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[发明专利]一种发射光谱诊断低气压等离子体炬空间分布特性的方法-CN201110056706.6有效
发明人：丁洪斌;李聪;吴兴伟;王宏北;张辰飞 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2011-03-10 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： H01J47/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种发射光谱诊断低气压等离子体炬空间分布特性的方法。该方法通过计算机控制精密二维电动平台控制测量点移动；对等离子体炬尤其是低气压等离子体炬进行空间分布特性的诊断，通过分析所得的全光谱，可获得等离子体炬发光强度、电子温度、电子密度、分子转动温度、分子振动温度的空间二维分布
一种发射光谱诊断气压等离子体空间分布特性方法

[发明专利]一种等离子体光谱识别方法、装置、电子设备及存储介质-CN202210286576.3在审
发明人：黄峰;史冠男;李宝霞;郭俊伟;唐小江 -专利权人：中国农业大学
申请日： 2022-03-22 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G06V10/764 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体光谱识别方法、装置、电子设备及存储介质，包括：将待识别等离子体光谱信息输入到训练好的LGBM光谱识别模型，得到所述待识别等离子体光谱信息对应的目标分类光谱参数，以根据所述目标分类光谱参数，对所述待识别等离子体光谱信息进行光谱波长特征分析；其中，所述训练好的LGBM光谱识别模型是根据携带有真实光谱参数标签的等离子体光谱信息样本进行训练得到的。本发明的方法，通过采用机器学习LGBM算法自动学习等离子体光谱波长特征之间隐含的物理信息，实现对等离子体光谱的精准识别与分类，操作方便，可以极大地降低等离子体光谱诊断的技术成本。
一种等离子体光谱识别方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种用于纳秒和皮秒激光束联合打靶的时序诊断系统-CN201710247059.4有效
发明人：张锋;单连强;李晋;卢峰 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2017-04-17 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G01T1/29 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于纳秒和皮秒激光束联合打靶的时序诊断系统，用于激光等离子体实验中同时采用纳秒激光束和皮秒激光束进行联合打靶的时序精密诊断。所述的时序诊断系统包括沿水平方向顺序排列的成像狭缝板、硬X射线屏蔽体、光阴极狭缝板、光阴极和条纹相机。原来光源位置重合的两种X射线在条纹相机记录的图像上可以从空间上分开，进而实现对纳秒激光束和皮秒激光束之间时序关系的诊断。本发明的时序诊断系统具有十皮秒级时间分辨，并兼顾一定的软X射线空间分辨，应用前景广阔。
一种用于激光束联合打靶时序诊断系统

[实用新型]一种用于纳秒和皮秒激光束联合打靶的时序诊断系统-CN201720395276.3有效
发明人：张锋;单连强;李晋;卢峰 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2017-04-17 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： G01T1/29 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于纳秒和皮秒激光束联合打靶的时序诊断系统，用于激光等离子体实验中同时采用纳秒激光束和皮秒激光束进行联合打靶的时序精密诊断。所述的时序诊断系统包括沿水平方向顺序排列的成像狭缝板、硬X射线屏蔽体、光阴极狭缝板、光阴极和条纹相机。原来光源位置重合的两种X射线在条纹相机记录的图像上可以从空间上分开，进而实现对纳秒激光束和皮秒激光束之间时序关系的诊断。本实用新型的时序诊断系统具有十皮秒级时间分辨，并兼顾一定的软X射线空间分辨，应用前景广阔。
一种用于激光束联合打靶时序诊断系统

[发明专利]一种等离子体电流计算方法及装置-CN202110286660.0有效
发明人：刘自结;罗正平;李建刚;肖炳甲 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2021-03-17 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体电流计算方法及装置，可以获得等离子体电流的外部诊断数据，将外部诊断数据输入至预先设置的目标电流计算模型中，获得目标电流计算模型输出的目标电流值，其中，目标电流计算模型为根据目标先验概率模型获得，目标先验概率模型为根据参考炮电流构建，将目标电流值确定为等离子体电流。本发明引入参考炮电流所构建的目标先验概率模型，考虑了放电目标数据相近的目标历史放电运行实验的反演结果，利用了目标历史放电运行实验的经验数据来优化先验概率模型的模型结构，可以优化后验概率模型的模型结构，提高后验概率模型对等离子体电流的计算精度，降低利用外部诊断数据进行等离子体电流反演的误差，提高反演精度。
一种等离子体电流计算方法装置

