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[发明专利]一种半导体测试器件及其制备方法-CN202210903571.0在审
发明人：刘张李;陈志伟 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：第一金属布线层，位于所述衬底上，包括绝缘的互连金属线及测试金属线，所述测试金属线围绕所述互连金属线设置；介质层，覆盖所述第一金属布线层及所述衬底，且所述互连金属线与所述测试金属线之间的所述介质层内具有空气隙当所述插塞发生侧壁断裂或凸出时，所述空气隙及所述插塞之间的介质层会因为膜层之间的应力产生裂缝，所述裂缝连通所述插塞及所述空气隙，使所述插塞断路，操作人员可通过测量所述插塞的电阻判断该插塞是否产生缺陷。
一种半导体测试器件及其制备方法

[发明专利]硅通孔互连结构及其制作方法-CN201310253184.8有效
发明人：卜伟海;吴汉明 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2013-06-21 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： H01L23/538 文献下载
摘要：该制作方法包括制作硅通孔和制作绝缘层的步骤，制作绝缘层的步骤包括在衬底上刻蚀形成环状沟槽，环状沟槽的深宽比为51～201；采用等离子体沉积法将介电材料填充到环状沟槽中，形成具有空气隙的密封部，空气隙的体积为环状沟槽总体积的本申请增大了等离子体对环状沟槽内壁的溅射产率，同时降低了对环状沟槽开口处的溅射产率，加快了密封部的形成速度，增大了空气隙的体积，使得硅通孔互连结构绝缘层的介电常数减小10%～60%。
硅通孔互连结构及其制作方法

[发明专利]超宽禁带氮化铝材料外延片及其制备方法-CN201811380251.1有效
发明人：龙瀚凌;王帅;张毅;戴江南;陈长清 -专利权人：华中科技大学鄂州工业技术研究院;华中科技大学
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： H01L33/12 文献下载
摘要：包括从下至上的一次愈合层、二次愈合层，所述一次愈合层包括横向外延空隙及第一愈合区，所述横向外延空隙在所述图形的上方分布有多个，所述第一愈合区分布在相邻的所述横向外延空隙的侧面及上方，所述二次愈合层包括空气隙及第二愈合区，所述空气隙分布于所述第一愈合区的上方，所述第二愈合区分布在所述空气隙的侧面及上方。
超宽禁带氮化材料外延及其制备方法

[发明专利]一种自由光谱区可大范围调节的空气隙法珀标准具-CN201510520544.5有效
发明人：杜丽芳;杨国韬;程学武;王继红;燕春晓;岳川 -专利权人：中国科学院国家空间科学中心;中国科学院武汉物理与数学研究所
申请日： 2015-08-21 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： G02B26/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种自由光谱区可大范围调节的空气隙法珀标准具，所述标准具包括底座、三个基片、至少三个支撑杆、光学镜架、步进螺杆和两个高反射腔镜；其特征在于，所述三个基片依次垂直安装在底座上，并通过多个支撑杆进行固定，使三个基片保持平行；所述一个高反射腔镜安装在光学镜架上，所述光学镜架安装在一个基片上，另一个高反射腔镜安装在与光学镜架相邻的基片上，这两个基片构成空气隙标准具的腔；所述步进螺杆穿过中间位置的基片的底部圆孔本发明的空气隙标准具可以大范围调节腔长，实现不同范围的自由光谱区。
一种自由光谱区可大范围调节空气隙法珀标准

[发明专利]半导体结构的形成方法及半导体结构-CN202110984437.3有效
发明人：李婷;周厚宏 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：基底包括介质层以及间隔设置于介质层中的焊盘；形成介电结构，介电结构暴露出焊盘以及部分介质层；形成绝缘结构，绝缘结构形成于介电结构的侧壁，绝缘结构覆盖介电结构的第一部分侧壁，介电结构的第二部分侧壁与绝缘结构之间形成空气隙在本公开中，半导体结构中相邻的导电结构被介电结构、绝缘结构以及空气隙隔开，空气隙的存在降低导电结构间的寄生电容。
半导体结构形成方法

