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[发明专利]衬底处理方法及衬底处理装置-CN201880073324.4在审
发明人：堀口修 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-10-09 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：向在表面露出有硅氧化膜和硅氮化膜的衬底供给含有硅的磷酸水溶液、选择性地将硅氮化膜蚀刻的衬底处理方法。该方法包括下述工序：将含有规定硅浓度范围的硅的磷酸水溶液贮存于罐的工序；将罐内的磷酸水溶液供给至喷嘴，并从喷嘴向衬底供给磷酸水溶液而对衬底进行处理的工序；将用于衬底处理的使用后的磷酸水溶液回收至罐的回收工序；将以第1浓度含有硅的第1磷酸水溶液向罐供给的第1磷酸水溶液供给工序；将以低于第1浓度的第2浓度含有硅的第2磷酸水溶液向罐供给的第2磷酸水溶液供给工序；满足规定的补充开始条件时，开始第1及第2磷酸水溶液供给工序的开始判定工序；和确定第1及第2磷酸水溶液的供给量的供给量确定工序。
衬底处理方法装置

[发明专利]基板液处理装置、基板液处理方法和存储介质-CN201710899650.8有效
发明人：佐藤秀明 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-09-28 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：该基板液处理装置在设置于液处理部(39)的处理槽(34)内贮存磷酸水溶液，将基板浸于处理槽所贮存的磷酸水溶液中，由此对该基板进行处理。在基板浸于处理槽内的磷酸水溶液中的第一期间，利用磷酸水溶液排出部(43)以第一排出流量从液处理部(39)排出磷酸水溶液，并且利用磷酸水溶液供给部(40)向液处理部供给磷酸水溶液。在另外的第二期间，利用磷酸水溶液排出部以与第一排出流量不同的第二排出流量从液处理部排出磷酸水溶液，并且利用磷酸水溶液供给部向液处理部供给磷酸水溶液。
基板液处理装置方法存储介质

[发明专利]基板处理装置-CN201310055320.2有效
发明人：高桥朋宏;荒木浩之 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2013-02-21 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： G01N27/60 文献下载
摘要：本发明的基板处理装置，包括：循环路，包括贮存磷酸水溶液的处理槽、输送磷酸水溶液的循环泵、对磷酸水溶液进行加热的循环用加热器、对磷酸水溶液进行过滤的过滤器，使从处理槽排出的磷酸水溶液依次流过循环泵、循环用加热器、过滤器，并且使磷酸水溶液从过滤器返回上述处理槽中；分支管，在循环用加热器与过滤器之间从循环路分支，从循环路中提取磷酸水溶液；浓度测定部，与分支管相连通连接，通过电位差测定法测定磷酸水溶液中的硅浓度。
处理装置

[发明专利]混合装置、混合方法以及基板处理系统-CN202010134070.1在审
发明人：野中纯;稻田尊士;小仓康司 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-03-02 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：高效地混合磷酸水溶液和抑制硅氧化物的沉积的添加剂。本公开的一个方式的混合装置具备磷酸水溶液供给部、添加剂供给部、罐、磷酸水溶液供给线路以及添加剂供给线路。磷酸水溶液供给部用于供给磷酸水溶液。磷酸水溶液供给线路将磷酸水溶液供给部与罐连接。添加剂供给线路将添加剂供给部与罐连接。另外，混合装置一边对从磷酸水溶液供给部供给到罐的磷酸水溶液提供流动性，一边供给添加剂。
混合装置方法以及处理系统

