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[发明专利]离子注入装置、射束能量测定装置以及射束能量测定方法-CN201510104340.3有效
发明人：佐佐木玄;渡边一浩;狩谷宏行 -专利权人：斯伊恩股份有限公司
申请日： 2015-03-10 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明提供一种离子注入装置、射束能量测定装置以及射束能量测定方法。在离子注入装置中测定离子束的能量。离子注入装置(100)中的射束能量测定装置(200)具备：平行度测定部(202)，在离子注入装置(100)的射束平行化器(36)的下游测定离子束的平行度；及能量运算部(204)，由测定出的平行度运算离子束的能量离子注入装置(100)还可以具备控制部，该控制部根据运算出的离子束的能量控制高能量多段直线加速单元(14)，以使离子束具有目标能量。
离子注入装置能量测定以及方法

[发明专利]等离子显示装置-CN200610162808.5无效
发明人：崔正泌 -专利权人： LG电子株式会社
申请日： 2006-11-23 - 公布日： 2007-05-30 - 主分类号： G09F9/313 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子显示装置。该等离子显示装置包括：等离子显示面板；以及能量回收电路，其利用一个电感器提供能量到等离子显示面板，并利用多个电感器从等离子显示面板回收能量。用于提供能量到等离子显示面板的能量提供路径中的电感小于用于从等离子显示面板回收能量的能量回收路径中的电感。
等离子显示装置

[发明专利]用于控制离子能量分布的方法和设备-CN201080003206.X有效
发明人： R·赫克曼;V·布劳克 -专利权人：先进能源工业公司
申请日： 2010-04-27 - 公布日： 2011-10-12 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：公开了用于调节等离子体室内的离子能量的系统、方法和设备。一种示范性系统包括离子能量控制部分，所述离子能量控制部分响应于至少一个指示轰击衬底的表面的离子的能量的预期分布的离子能量设置来提供至少一个离子能量控制信号。此外，将开关模式电源耦合至所述衬底支撑、离子能量控制部分和控制器。所述开关模式电源包括开关部件，所述开关部件被配置为响应于所述驱动信号和离子能量控制信号向衬底施加功率以实现轰击衬底的表面的离子的能量的预期分布。
用于控制离子能量分布方法设备

[发明专利]离子注入装置-CN201810163692.X有效
发明人：佐佐木玄;藤田胜士 -专利权人：住友重机械离子科技株式会社
申请日： 2018-02-27 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： C23C14/48 文献下载
摘要：本发明提供一种离子注入装置。其课题在于提高离子注入装置中的射束能量测定的校正精度。离子注入装置(100)具备：离子源(10)，能够输出包含具有与引出电压相应的已知的能量的多价离子的校正用离子束；上游射束线(102)，包括质谱分析磁铁(22a)和高能量多级直线加速单元(14)；能量分析磁铁(24)；射束能量测定装置(200)，在能量分析磁铁(24)的下游测定校正用离子束的能量；及校正序列部，制作表示已知的能量与通过射束能量测定装置(200)测定出的校正用离子束的能量之间的对应关系的能量校正表上游射束线压力在离子注入处理期间被调整为第1压力，在制作能量校正表的期间被调整为高于第1压力的第2压力。
离子注入装置

[发明专利]等离子显示设备-CN200610136126.7无效
发明人：崔正泌 -专利权人： LG电子株式会社
申请日： 2006-10-16 - 公布日： 2007-04-18 - 主分类号： G09G3/28 文献下载
摘要：公开了一种等离子显示设备。该等离子显示设备包括等离子显示面板，源电容，电感和能量回收/提供控制器。该源电容提供能量到等离子显示面板，并从等离子显示面板回收能量。电感串联连接到源电容。能量回收/提供控制器连接在等离子显示面板和电感之间，用于形成能量提供路径和能量回收路径。
等离子显示设备