[实用新型]一种等离子体状态及其寿命的诊断装置-CN201721481126.0有效
发明人：尉鹏飞;沈诗婕;寿建慧;余佳英;胡菁怡;叶雯菲;段延敏;朱海永 -专利权人：绍兴文理学院
申请日： 2017-11-08 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： G01T1/36 文献下载
摘要：一种等离子体状态及其寿命的诊断装置，属于等离子诊断和研究领域。真空腔的左端设有入射窗，真空腔的右端设有X射线专用CCD探头，X射线专用CCD探头通过CCD数据线与电脑相连接，入射窗和X射线专用CCD探头之间在真空腔内依次靶室、过滤膜和X射线光谱仪，靶室内部装有待测等离子体本实用新型利用高次谐波的辐射强度对物质电离能及其等离子体状态的依赖性，通过针对待测的等离子体种类设计出特定的高次谐波驱动功率密度，从而有效诊断出等离子体状态及其寿命等信息。
等离子体状态真空腔等离子体本实用新型高次谐波诊断装置入射窗数据线延时器电动平移台电机控制线飞秒激光器激光脉冲聚焦透镜驱动功率有效诊断等离子电离能过滤膜控制线室内部靶室左端电脑装载诊断辐射研究

[发明专利]一种高功率脉冲放电等离子体特征光谱比对识别方法-CN202210532659.6在审
发明人：姚伟博;杨海亮;魏浩;王志国;李沫;张鹏飞;吴撼宇;来定国 -专利权人：西北核技术研究所
申请日： 2022-05-16 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G01R31/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种高功率脉冲放电等离子体特征光谱的识别方法，具体涉及一种高功率脉冲放电等离子体特征光谱比对识别方法,解决现有高功率脉冲放电等离子体在光谱诊断分析研究中，难以快速并准确获取特征谱线参数的技术问题本发明提供的一种高功率脉冲放电等离子体特征光谱比对识别方法，通过数值模拟特征光谱对比实验获取的特征光谱，有效提高了谱线参数比对和识别的准确性，尤其是特征谱线对应的电离态信息。对以通过光谱诊断方法开展高功率脉冲放电等离子体参数分析和研究具有重要意义。
一种功率脉冲放电等离子体特征光谱识别方法

[发明专利]一种用于等离子体密度测量的莱曼束发射谱诊断装置-CN202211666857.8在审
发明人：周艺轩;余羿;柯锐;许敏;李继全;聂林;王占辉 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G21B1/23 文献下载
摘要：本发明涉及磁约束聚变实验装置等离子体密度测量技术领域，具体涉及一种用于等离子体密度测量的莱曼束发射谱诊断装置，包括：收光系统、分光系统、探测系统和采集控制系统；收光系统的一端与分光系统的一端密封连接，分光系统的另一端与探测系统的一端密封连接，探测系统的另一端连接至采集控制系统；收光系统的另一端设置在磁约束聚变实验装置真空室内部。本发明突破传统束发射谱诊断因测量原理导致的厘米级空间分辨率限制，实现对等离子体密度及其扰动的更高精度测量。
一种用于等离子体密度测量束发诊断装置

[发明专利]一种液相等离子体杀菌系统及其控制方法、装置、洗碗机-CN202211453741.6在审
发明人：胡逢亮;张秋俊;谢冬敏;巨姗;胡紫嫣;李春莹 -专利权人：珠海格力电器股份有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： A47L15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种液相等离子体杀菌系统及其控制方法、装置、洗碗机。液相等离子体杀菌系统包括等离子体发生装置及循环气泵，等离子体发生装置产生等离子体溶液，循环气泵与等离子体发生装置连通，循环气泵适于加速等离子体发生装置内的等离子体溶入液体中的速度，以提升等离子体溶液的浓度，液相等离子体杀菌系统的控制方法包括：控制等离子体发生装置及循环气泵开启，以制备等离子体溶液；获取等离子体溶液的当前PH值；基于当前PH值与预设PH值的关系，对循环气泵的转速进行调整。实现了根据等离子体溶液当前的浓度来调节等离子体溶于液体的速度，可以维持等离子体溶液浓度的恒定，从而保证杀菌性能的稳定性，保证杀菌效果。
一种相等离子杀菌系统及其控制方法装置洗碗机

[发明专利]一种等离子体内电子温度测量装置-CN200510126389.5有效
发明人：陈卓 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2005-12-08 - 公布日： 2006-10-25 - 主分类号： G01J5/46 文献下载
摘要：本发明提出一种等离子体内电子温度测量装置，其中包括光谱仪和通用计算机，其中光谱仪获得等离子体的光谱信息并输出到通用计算机；通用计算机接收等离子体的光谱信息，计算等离子体内电子的温度。采用本发明可以实时获得等离子体内电子温度、进行等离子体状态的监控。这种方法节约时间，提高生产效率，而且可以及时的诊断故障的发生。而且采用本发明的装置对等离子体没有干扰，对工艺的效果没有干扰，提高了测量的准确度。
一种等离子体内电子温度测量装置

