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[发明专利]用于电感耦合等离子体源的内部分离法拉第屏蔽-CN201210396411.8有效
发明人： T.米勒;S.张 -专利权人： FEI公司
申请日： 2012-10-18 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： H01J27/02 文献下载
摘要：本发明涉及用于聚焦射束系统的电感耦合等离子体离子源。一种用于聚焦带电粒子束系统的电感耦合等离子体源包括等离子体室内的导电屏蔽以便减少到等离子体的电容耦合。内部导电屏蔽被偏置电极或被等离子体被保持在与等离子体源基本上相同的电位。内部屏蔽允许等离子体室的外部上的更多种冷却方法。
用于电感耦合等离子体内部分离法拉第屏蔽

[发明专利]具有有效的无损害原位灰化的等离子体蚀刻器设计-CN201210194993.1有效
发明人：萧颖;林进祥 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2012-06-13 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：在一些实施例中，本发明涉及一种等离子体蚀刻系统，该等离子体蚀刻系统具有与处理室连通的直流和局部化等离子体源。直流等离子体源用于将直流等离子体提供给处理室以蚀刻半导体工件。直流等离子体具有通过将大的偏压施加给工件形成的高电势。在完成蚀刻以后，关断偏压和直流等离子体源。然后，局部化等离子体源用于将低电势局部化等离子体提供在处理室内的适当位置使得局部化等离子体与工件空间分离。空间分离导致形成与工件接触的具有零电势/低电势的扩散等离子体。零电势/低电势的扩散等离子体使得实施反应灰化，而降低了由于正等离子体电势所引起的离子轰击造成的工件损伤。本发明还公开了具有有效的无损害原位灰化的等离子体蚀刻器设计。
具有有效损害原位灰化等离子体蚀刻设计

[发明专利]一种基于畸形透镜的分幅成像方法及其应用-CN201811514437.1在审
发明人：郭泽;邓云坤;李兴文;赵虎;王科;马仪;彭晶;王达达;张少泉;陈晓云 -专利权人：云南电网有限责任公司电力科学研究院
申请日： 2018-12-12 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： G03B39/00 文献下载
摘要：本申请实施例示出一种分幅成像方法在等离子体光学诊断中的应用。结合光学诊断方法，采用不同的滤光片分别对多个像进行滤光处理，得到目标等离子体不同波长下的光强分布，进而得到等离子体二维温度分布。结合滤光片、高速相机，可实现电弧等离子体温度二维分布的演变过程进行动态测量，这对研究电弧等离子体的演变过程具有重要意义。
透镜成像畸形等离子体电弧等离子体演变过程滤光片凸透镜凸透镜成像原理等离子体光学动态测量二维分布高速相机光强分布光学诊断连续调节温度分布重要意义波长多块二维滤光申请应用切割诊断研究

[发明专利]等离子体中活性氮氧化物种时空分布的检测系统-CN202310001378.2在审
发明人：刘晨;丁洪斌;冯春雷;吴鼎 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2023-01-03 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01N21/31 文献下载
摘要：本发明涉及低温等离子体诊断技术领域，提供一种等离子体中活性氮氧化物种时空分布的检测系统，包括：宽带连续光源用于提供初始探测光束；光束整形切片系统用于将初始光束转换为片状平行探测光束；高精度时序可控电源用于提供高压激励源本发明能够方便有效地诊断等离子体中产生的活性氮氧化物种的时空演化行为。
等离子体活性氧化物种时空分布检测系统

[实用新型]等离子体足部理疗机-CN201720877911.1有效
发明人：王雨蓬;李毅;李双豆;杨锡信;赵龙;周磊;赵国柱 -专利权人：烟台海灵健康科技有限公司
申请日： 2017-07-19 - 公布日： 2018-12-25 - 主分类号： A61N1/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子体足部理疗机，包括等离子体发生器升降装置(1)、等离子体发生器(2)、等离子体足部理疗箱(3)、抽气系统(4)、触摸控制系统(5)、气源(6)和电源(7)，所述等离子体发生器升降装置(1)设置在等离子体发生器(2)下部并连接控制等离子体发生器(2)上升下降，等离子体发生器(2)设置在等离子体足部理疗箱(3)下方并与等离子体足部理疗箱(3)相连。本实用新型的等离子体足部理疗机产生的等离子体，具有杀菌消毒作用，对于大多数的皮肤疾病具有显著治疗效果，同时等离子体能大幅提高人体免疫能力，具有防病保健的效果，并且能够加速脚部血液循环，促进新陈代谢，缓解疲劳
等离子体等离子体发生器足部理疗本实用新型升降装置触摸控制系统脚部血液循环人体免疫能力杀菌消毒作用抽气系统防病保健缓解疲劳连接控制皮肤疾病新陈代谢治疗效果等离子气源电源体能