[发明专利]一种霍尔推力器离子能量分布测量方法及系统-CN201611169259.4有效
发明人：魏立秋;丁永杰;李文博;于达仁 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2016-12-16 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： G01M15/00 文献下载
摘要：本发明公开一种霍尔推力器离子能量分布测量方法及系统。该方法通过测量多栅探针不同制止电压下的离子电流随时间变化曲线，获取同一时刻不同制止电压对应的电流值，得到该时刻电流与电压函数关系，然后求得该时刻的离子平均速度，求得该时刻离子能量；以设定时间间隔获取振荡周期内其它时刻的离子能量，将不同时刻的离子能量按照时间顺序拟合，得到低频振荡周期内离子能量分布随时间的变化曲线。本发明实现了测量羽流区离子能量分布的动态特性，获得羽流区离子能量分布在低频振荡周期内的变化曲线，解决了现有的测量方法无法获得几十微秒量级羽流区离子能量分布随时间动态变化的难题，为研究霍尔推力器羽流区离子能量分布变化提供有效技术途径
一种霍尔推力离子能量分布测量方法系统

[发明专利]致密高能离子植入系统-CN201980033100.5在审
发明人：法兰克·辛克莱 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：一种设备可包括离子源，所述离子源被布置成产生处于第一离子能量的离子射束。所述设备可进一步包括直流加速器柱，所述直流加速器柱设置在所述离子源下游且被布置成将所述离子射束加速到第二离子能量，所述第二离子能量大于所述第一离子能量。所述设备可包括线性加速器，所述线性加速器设置在所述直流加速器柱下游，所述线性加速器被布置成将所述离子射束加速到比所述第二离子能量大的第三离子能量。
致密高能离子植入系统

[发明专利]高能量离子注入装置-CN201410171523.2有效
发明人：椛泽光昭;渡边一浩;佐佐木玄;稻田耕二 -专利权人：斯伊恩股份有限公司
申请日： 2014-04-25 - 公布日： 2017-07-18 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明提供一种高能量离子注入装置，通过电场对高能量的离子束进行扫描、平行化及过滤。本发明的高能量离子注入装置(100)具备高能量多段直线加速单元(14)，对离子束进行加速而生成高能量离子束；偏转单元(16)，将高能量离子束朝向半导体晶片进行方向转换；及射束传输线单元(18)，将已偏转的高能量离子束传输到晶片射束传输线单元(18)具有射束整形器(32)、高能量用射束扫描器(34)、高能量用电场式射束平行化器(36)及电场式最终能量过滤器(38)。
高能量离子注入装置

[发明专利]包括能量回收电路的等离子显示面板及其驱动方法-CN200610004707.5无效
发明人：郑允权;李崇奎 -专利权人： LG电子株式会社
申请日： 2006-01-27 - 公布日： 2006-08-09 - 主分类号： G09G3/28 文献下载
摘要：提供了一种包括能量回收电路的等离子显示面板及其驱动方法。等离子显示面板包括用于提供预定电压的能量充电部件，用于从能量充电部件接收预定电压的能量的能量供应和回收部件，以及脉冲形成部件。脉冲形成部件将由能量供应和回收部件提供的预定电压的能量提供至等离子显示面板，保持等离子显示面板的保持电压，并将预定电压的能量回收到能量供应和回收部件。
包括能量回收电路等离子显示面板及其驱动方法

[发明专利]大功率激光加速离子的靶设计-CN200580048289.3无效
发明人：尤金·S·弗卡尔;拉沃·维尔特切夫;马长明 -专利权人：福克斯·彻斯癌症中心
申请日： 2005-12-22 - 公布日： 2008-02-27 - 主分类号： H01J49/16 文献下载
摘要：公开了用于设计激光加速的离子束的方法。该方法包括对系统建模，该系统包括重离子层、电场和具有包括最大轻正离子能量的能量分布的高能量轻正离子，使用所述模型，将重离子层的物理参数、电场和最大轻正离子能量相关联，并改变该重离子层的参数以优化该高能量轻正离子的能量分布一种方法包括使用二维单元内粒子(PIC)仿真和一维分析模型，分析通过高功率激光脉冲和双层靶的相互作用对于轻正离子例如质子的加速。在该模型中，被加速的轻正离子例如质子获得的最大能量依赖于重离子层的物理特性－电子－离子质量比和离子的有效电荷状态。对于电子和重离子种类的动力流体方程求解，以及使用对于质子的测试粒子近似。发现重离子运动改变了纵向电场分布，由此改变了对于轻正离子的加速条件。
大功率激光加速离子设计