[发明专利]用于膨胀热等离子体的电感耦合的系统和方法-CN200480015891.2有效
发明人：马克·谢普肯斯 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2004-06-14 - 公布日： 2006-07-12 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种等离子体生成系统(300)，其包括用于生成热等离子体的等离子体生成设备(316)；处于所述等离子体生成设备(316)外的等离子体处理室(318)，其用于接收来自等离子体生成设备(316)的热等离子体，并且，在生成等离子体的过程中，保持等离子体处理室(318)内的压力小于等离子体生成设备(316)中的压力，从而引起热等离子体在等离子体处理室(318)内膨胀；以及用于对所述热等离子体进行电感耦合的电感系统
用于膨胀等离子体电感耦合系统方法

[发明专利]智能化等离子体刷系统及其实现方法、装置、存储介质-CN202210998359.7有效
发明人：常华梅;方志;金珊珊;刘诗筠;赵亚军;时贞平 -专利权人：江苏容正医药科技有限公司
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： A61N1/44 文献下载
摘要：本说明书实施例提供一种智能化等离子体刷系统及其实现方法、装置、存储介质，该系统包括输入装置、电源装置、等离子体生成装置、等离子体刷、移动装置、摄像装置，以及控制器；电源装置用于对智能化等离子体刷系统进行供电；等离子体生成装置用于生成等离子体；等离子体刷用于发射等离子体；移动装置连接等离子体刷，移动装置用于接收等离子体刷的移动指令，并带动等离子体刷移动至目标区域；控制器用于从输入装置获取目标区域，并控制等离子体刷在移动装置的带动下移动至目标区域；从摄像装置获取第一图像，基于第一图像确定等离子体刷的等离子体参数以及治疗时间。
智能化等离子体系统及其实现方法装置存储介质

[发明专利]一种射频放电等离子体诊断装置-CN201110003263.4无效
发明人：陆文琪;王友年;邓新绿;徐军;董闯 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2011-01-08 - 公布日： 2011-10-05 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明涉及到一种射频放电等离子体诊断装置，属于等离子体科学与技术领域，用于诊断射频放电等离子体，能够克服射频放电，特别是两个以上射频同时放电时存在的射频扰动，获得电子密度和电子温度等参数。其特征是由探测器和伺服系统构成，其中，探测器由金属制成的探针、基电极和参考电极组成，基电极为环形，与所在位置放电电场的等势面平行放置，探针位于环形基电极的中心，参考电极可位于等离子体中的任何位置，基电极表面积大于探针表面积的300倍；伺服系统由计算机、数据采集卡、锯齿波发生器和接口电路构成，伺服系统不与放电设备共用电源，不与放电回路共地。
一种射频放电等离子体诊断装置

[发明专利]远程等离子体可流动CVD腔室的方法及设备-CN202210426147.1在审
发明人： Y·马;D·拉杰;M·J·西蒙斯;A·波克雷尔;G·奇可卡诺夫;张轶珍;梁璟梅;J·D·平松二世;D·李;J·C·罗查－阿尔瓦雷斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-02-13 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本文公开的实施例总的来说关于等离子体处理系统。等离子体处理系统包括处理腔室、腔室陈化系统和远程等离子体清洁系统。处理腔室具有界定处理区域和等离子体场的腔室主体。腔室陈化系统耦接到处理腔室。腔室陈化系统经配置而陈化处理区域和等离子体场。远程等离子体清洁系统与处理腔室连通。远程等离子体清洁系统经配置对处理区域和等离子体场进行清洁。
远程等离子体流动 cvd 方法设备

[发明专利]远程等离子体可流动CVD腔室的方法及设备-CN201880009192.9有效
发明人： Y·马;D·拉杰;M·J·西蒙斯;A·波克雷尔;G·奇可卡诺夫;张轶珍;梁璟梅;J·D·平松二世;D·李;J·C·罗查－阿尔瓦雷斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-02-13 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本文公开的实施例总的来说关于等离子体处理系统。等离子体处理系统包括处理腔室、腔室陈化系统和远程等离子体清洁系统。处理腔室具有界定处理区域和等离子体场的腔室主体。腔室陈化系统耦接到处理腔室。腔室陈化系统经配置而陈化处理区域和等离子体场。远程等离子体清洁系统与处理腔室连通。远程等离子体清洁系统经配置对处理区域和等离子体场进行清洁。
远程等离子体流动 cvd 方法设备