[发明专利]一维X射线组合透镜-CN200510049839.5无效
发明人：乐孜纯;董文;全必胜;梁静秋;张明 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2005-05-26 - 公布日： 2006-01-11 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：一维X射线组合透镜，包括透镜主体，位于透镜主体下方的衬基，所述透镜主体上开有多个相同形状的呈直线顺序排布的通孔状空气隙单元，所述空气隙单元的截面形状为椭圆形，所述空气隙单元对应的椭圆长轴位于同一直线上。
射线组合透镜

[实用新型]一种肥料生产除尘净化装置-CN201820370266.9有效
发明人：于小伟;朱明强;张永存 -专利权人：河北德沃多肥料有限公司
申请日： 2018-03-19 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： B01D46/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种肥料生产除尘净化装置，包括：导流板，其为长条板状结构，所述导流板内部设置有滤袋，所述滤袋上侧设置有环隙引射器，所述环隙引射器左侧设置有喷管，所述喷管右侧设置有电磁脉冲阀，所述电磁脉冲阀右侧设置有储气罐清洁室，其设置于所述导流板上侧，所述清洁室下侧设置有箱体，所述箱体左侧设置有含尘气入口，所述箱体下侧设置有灰斗，所述灰斗下侧设置有卸灰阀，净化气出口，其设置于所述清洁室右上侧，所述净化气出口下侧设置有空气泵，所述空气泵上侧设置有空气出口；滤袋和导流板的组合使用能够实现对肥料生产的除尘净化，环隙引射器和电磁脉冲阀的组合使用能够防止滤袋积灰。
导流板滤袋电磁脉冲阀环隙引射器肥料生产清洁室除尘净化装置净化气出口喷管灰斗储气罐长条板状结构本实用新型除尘净化空气出口内部设置含尘气空气泵卸灰阀积灰气泵

[实用新型]可旋转的沙幕透镜装置-CN202022370494.6有效
发明人：安林亮 -专利权人：马瑞利汽车零部件（芜湖）有限公司
申请日： 2020-10-22 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： F21S41/25 文献下载
摘要：本实用新型提供一种可旋转的沙幕透镜装置，可用于透射式前照灯的投射透镜使用，包括透镜、沙子、饰圈、旋转装置；所述透镜是组合凸透镜，包括透镜的前表面、透镜的中间面、空气隙、透镜的后表面；所述空气隙介于透镜中表面和所述透镜后表面之间车在行驶过程中饰圈位于下方；当车辆停止发动机关闭时，所述沙幕透镜系统上下旋转180度，所述沙子充满整个空气隙从而形成不透光的白色沙幕。
旋转透镜装置

[实用新型]一种滚轮轴承及打捆机-CN202222162093.0有效
发明人：吕芳英;张可乐;俞明敏;赵思程;李斌 -专利权人：新昌县纽沃传动科技有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： F16C19/16 文献下载
摘要：该滚轮轴承包括外圈、内圈和挡板，挡板和内圈的位置相对固定，外圈能相对于内圈转动，挡板的侧部与外圈的侧部之间设置有节流齿隙密封结构。挡板能减少石块、土块等外物的进入，且节流齿隙密封结构能够在挡板和外圈的侧部周向之间形成多个挡设空腔，外部空气因为通行空间的变化在相邻挡设空腔之间形成气旋，空气动能转化为热能散发，外部空气每经一个挡设空腔后，其动能便会大幅度损失，节流齿隙密封结构能对内圈和外圈之间形成滚动运动过程中的严密密封效果，避免外界水汽的进入。
一种滚轮轴承打捆

