低抛光碳化硅硬脆材料的难度，对平面和自由曲面有良好的贴合度，满足不同条件下的抛光需求，能够达到普通抛光无法达到的表面粗糙度
等离子枪气囊抛光工具安装板抛光抛光系统升降气缸硬脆材料碳化硅等离子表面改性本实用新型表面粗糙度表面硬度并列设置不同条件抛光工具气密性好气囊抛光相对移动自由曲面贴合度申请

[发明专利]高尔夫球头的抛光工艺-CN201911281778.3在审
发明人：陈长春 -专利权人：中山市奥博精密科技有限公司
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高尔夫球头的抛光工艺，S100、球头前处理和抛光盐溶液处理：对球头进行抛光前粗抛，并固定于夹具上；启动等离子抛光机，将水倒入等离子抛光机的抛光槽中，并设定水加热温度至90～100℃；将等离子抛光盐导入等离子抛光机的抛光槽中，开启自动搅拌至均匀，并设定电压值350～500V；S200、对球头进行抛光处理：将固定有球头的夹具置于等离子抛光机上，且球头浸没于抛光槽的抛光盐溶液中进行抛光处理，并设定抛光时间；S300、对抛光后的球头进行水洗加工工艺能够有效解决球头的凹槽、线沟以及管孔等手动无法完成的抛光处理，运用等离子抛光技术，相比手工加工方法，效率得到了提高，且成本较低。
高尔夫球抛光工艺

[发明专利]抛光方法和系统-CN201711232004.2在审
发明人：樊成;张雷;赵启智 -专利权人：苏州大学
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2018-05-08 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种抛光方法和系统，该抛光方法是先在材料表面形成一层比材料本身硬度低的氧化层，然后采用磨粒进行抛光。该抛光系统包括并列设置的等离子枪和气囊抛光工具，等离子枪安装于等离子枪安装板上，等离子枪安装板和气囊抛光工具之间设置有升降气缸，该升降气缸固定于气囊抛光工具上、且与等离子枪安装板之间可相对移动。本发明提供的结合等离子表面改性和气囊抛光的抛光工具及方法，能够有效降低碳化硅硬脆材料表面硬度，降低抛光碳化硅硬脆材料的难度，对平面和自由曲面有良好的贴合度，满足不同条件下的抛光需求，能够达到普通抛光无法达到的表面粗糙度
抛光方法系统

[发明专利]一种安全高效的铌及射频超导腔的等离子电解抛光方法-CN202310261590.2在审
发明人：初青伟;彭振军;谭腾;何源;杨自钦;郭浩 -专利权人：中国科学院近代物理研究所;中国科学院兰州化学物理研究所
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C25F3/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种安全高效的铌及射频超导腔的等离子电解抛光方法。所述等离子电解抛光方法包括如下步骤：S1、将铌或射频超导腔进行前处理；S2、配制等离子电解抛光液；等离子电解抛光液由基础电解质和功能电解质组成；S3、将铌或射频超导腔浸泡于等离子电解抛光液中，以铌或射频超导腔作为阳极，不锈钢作为阴极，采用高频直流电源对铌或射频超导腔进行等离子电解抛光处理。本发明摒弃使用氢氟酸、硫酸、硝酸等强挥发性及强腐蚀性酸液，同时将抛光速率提升多个数量级，极大减少了抛光时间，提升了抛光效率，具有较高的实用价值。
一种安全高效射频超导等离子电解抛光方法

[发明专利]超声振动与常压等离子喷射辅助变刚度气压砂轮随形抛光装置及方法-CN201810281078.3有效
发明人：赵军;何瑛俏;计时鸣 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2018-04-02 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：一种超声振动与常压等离子喷射辅助变刚度气压砂轮随形抛光装置，包括等离子体发生装置、等离子喷射装置、变刚度气压砂轮随形抛光装置、CCD检测装置、多自由度机器人控制装置和超声振动辅助装置，等离子体发生装置与所述等离子喷射装置，等离子喷射装置的等离子喷射头位于工作台的抛光工位的上方；变刚度气压砂轮随形抛光装置安装在多自由度机器人控制装置的动作端，变刚度气压砂轮随形抛光装置的抛光头位于工作台的抛光工位上，超声振动辅助装置安装在所述变刚度气压砂轮随形抛光装置上，CCD检测装置的视角范围覆盖所述工作台的抛光工位。本发明实现大气压条件下脆硬材料表面的超精密抛光加工，并且做到加工效率高，加工效果好。
超声振动常压等离子喷射辅助刚度气压砂轮抛光装置方法