[实用新型]一种将具能量的物质转化至日常用品中的装置-CN200820101384.6无效
发明人：洪国珍;黄劲达 -专利权人：洪国珍;黄劲达
申请日： 2008-02-02 - 公布日： 2009-06-10 - 主分类号： A47J47/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种将具能量的物质转化至日常用品中的装置，包括从具有能量的物质中分离出能量离子或高氢、氧离子的分离仪器和将能量离子或高氢、氧离子移转至日常用品中的高压容器，两者之间通过一将分离仪器中的能量离子或高氢、氧离子注入高压容器的通道连通。此装置使物体组件或日常用品物质中含有能量离子或高氢、氧离子或远红外线，促进人体日常保养、活化细胞功能。
一种能量物质转化至日用品中的装置

[实用新型]一种大束流离子注入装置-CN201620626704.4有效
发明人：胡明 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2016-06-23 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大束流离子注入装置，依次包括加速电极、吸出电极、抑制电极和接地电极，其中吸出电极与抑制电极之间设有一用于二次调节注入离子束能量大小的能量调节电极，可使得加速电极与吸出电极之间形成一恒定工作电压由于离子束能量不再单独由设备的加速电极决定，可通过采用适合且恒定不变的加速电极和吸出电极电压，从离子源萃取出较大密度的离子束，再通过能量调节电极来确定最终注入能量。因此本实用新型通过对能量调节电极进行能量调节，实现多种能量的大束流注入，能够实现低能量大束流的离子束注入，增大了离子注入机的产能。
一种流离注入装置

[发明专利]高能量离子注入装置-CN201410171492.0有效
发明人：椛泽光昭;渡边一浩;佐佐木玄;加藤浩二;安藤一志 -专利权人：斯伊恩股份有限公司
申请日： 2014-04-25 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：本发明提供一种高能量离子注入装置，精度良好地将已扫描的高能量离子束平行化。本发明的高能量离子注入装置具备：射束生成单元，具有离子源和质量分析装置；高能量多段直线加速单元；高能量射束的偏转单元，将高能量离子束朝向晶片进行方向转换；及射束传输线单元，将已偏转的高能量离子束传输到晶片射束传输线单元具有射束整形器、高能量用射束扫描器、高能量用射束平行化器及高能量用最终能量过滤器。并且，高能量用射束平行化器为通过电场重复高能量射束的加速和减速并且将扫描束平行化的电场式射束平行化器。
射束高能量高能量离子平行化器注入装置传输线单元电场平行化晶片扫描质量分析装置过滤器偏转多段直线方向转换加速单元偏转单元射束整形生成单元最终能量离子源扫描器减速传输重复

[发明专利]高能量离子注入装置-CN201410183419.5有效
发明人：椛泽光昭;西原达生;渡边一浩;高桥裕二;山田达也 -专利权人：斯伊恩股份有限公司
申请日： 2014-04-30 - 公布日： 2017-07-18 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明提供高能量离子注入装置中的高效率射束传输技术。本发明的高能量离子注入装置具备射束生成单元，具有离子源和质量分析装置；高能量多段直线加速单元，对离子束进行加速而生成高能量离子束；高能量射束的偏转单元，将高能量离子束朝向晶片进行方向转换；及射束传输线单元，将已偏转的高能量离子束传输到晶片。
高能量离子注入装置

[发明专利]一种基于远红外材料的负氧离子激发装置及应用-CN202011549171.1在审
发明人：张小平;徐锦虎;邱童 -专利权人：高意匠新材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： H01T23/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于远红外材料的负氧离子激发装置，所述激发装置包括能量置换体、负氧离子发射端、诱导旁通电路以及能量控制电路；所述能量置换体通过导电电极分别电性连接于负氧离子发射端和能量控制电路；所述诱导旁通电路并联于能量置换体的两端，所述诱导旁通电路与能量置换体为电性连接。本发明的负氧离子激发装置，能够通过控制负氧离子激发的能量，从而获得高效能负氧离子。本发明中激发电路电压通过所述的具备远红外特性的能量置换体与激发端隔离，从而使其产生负氧离子的同时极大程度抑制副产物的生产，且所激发产生的负氧离子具备更高的能量，具备更远的逸散效果，其可以作用于更大的室内空间
一种基于红外材料离子激发装置应用

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