[实用新型]一维X射线组合透镜-CN200520102471.X无效
发明人：乐孜纯;董文;全必胜;张明 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2005-05-26 - 公布日： 2006-08-23 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：一维X射线组合透镜，包括透镜主体，位于透镜主体下方的衬基，所述透镜主体上开有多个相同形状的呈直线顺序排布的通孔状空气隙单元，所述空气隙单元的截面形状为椭圆形，所述空气隙单元对应的椭圆长轴位于同一直线上。
射线组合透镜

[发明专利]垂直腔表面发射激光器及其制造方法-CN02810122.7有效
发明人： E·卡彭;V·伊亚科夫勒夫;A·西尔布;A·鲁德拉 -专利权人：洛桑生态综合技术联合公司
申请日： 2002-03-08 - 公布日： 2004-08-25 - 主分类号： H01S5/183 文献下载
摘要：结构表面与DBR叠层的n－半导体层的表面由于它们的变形而相熔合，从而在各熔合表面之间的台面附近产生一个空气隙。活性区被电流孔确定，电流孔包含被空气隙包围的台面，因而可以限制电流流向活性区，而空气隙使得VCSEL中的折射率产生横向变化。
垂直表面发射激光器及其制造方法

[发明专利]用于光学记录的空气隙饲服机构-CN200680046077.6无效
发明人：李周镒 -专利权人：皇家飞利浦电子股份有限公司
申请日： 2006-11-29 - 公布日： 2008-12-17 - 主分类号： G11B7/135 文献下载
摘要：空气隙控制器用于控制透镜和所述表面之间的空气隙(81)，并且具有将透镜从远场中的远距离带到近场距离的接近模式。此外，该控制器提供了用于产生透镜接近所述表面的一系列接近时刻的递增周期性激励信号(83)。当透镜在所述接近时刻之一进入近场范围时，所述空气隙控制器切换到闭环模式。所述周期性激励(83)与记录载体的旋转同步，使得所述接近时刻对应于盘位移(82)的最小值。
用于光学记录空气隙饲服机构

[实用新型]一种太赫兹微流体方形光子晶体光纤-CN202020000679.5有效
发明人：石嘉;田琳琳;徐伟;苏梦雅;董璐;杨帆;吴亚杰 -专利权人：天津工业大学
申请日： 2020-01-02 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： G02B6/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种太赫兹微流体方形光子晶体光纤，由纤芯空气孔、第一气隙层、外围气隙层、出水口及入水口组成，出水口贯穿进外围气隙层上半部分，方向向上，入水口贯穿进外围气隙层下半部分，并将其方向转折为向上，且出入水口底部均与第一气隙层相连通，分布在外围气隙层上下两侧，距光子晶体光纤两端端面2mm，第一气隙层在两端密封，用于注入液体分析物。
一种赫兹流体方形光子晶体光纤

[发明专利]具有能图案化低K材料的含空气隙的互连结构体及其制法-CN200910001432.3有效
发明人：林庆煌 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2009-01-05 - 公布日： 2009-07-15 - 主分类号： H01L23/522 文献下载
摘要：本发明提供一种制造含有空气隙的互连结构体的方法，在所述互连结构体中能图案化的低k材料替代使用单独的光刻胶和电介质材料的需求。具体而言，本发明涉及一种制造单镶嵌和双镶嵌的含有空气隙的低k互连结构体的简化方法，其中所述互连结构体具有至少一种能图案化的低k电介质和至少一种无机抗反射涂层。
具有图案材料空气互连结构及其制法

[发明专利]快闪存储器及其制作方法-CN201610005514.5有效
发明人：仇圣棻;孔繁生 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2016-01-05 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： H01L27/11517 文献下载
摘要：一种快闪存储器及其制作方法，在填充相邻存储晶体管的栅极堆叠结构时，采用填充性能较差的填充工艺，以在各列位线之间的半导体衬底内、字线下的各列浮栅堆叠结构之间分别形成空气隙。该空气隙的介电常数小于二氧化硅介电层的介电常数，因而能降低读、写、擦除过程中产生的寄生电容，避免相邻存储晶体管之间相互干扰。
闪存及其制作方法