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[发明专利]一种用于高速流场等离子体参数诊断的平装探针装置-CN201711284865.5在审
发明人：余鹏程;徐亮;张仲凯;刘宇;张逍;曹金祥 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2017-12-07 - 公布日： 2018-03-20 - 主分类号： G01M9/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于高速流场等离子体参数诊断的平装探针装置，该装置包括平装探针，其中，平装探针将探针电极表面与绝缘套表面相齐平。该结构很好的解决了在高速流场等离子体中，传统的静电探针由于电极裸露而在流场中易被损坏，以及传统静电探针伸出飞行物表面而影响飞行安全的问题。由此可见，在高速流场等离子体环境中，平装探针可以代替静电探针更好的诊断等离子体参数信息。本发明采用电极表面和飞行物表面相齐平的结构，成功的解决了传统朗缪尔探针电极裸露易绝缘和损坏的难点。
一种用于高速等离子体参数诊断平装探针装置

[实用新型]一种用于高速流场等离子体参数诊断的平装探针装置-CN201721688777.7有效
发明人：余鹏程;徐亮;张仲凯;刘宇;张逍;曹金祥 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2017-12-07 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： G01M9/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于高速流场等离子体参数诊断的平装探针装置，该装置包括平装探针，其中，平装探针将探针电极表面与绝缘套表面相齐平。该结构很好的解决了在高速流场等离子体中，传统的静电探针由于电极裸露而在流场中易被损坏，以及传统静电探针伸出飞行物表面而影响飞行安全的问题。由此可见，在高速流场等离子体环境中，平装探针可以代替静电探针更好的诊断等离子体参数信息。本实用新型采用电极表面和飞行物表面相齐平的结构，成功的解决了传统朗缪尔探针电极裸露易绝缘和损坏的难点。
高速流场探针等离子体参数飞行物本实用新型静电探针探针电极探针装置诊断齐平等离子体等离子体环境传统静电电极表面电极裸露飞行安全传统的绝缘套流场易被绝缘裸露伸出成功

[发明专利]一种满足千秒等离子体运行的粒子再循环控制系统及方法-CN202310451680.8在审
发明人：胡建生;左桂忠;余耀伟;徐伟;黄明;曹斌;龚先祖;宋云涛 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G21B1/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种满足千秒等离子体运行的粒子再循环控制系统及方法，包括热氮气高温烘烤系统、低温等离子体放电清洗系统、面向聚变装置等离子体的器壁表面温度监测及反馈控制系统、等离子体放电前的镀膜壁系统及实时表面涂层系统本发明采用几种燃料粒子再循环控制方法的协同作用，降低千秒量级等离子体放电中燃料粒子从器壁的释放，进而减少燃料粒子返流进入等离子体，降低燃料粒子再循环，有助于千秒等离子体放电密度的稳定控制。
一种满足等离子体运行粒子再循环控制系统方法

[实用新型]磁化等离子体聚变点火装置-CN201720571153.0有效
发明人：贾月松 -专利权人：中国工程物理研究院流体物理研究所
申请日： 2017-05-22 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： G21B1/15 文献下载
摘要：本实用新型提供一种磁化等离子体聚变点火装置，具备产生反场构形等离子体的形成系统，对所述反场构形等离子体进行加速的多级加速系统，以及使所述反场构形等离子体达到局部聚变点火条件的压缩喷射系统。根据本实用新型所产生的等离子体具有强磁化特征，增加能量沉积减少粒子损失，同时其特殊的磁场结构有助于等离子体自身的约束及稳定，更满足聚变等离子体点火要求。
磁化等离子体聚变点火装置

[发明专利]等离子体非均匀性检测-CN202180008893.2在审
发明人： S·E·萨瓦斯;A·德尚布里耶 -专利权人：科米特技术美国股份有限公司
申请日： 2021-01-09 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种检测射频等离子体处理系统中的等离子体的非均匀性的方法，该方法包括：在所述射频等离子体处理系统的反应室内生成等离子体；以及用关于所述射频等离子体处理系统的室对称轴以方位角部署的多个传感器，检测来自等离子体的在从维持等离子体的射频功率的频率到大约十倍频率的倍数的频率范围内的电信号该方法还包括将由所述多个传感器从等离子体拾取的电信号的波形进行比较；以及基于比较由所述多个传感器中的每一个检测到的等离子体的电性质来确定何时发生等离子体非均匀性。
等离子体均匀检测