[发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN201680058403.9有效
发明人：宫崎邦浩;古矢正明;林航之介;山崎克弘;齐藤裕树;古川长树 -专利权人：芝浦机械电子株式会社
申请日： 2016-09-30 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：一种处理至少形成有氮化膜和氧化膜的基板的基板处理装置，所述基板处理装置具有：磷酸水溶液贮留部，其将磷酸水溶液贮留；磷酸水溶液供给部，其通过磷酸水溶液供给配管将磷酸水溶液供给至所述磷酸水溶液贮留部；二氧化硅添加剂供给部，其通过二氧化硅添加剂供给配管将二氧化硅添加剂供给至所述磷酸水溶液贮留部；水供给部，其通过水供给配管将水供给至所述磷酸水溶液贮留部；和处理部，其通过贮留在所述磷酸水溶液贮留部中的所述磷酸水溶液来处理所述基板
处理装置方法

[发明专利]一种磷酸钆纳米材料的制备方法-CN201510822591.5有效
发明人：滕冰;钟德高;于萌华;贺杰;徐雅琳;郭云武;王元斌 -专利权人：青岛大学
申请日： 2015-11-24 - 公布日： 2016-01-27 - 主分类号： C01B25/26 文献下载
摘要：本发明属于新材料制备技术领域，涉及一种磷酸钆纳米材料的制备方法，包括制备硝酸钆水溶液、制备磷酸二铵水溶液、制备磷酸钆粗品和制备磷酸钆纳米材料四个步骤，首先采用氧化钆和硝酸水溶液制备硝酸钆水溶液，然后用硝酸钆水溶液与磷酸二铵水溶液合成磷酸钆粗品，最后对磷酸钆粗品进行提纯，得到高纯度的磷酸钆纳米材料，用于合成稀土发光基质的材料；其制备工艺简单，原理科学可靠，反应条件温和，能量消耗少，制备成本低，易于操作，制备的磷酸钆纳米材料纯度高。
一种磷酸纳米材料制备方法

[发明专利]磷酸钙的制备方法、及包含通过其获得的磷酸钙的有害气体及恶臭去除用组合物-CN201980001511.6有效
发明人：金日龙;申义燮 -专利权人：贝赛尔思有限公司
申请日： 2019-02-12 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： B01J20/04 文献下载
摘要：基于本发明的磷酸钙的制备方法的特征在于，包括：步骤(a)，制备0.5～1.5M的钙盐水溶液、0.3～0.8M的磷酸盐水溶液以及0.1～0.5M的碳酸盐水溶液；步骤(b)，将上述步骤(a)的磷酸盐水溶液和碳酸盐水溶液混合来制备混合溶液；步骤(c)，将碱性水溶液加入上述步骤(a)的钙盐水溶液；步骤(d)，将碱性水溶液加入上述步骤(b)的混合溶液；步骤(e)，将上述步骤(c)的加入碱性水溶液的钙盐水溶液和上述步骤(d)的加入碱性水溶液的混合溶液混合并进行反应来制备沉淀物；以及步骤(f)，对上述步骤(e)的沉淀物进行过滤、清洗及干燥来获得磷酸钙，上述磷酸钙的原级粒子大小为100nm以下，比表面积为40～150m2/g。
磷酸钙制备方法包含通过获得有害气体恶臭去除组合

[发明专利]一种阳离子聚合物修饰的纳米磷酸钙基因载体的制备方法-CN200810122110.X无效
发明人：王幽香;徐志学;胡巧玲;沈家骢 -专利权人：浙江大学
申请日： 2008-10-28 - 公布日： 2009-04-08 - 主分类号： C12N15/63 文献下载
摘要：本发明公开了一种阳离子聚合物修饰的纳米磷酸钙基因载体的制备方法，步骤如下：分别配置浓度为3～8mmol/l的氯化钙水溶液和2～5mmol/l的磷酸钠水溶液；将等体积的氯化钙水溶液和磷酸钠水溶液漩涡混合，加入质粒DNA水溶液，获得表面DNA稳定的磷酸钙纳米粒子水溶液；配置浓度为0.1～1mg/ml的阳离子聚合物水溶液，加入到表面DNA稳定的磷酸钙纳米粒子水溶液中，使阳离子聚合物分子含有的胺基与DNA分子含有的磷酸基团的摩尔比为本发明通过阳离子聚合物修饰的纳米磷酸钙基因载体，可有效诱导DNA分子的缔合，具有高效无毒，可生物降解，是理想的基因传输载体之一。
一种阳离子聚合物修饰纳米磷酸钙基因载体制备方法