[发明专利]一种用于去除光学元件表面亚表层损伤的抛光方法-CN202110429742.6在审
发明人：裴宁;王大森;聂凤明;张旭;李晓静;夏超翔;郭海林;刘敏;周静;李维杰 -专利权人：中国兵器科学研究院宁波分院
申请日： 2021-04-21 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于去除光学元件表面亚表层损伤的抛光方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一：对光学元件进行古典抛光；步骤二：对经过古典抛光的光学元件进行真空等离子体抛光。本发明采用古典抛光和等离子抛光的复合抛光技术，能显著消除光学元件的表面与亚表面损伤，该复合抛光技术能够有效克服古典抛光造成光学元件表面和亚表面损伤以及等离子抛光的抛光效率低的问题，即将古典抛光与等离子体抛光结合，可以兼顾抛光效率和对损伤层的去除。
一种用于去除光学元件表面表层损伤抛光方法

[发明专利]一种基于激光与等离子体的复合抛光方法-CN201811504867.5有效
发明人：刘锋;程佳瑞;箭旗琳;潘国顺;张臣 -专利权人：武汉大学
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于激光与等离子体的复合抛光方法，首先将待加工工件固定在抛光系统工作台上，然后通过激光抛光装置使激光光束汇聚至待加工工件表面形成激光束焦斑然后通过等离子体抛光装置产生常压等离子体束冲击待加工工件表面形成等离子体冲击区域；调节激光光束指向与等离子体冲击方向使激光束焦斑与等离子体冲击区域重叠，对待加工工件表面进行复合抛光；通过多轴移动平台，移动激光束焦斑‑等离子体冲击复合区域完成待加工工件整个表面的抛光。本发明利用等离子体在超快激光加工过程中对材料表面的改性和复合刻蚀作用，提高表面加工质量，解决超快激光表面加工质量不高的瓶颈问题，实现材料表面高质量、高效精细抛光。
等离子体冲击待加工工件等离子体复合抛光焦斑表面加工表面形成超快激光激光光束激光束激光常压等离子体等离子体抛光加工工件表面移动激光束多轴移动复合区域激光抛光精细抛光刻蚀作用抛光系统瓶颈问题区域重叠整个表面抛光改性指向复合汇聚

[发明专利]一种用于非晶合金的抛光液以及一种非晶合金的抛光方法-CN201010519625.0有效
发明人：曹朝波 -专利权人：比亚迪股份有限公司
申请日： 2010-10-26 - 公布日： 2012-05-16 - 主分类号： C09G1/18 文献下载
摘要：本发明提供一种用于非晶合金的抛光液以及非晶合金的抛光方法，所述抛光液，包含：钠盐、铵盐以及光亮剂，所述光亮剂为硫酸铈。所述抛光方法包括对非晶合金进行等离子抛光，所述等离子抛光的方法包括：将非晶合金与阳极相连，并浸入容纳有所述的抛光液的电解槽中，以电解槽体为阴极，进行等离子抛光。采用本发明所提供的抛光液，并通过等离子抛光的抛光方法制备得到的非晶合金的表面光滑，表面反射率高。
一种用于合金抛光以及方法

[发明专利]一种基于感应耦合等离子体的晶圆抛光装置-CN202110391890.3在审
发明人：邓辉;任明俊;张鑫泉;张哲 -专利权人：霖鼎光学（上海）有限公司
申请日： 2021-04-13 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于感应耦合等离子体的晶圆抛光装置，包括等离子体炬、电火花点火器、线圈和数控平台，所述等离子体炬包括三个同轴设置的发生管，所述数控平台用于放置待抛光晶圆，并根据所述等离子体炬的温度分布计算所述等离子体炬的去除量分布，通过加工路径优化算法补偿等离子体加工误差得到扫描路径，控制所述待抛光晶圆在所述扫描路径下被形成的所述感应耦合等离子体辐照。本发明能够实现大尺寸单晶氮化镓晶圆的高效高精度抛光。
一种基于感应耦合等离子体抛光装置

[发明专利]一种小工具辅助大气等离子体复合抛光头-CN201910822126.X在审
发明人：郭海林;王大森;聂凤明;裴宁;李晓静;张广平;张旭 -专利权人：中国兵器科学研究院宁波分院
申请日： 2019-09-02 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：一种小工具辅助大气等离子体复合抛光头，包括底座、力矩伺服电机、连接板、等离子体抛光头和小工具抛光头，底座上设有直线导轨，连接板设在力矩伺服电机前端与转子相连接，力矩伺服电机的定子固定在基板上并通过驱动机构沿直线导轨作竖直滑动，等离子体抛光头安装在连接板前端上部，小工具抛光头对应安装在连接板前端下部，等离子体抛光头和小工具抛光头在力矩伺服电机驱动下实现抛光时的摆动和转换。增设小工具抛光头，通过小工具抛光头辅助等离子体抛光有效减轻二次吸附物对光学元件表面影响，提高抛光质量；通过力矩伺服电机实现小工具抛光头与等离子体抛光头转换，工作效率高，精度高；配合其他数控轴运动，可用于大尺寸非球面光学元件加工
小工具抛光力矩伺服电机等离子体抛光连接板抛光直线导轨底座非球面光学元件大气等离子体辅助等离子体光学元件表面工作效率高二次吸附复合抛光驱动机构竖直滑动转子数控轴头转换小工具摆动基板可用增设驱动转换加工配合

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