[实用新型]一种用于激光诱导等离子体的空间元素成像装置-CN202020259536.6有效
发明人：杨新艳;崔执凤;姚关心;黄静春 -专利权人：安徽师范大学
申请日： 2020-03-05 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： G01N21/71 文献下载
摘要：本实用新型揭示了一种用于激光诱导等离子体的空间元素成像装置，所述装置包括等离子体、准直镜、色散器件、成像透镜组、光电成像探测器，其特征在于：所述等离子由高功率密度的激光作用在待测样品表面并诱导剥离物产生的；所述准直镜用于将等离子体发射光转化为平行光，并传输至色散器件；所述色散器件用于将等离子体发射的复色光转化为多条单色光即多条分析线；所述成像透镜组用于将单色光耦合进光电成像探测器中；所述光电成像探测器用于将等离子体发射的某条单色光成像至显示设备上本实用新型获得的成像信息更全面，成像速度更快，适用于固体、液体、气体等领域等离子体诊断。
一种用于激光诱导等离子体空间元素成像装置

[发明专利]用于生成等离子体和维持等离子体磁场的系统和方法-CN201880089791.6有效
发明人：米歇尔·乔治斯·拉伯格;凯丽·伯纳德·艾普;布雷克·肯顿·拉布莱;梅瑞特·维恩·雷诺兹;亚历山大·道格拉斯·莫斯曼;斯蒂芬·詹姆斯·霍华德 -专利权人：通用融合公司
申请日： 2018-02-28 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：一种用于生成磁化等离子体并维持等离子体磁场的系统，包括：等离子体生成器，用于生成磁化等离子体；和通量保器，所生成的磁化等离子体注射到其中并约束在其中。上中心导体和外电极形成环形等离子体传播通道。下中心导体延伸到等离子体生成器之外并进入通量保器，使得内电极的一端电连接到通量保器壁。功率系统将形成电流脉冲和维持电流脉冲提供到中心导体以形成磁化等离子体，将这种等离子体注射到通量保器中，并维持等离子体磁场。
用于生成等离子体维持磁场系统方法

[发明专利]用于包括等离子体源的仪器的热管理-CN202180015127.9在审
发明人： T·S·曾;C·H·C·王;A·伊卡斯安诺;B·钱 -专利权人：珀金埃尔默健康科学加拿大股份有限公司
申请日： 2021-02-18 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：公开了用于包括等离子体源、诸如感应耦合等离子体源的分析系统的热管理配置。分析系统可以包括：等离子体源，该等离子体源被配置为接收和电离样品以产生电离样品；以及仪器，诸如质谱仪或光学发射光谱仪，被配置为接收和分析电离样品。热屏蔽可以位于等离子体源和仪器之间，以及热屏蔽可以被构造和布置为引导来自等离子体源的加热气体和/或等离子体远离仪器。在一些情况下，可以从包含等离子体源的腔室中提取加热气体和/或等离子体。
用于包括等离子体仪器管理

[实用新型]一种安全防爆的等离子体协同多技术烟气净化设备-CN202121998471.8有效
发明人：钱黎明;陆晓飞;吴成旺;陈燕明;荣新战 -专利权人：中科新天地(合肥)环保科技有限公司
申请日： 2021-08-23 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： B01D53/75 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种安全防爆的等离子体协同多技术烟气净化设备，包括箱体、等离子体发生装置和协同净化装置；箱体的两个相对端分别设有进气口和出气口，箱体内部由进气口至出气口方向依次设有等离子体净化腔室和协同净化腔室；等离子体发生装置包括柜体、等离子体放电模块、等离子体放电电源和等离子体注入系统，柜体位于箱体外部，柜体包括第一腔室和第二腔室，第一腔室与第二腔室相互隔离，等离子体放电模块安装在第一腔室内，等离子体放电电源安装在第二腔室内，等离子体放电模块与等离子体放电电源电性连接，第一腔室通过等离子体注入系统与等离子体净化腔室连通。
一种安全防爆等离子体协同技术烟气净化设备

[发明专利]等离子体辅助薄膜沉积系统与方法-CN200710181613.X有效
发明人：杜陈忠;黄振荣;梁沐旺;张志振;李升亮;吴庆辉;罗展兴 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2007-10-19 - 公布日： 2009-04-22 - 主分类号： C23C16/515 文献下载
摘要：一种等离子体辅助薄膜沉积系统与方法，该系统主要由一等离子体薄膜沉积装置以及一等离子体工艺监控装置构成，该等离子体薄膜沉积装置可供输入脉冲电源与工艺反应气体，由脉冲电源与工艺反应气体作用产生等离子体放电解离工艺反应气体成活性物种，以进行薄膜沉积工艺；该等离子体工艺监控装置包括一等离子体成分光学放射光谱仪以及一脉冲等离子体调变程序装置，由该等离子体成分光学放射光谱仪侦测等离子体成分中活性物种的光谱强度值，再经由脉冲等离子体调变程序装置计算活性物种间的光谱强度比值，据以调变适当的脉冲电源等离子体作用时间及功率，可在微晶硅沉积的范围内获得高沉积速率，并实时掌控最佳薄膜沉积质量。
等离子体辅助薄膜沉积系统方法