[发明专利]基板处理方法和基板处理装置-CN201810348854.7有效
发明人：日野出大辉 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-04-18 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：当磷酸容器内的磷酸水溶液的硅浓度达到规定浓度范围的上限值时，通过从磷酸容器排出磷酸水溶液和/或减少返回磷酸容器的磷酸水溶液的量，使磷酸容器内的液量减少到规定液量范围的下限值以下的值。当磷酸容器内的液量减少到规定液量范围的下限值以下的值时，通过向磷酸容器补充磷酸水溶液，使磷酸容器内的液量增加到规定液量范围内的值，并且使磷酸容器内的磷酸水溶液的硅浓度减低到规定浓度范围内的值。
处理方法装置

[发明专利]基板处理装置-CN201410052438.4有效
发明人：日野出大辉;太田乔;藤原直树 -专利权人：斯克林集团公司
申请日： 2014-02-17 - 公布日： 2017-06-30 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：一种基板处理装置，其包含有水平保持基板的旋转卡盘；通过将磷酸水溶液供给于保持在旋转卡盘上的基板的上面，形成覆盖基板的上面全区域的磷酸水溶液的液膜的磷酸供给装置；以磷酸水溶液的液膜保持于基板上的状态加热基板的加热装置；向磷酸水溶液的液膜供给纯水的纯水供给装置。
处理装置

[发明专利]枸橼酸焦磷酸铁混配络合物的制备方法-CN201610033925.5有效
发明人：郭振兴;吕志涛;李树谨;宋文同 -专利权人：山东诚创医药技术开发有限公司
申请日： 2016-01-19 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： C07F15/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种枸橼酸焦磷酸铁混配络合物的制备方法，包括步骤：(1)配制含三价铁阳离子的水溶液；(2)分别配制含枸橼酸阴离子的水溶液以及含焦磷酸阴离子的水溶液，之后将焦磷酸阴离子的水溶液缓慢滴加至枸橼酸阴离子的水溶液中，搅拌混匀，得混合水溶液；(3)边搅拌边将步骤(1)配制的水溶液缓慢加入步骤(2)制备的混合水溶液中，滴加完毕后，搅拌反应1～2小时，得到深绿色溶液，滤去不溶物，取滤液；(4)将步骤(3)的滤液滴加至析晶溶剂中，滴加完毕后，继续搅拌1～2小时，得浅绿色沉淀，过滤，所得固体干燥即得枸橼酸焦磷酸铁混配络合物。本发明可稳定且高收率的获得不含磷酸根，并且有机杂质含量低的枸橼酸焦磷酸铁。
枸橼酸磷酸铁混配络合物制备方法

[发明专利]高纯度锂盐水溶液的制造方法-CN202180040232.8在审
发明人：山田庆太;佐久间幸雄;井上博人 -专利权人：株式会社安积理研
申请日： 2021-09-28 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： C01D15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种高纯度锂盐水溶液的制造方法。利用该制造方法，能够在短时间内滤出磷酸铝。高纯度锂盐水溶液的制造方法具备以下各步骤：将从作为原料的第一锂盐水溶液得到的含有磷酸锂和氢氧化铝的混合物的浆料的pH调整到2～3的范围内，得到磷酸铝的沉淀的步骤；滤出并除去磷酸铝的沉淀而得到第二锂盐水溶液的步骤；和，对第二锂盐水溶液进行精制而得到高纯度锂盐水溶液的步骤。
纯度盐水溶液制造方法