[发明专利]等离子体系统的腔室-CN201611255444.5在审
发明人：廖崇宪;蔡文包 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2016-12-30 - 公布日： 2017-09-12 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：一种等离子体系统的腔室包括腔室壁，其定义等离子体加工区域；衬底支架，其经配置以支撑等离子体加工区域中的衬底；以及内衬，其位在等离子体加工区域中并且将腔室壁与等离子体加工区域分离。还提供一种用于等离子体系统的内衬以及一种用于将内衬安装到等离子体系统的方法。
等离子体系统

[发明专利]用浸润式低电感RF线圈和多尖端磁铁配置的感应耦合等离子体流体枪-CN201180055640.7有效
发明人：彼得·F·库鲁尼西;维克多·M·本夫尼斯特;奥利佛·V·那莫佛斯奇 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2011-10-07 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：一种离子布植系统中的等离子体流体枪。等离子体流体枪可包括具有一或多个孔的等离子体腔室(118)、能供应至少一种气体物质至等离子体腔室的气体源、设置于等离子体腔室里的单匝线圈(120)、及用来感应耦合射频电功率以激发等离子体腔室中至少一种气体物质以产生等离子体而耦合至线圈的电源等离子体腔室的内表面可以是不含金属的材料，且等离子体不可暴露于等离子体腔室里任何含金属的组件。等离子体腔室可包括多个用来控制等离子体的磁铁(126)。出口孔(124)可提供于等离子体腔室中以使得产出等离子体的负电荷粒子能参与离子束，其中离子束为相关离子布植系统的部份。在一个实施例中，磁铁可被设置在孔的相对侧上，且被用于操纵等离子体的电子。
浸润电感 rf 线圈尖端磁铁配置感应耦合等离子体流体

[发明专利]离子推力器等离子体参数诊断静电探针定位系统及定位方法-CN201611118162.0在审
发明人：吴先明;王尚民;柯于俊;李兴达;贾艳辉;贾连军;孟伟 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2016-12-07 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子推力器等离子体参数诊断静电探针定位系统及定位方法，以解决静电探针无法定位以及在放电室内等离子体环中时间太长会烧毁探针的问题。本定位系统包括金属箱、直线电机、探针安装杆、滚珠丝杠、不锈钢导轨，滚珠丝杠和不锈钢导轨位于金属箱的底部，直线电机安装于金属箱内，探针安装杆与直线电机连接，探针安装杆的末端安装有静电探针。该定位系统可以将探针定位至放电室内的指定位置，可以对静电探针进行全面、精确、快速定位。本发明可以在径向和轴向两个维度对静电探针进行定位，由于放电室呈柱对称分布，因此可以将探针定位至全部感兴趣的诊断位置；同时可以保证探针的安全，避免探针在等离子体环境下被烧毁。
离子推力等离子体参数诊断静电探针定位系统方法

[发明专利]一种激光空泡萌生阶段行为研究装置与方法-CN201710298494.X在审
发明人：张磊;吴冕;周存山;马海乐;任晓锋 -专利权人：江苏大学
申请日： 2017-05-02 - 公布日： 2017-10-20 - 主分类号： G01N21/27 文献下载
摘要：该装置包括激光器系统、等离子体光谱监测系统和等离子体射流压力监测系统，激光器系统发出激光束与液体相互作用，在空泡萌生阶段产生等离子体，利用等离子体光谱监测系统对等离子体光谱进行实时监测，获得等离子体谱线，利用等离子体射流压力监测系统对等离子体射流产生的压力进行实时监测，获得射流力场分布，该发明能实现空泡萌生阶段行为的可视化和数值化，为空泡空化理论的建立提供研究方法和手段。
一种激光空泡萌生阶段行为研究装置方法

[实用新型]等离子体源增强沉积设备-CN03211548.2无效
发明人：李国卿;关秉羽;李剑锋;牟宗信 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2003-02-20 - 公布日： 2004-08-11 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：等离子体源增强沉积设备属于等离子体表面物理气相沉积技术领域。等离子体源增强沉积设备由真空系统、加热系统、偏压电源、供气系统、工件传动系统以及等离子体源与真空弧、磁控溅射组成，由等离子体源提供气体离化的等离子体，在偏压作用下，载能离子清洗、活化和强化材料表面，并与真空弧、磁控溅射产生的金属离子合成薄膜，实现等离子体源强化－镀膜一体化技术。本实用新型设备设计适合工业应用的等离子体源，利于产业化技术。应用于机械，信息，建筑装璜等领域。尤其适用于深层强化和表面处理的工模具。
等离子体增强沉积设备