[发明专利]等离子体生成设备和方法以及具有可调工作周期的RF驱动电路-CN200480023258.8无效
发明人：帕特里克·普莱拜尔 -专利权人：等离子控制系统有限公司
申请日： 2004-06-21 - 公布日： 2006-11-29 - 主分类号： C23C16/00 文献下载
摘要：公开了一电抗电路，该电路作为产生高密度等离子体的方法和系统的一部分，该方法和系统不需要使用动态匹配网络而直接驱动表现出动态阻抗的等离子体。经设计，电抗网络在等离子体电抗是第一等离子体电抗时提供小的总电抗，且在为第二等离子体电抗时表现出不超过具体限值的电抗。第一和第二等离子体电抗覆盖了动态等离子体电抗的预期范围的主要部分。第一和第二等离子体电抗值可以，例如，分别对应于预期的等离子体电抗上限和预期的等离子体电抗下限，或第一等离子体电抗可以对应于预期的等离子体电抗的平均值。
等离子体生成设备方法以及具有可调工作周期 rf 驱动电路

[发明专利]具有多个解耦等离子体源的半导体处理系统-CN201280022675.5有效
发明人：约翰·帕特里克·霍兰;彼得·L·G·温特泽克;哈梅特·辛格;理查德·戈特朔 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2012-05-07 - 公布日： 2016-11-02 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：一种半导体衬底处理系统包括衬底支撑件，该衬底支撑件被限定来支撑暴露于处理区域的衬底。该系统还包括第一等离子体室，该第一等离子体室被限定来产生第一等离子体并将所述第一等离子体的反应性成分供应到所述处理区域。该系统还包括第二等离子体室，该第二等离子体室被限定来产生第二等离子体并将所述第二等离子体的反应性成分供应到所述处理区域。所述第一和第二等离子体室被限定为是独立受控的。
具有多个解耦等离子体半导体处理系统

[发明专利]一种用于等离子体密度诊断的真空紫外单色仪-CN202211667907.4在审
发明人：周艺轩;余羿;许敏;柯锐;龚少博;李继全;聂林;王占辉 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明涉及磁约束聚变实验装置等离子体密度诊断仪器技术领域，具体涉及一种用于等离子体密度诊断的真空紫外单色仪，包括：真空腔、入口狭缝、入口狭缝固定机构、准直镜、准直镜调节机构、光栅、光栅调节机构、聚焦镜、聚焦镜调节机构、探测模块和若干个固定螺栓；本发明可实现常规束发射谱诊断厘米量级空间分辨率的突破，使束发射光谱诊断的空间分辨率达到亚厘米量级；并且在保持微秒量级时间分辨率的同时，获得更高的光通量以及信噪比从而实现等离子体密度涨落的高时空分辨精准测量。
一种用于等离子体密度诊断真空紫外单色仪

[发明专利]一种用于高温等离子体诊断技术的耐高温聚焦透镜天线-CN201910659346.5有效
发明人：李小平;赵成伟;张珈珲;刘彦明;孙超;刘东林 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2019-07-22 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： H01Q1/50 文献下载
摘要：本发明属于等离子体参数诊断及测量技术领域，公开了一种用于高温等离子体诊断技术的耐高温聚焦透镜天线，耐高温聚焦透镜，用于对电磁波的折射及聚焦；喇叭馈源，用于发射或接收电磁波信号；天线支架，用于耐高温聚焦透镜及喇叭馈源的支撑及固定本发明提供了适用于高温等离子体透射诊断、点聚焦透镜天线，解决了传统喇叭天线不能聚焦、无法耐受高温的缺点。聚焦透镜天线的口径为200mm，聚焦位置位于透镜前方350mm。实测聚焦焦斑＜22mm，极大的减小了电磁波对等离子体绕射的影响。透镜采用耐高温石英材料，在温度低于1100℃下长期稳定工作。
一种用于高温等离子体诊断技术耐高温聚焦透镜天线

[实用新型]基于射频放电等离子体的液相等离子体反应装置-CN201922324394.7有效
发明人：马凤鸣;李浦;李淼;杨强;王惠雯;王月华;陈冰瑶 -专利权人：沈阳农业大学
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种等离子体反应装置，尤其涉及一种基于射频放电等离子体的液相等离子体反应装置。由供气系统、第一射频放电等离子体发生系统、第二射频放电等离子体发生系统和搅拌反应罐构成，供气系统通过一号连接管分别与二号连接管和三号连接管连接，二号连接管与第二射频放电等离子体发生系统连接，三号连接管与第一射频放电等离子体发生系统连接，第一射频放电等离子体发生系统出气口与第一搅拌反应罐进气口连接，第二射频放电等离子体发生系统出气口与第二搅拌反应罐进气口连接，第一搅拌反应罐进气口和第二搅拌反应罐进气口设在搅拌反应罐罐壁的下部。
基于射频放电等离子体相等离子反应装置