[发明专利]利用还原硝酸盐或一氧化氮生产羟胺的方法-CN201310282414.3有效
发明人：约翰·托马斯·廷格;丹尼尔·朱丽斯·玛利亚·奥兹哲姆 -专利权人：帝斯曼知识产权资产管理有限公司
申请日： 2013-07-05 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： C01B21/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种连续生产羟胺的方法，该方法含有i)向羟胺形成区进料：a)含氢气体；b)含磷酸盐的酸性含水溶液；和c)溶解于所述含磷酸盐的酸性含水溶液中的硝酸盐或一氧化氮；ii)在所述羟胺形成区，用氢还原硝酸盐或一氧化氮生成羟胺；iii)在羟胺去除区，将羟胺从所述含磷酸盐的酸性含水溶液去除；iv)向所述含磷酸盐的酸性含水溶液中加入含氮气体和/或硝酸盐；和v)所述含磷酸盐的酸性含水溶液返回到所述羟胺形成区；其特征在于去除了部分所述含磷酸盐的酸性含水溶液；并且向剩余的含磷酸盐的酸性含水溶液加入磷酸；一种由此制备肟的方法；一种由此制备内酰胺的方法；以及一种由此制备的肥料产品。
利用还原硝酸盐一氧化氮生产方法

[发明专利]一种化妆品用温敏型壳聚糖基祛痘水凝胶的制备方法-CN201810370340.1在审
发明人：李欣航;蒋丽刚;张金龙;王玲;席长洪;王晗宁 -专利权人：珀莱雅化妆品股份有限公司
申请日： 2018-04-24 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： A61K8/73 文献下载
摘要：本发明涉及一种化妆品用温敏型壳聚糖基祛痘水凝胶的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1）配制壳聚糖水溶液；2）配制β‑甘油磷酸钠水溶液；3）在3‑5℃冰浴条件下，将壳聚糖水溶液与β‑甘油磷酸钠水溶液按质量比1‑5:1进行混合，得壳聚糖/β‑甘油磷酸钠溶液；4）配制α‑倒捻子素乙醇溶液；5）配制京尼平‑桃叶珊瑚苷水溶液；6）按质量比20‑100:1将壳聚糖/β‑甘油磷酸钠溶液和α‑倒捻子素乙醇溶液混合，配得α‑倒捻子素‑壳聚糖/β‑甘油磷酸钠溶液；7）按质量比100‑200:1将α‑倒捻子素‑壳聚糖/β‑甘油磷酸钠溶液和京尼平‑桃叶珊瑚苷水溶液，在78‑80℃下交联得祛痘水凝胶。
甘油磷酸钠祛痘壳聚糖水凝胶质量比配制桃叶珊瑚苷壳聚糖基乙醇溶液京尼平温敏型制备化妆品壳聚糖水溶液配制壳聚糖冰浴条件制备过程交联无毒安全

[发明专利]碱式磷酸铁铵及制备方法、磷酸铁的制备方法及磷酸亚铁锂的制备方法-CN200710073389.2有效
发明人：程堂利 -专利权人：比亚迪股份有限公司
申请日： 2007-02-15 - 公布日： 2008-08-20 - 主分类号： C01B25/45 文献下载
摘要：一种碱式磷酸铁铵化合物，其分子式为NH₄Fe₂(OH)(PO₄)₂·nH₂O，n为0～2。该碱式磷酸铁铵的振实密度1.3g/ml～1.6g/ml，平均粒径为10～20μm。碱式磷酸铁铵化合物的制备方法，包括将铁盐水溶液、磷源水溶液、氨水溶液滴加到反应容器中，温度控制范围为20～60℃，pH值控制范围为3～7，搅拌器搅拌，溢流得到沉淀碱式磷酸铁铵，其中，铁盐水溶液为二价铁盐和三价铁盐水溶液的混合溶液碱式磷酸铁铵经550℃～700℃灼烧制得振实密度较高的磷酸铁。以磷酸铁为原料制得振实密度较高、比容量较高的磷酸亚铁锂。
磷酸制备方法亚铁

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