[发明专利]纤维丝束表面处理系统-CN201710224804.3在审
发明人：赵海波;格伦·L·史密斯;安·玛丽·斯特拉西亚 -专利权人：福特全球技术公司
申请日： 2017-04-07 - 公布日： 2017-10-20 - 主分类号： D06M10/02 文献下载
摘要：公开了一种纤维丝束表面处理系统。还公开了对纤维丝束(如碳纤维丝束)进行等离子体处理的系统和方法。系统可以是纤维丝束处理系统，包括空气等离子体源，被构造为发射等离子体流；支撑表面，与空气等离子体源隔开并被构造为在发射等离子体流时接触等离子体流。第一导向装置和第二导向装置可位于支撑表面的相背端部上并被构造为使运动的纤维丝束在支撑表面和空气等离子体源之间对齐。方法可包括将纤维丝束连续输送通过第一导向装置、越过支撑表面并通过第二导向装置；当纤维丝束越过支撑表面时对其进行空气等离子体处理，使得由等离子体处理引起的纤维丝束挠度受支撑表面限制。公开的系统/方法在等离子体处理期间可减小对纤维丝束的损伤。
纤维丝束表面处理系统

[发明专利]用于使用常压等离子体进行沉积的方法和装置-CN201280054145.9有效
发明人：马尔维·A·马托斯;利亚姆·S·平格里 -专利权人：波音公司
申请日： 2012-10-01 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：一种装置可包括等离子体沉积单元、移动系统以及网孔系统。等离子体沉积单元可被配置为产生等离子体。移动系统可被配置为移动等离子体沉积单元下方的基板。网孔系统可位于等离子体沉积单元与基板之间，其中，网孔可包括用于沉积到基板上的一些材料，并且其中，穿过网孔的等离子体可以使一些材料中的一部分从网孔被沉积到基板上。
用于使用常压等离子体进行沉积方法装置

[发明专利]一种等离子体原位表征系统-CN201610546449.7在审
发明人：张婧;石宁;徐伟;孙峰;朱云峰;金满平 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司青岛安全工程研究院
申请日： 2016-07-12 - 公布日： 2016-12-21 - 主分类号： G01N21/73 文献下载
摘要：一种等离子体原位表征系统，包括发射光谱仪、高速图像捕捉系统、数字示波器、红外成像仪与在线质谱仪。光纤探头和第一图像采集器均置于等离子体放电反应器的放电核心区域。数字示波器的电压探头附属高压极与等离子体放电反应器的高压极相连，电压探头附属接地极与地线相连，电流探头与等离子体放电反应器相连；红外成像仪的第二图像采集器朝向等离子体放电核心区域；在线质谱仪的进样管与等离子体放电反应区出口相连上述一种等离子体原位表征系统，各部件协同配合，可全方位实时监测等离子体活性物种的种类和数量、等离子体放电状态、电流电压波形、等离子体电子密度、等离子体区温度分布和产物组成等，可对等离子体放电过程进行原位表征
一种等离子体原位表征系统

[发明专利]磁层顶三维非对称磁重联地面模拟真空舱及真空装置-CN202210906935.0在审
发明人：毛傲华;徐风雨;王志斌;鄂鹏;王晓钢;李立毅 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：磁层顶三维非对称磁重联地面模拟真空舱及真空装置，涉及等离子领域。为解决现有技术中存在的，用于磁重联研究的实验装置通常采用简化的具有对称性的磁场位形和等离子体分布，无法真实反映地球磁层顶三维磁重联的非对称结构特征的问题，本发明提供技术方案为：拟磁层顶三维非对称真空舱，包括：舱体、磁体线圈系统和磁体线圈支撑系统；的舱体包括：多个通孔，多个通孔分别用于作为进气孔、抽气孔、等离子体源孔、冷却系统穿舱孔、等离子体参数诊断孔和磁场诊断孔；磁体线圈系统包括地磁场线圈组和磁鞘线圈组
磁层顶三维对称磁重联地面模拟真空装置

[发明专利]涂覆的基板的等离子灰化-CN201980069982.0在审
发明人： R·阿斯金;S·克兰西;J·珍妮克;B·劳伦斯 -专利权人： HZO股份有限公司
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：一种用于对基板上的涂层进行等离子体蚀刻或灰化的系统包括等离子体室、第二电极、耦合至等离子体室的等离子体源、包括涂层的基板以及包括至少一个孔的等离子体掩模。等离子体室包括第一电极。等离子体掩模被配置成用于覆盖基板，同时通过至少一个孔暴露基板和所述涂层的选定表面。第一电极和第二电极被配置成用于在等离子体室内引发并维持等离子体。等离子体源包括气体。
等离子灰化