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- [发明专利]一种太阳能电池硼硅玻璃钝化方法-CN202110828340.3在审
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张双玉;张满满;乐雄英;陆祥
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江苏润阳悦达光伏科技有限公司
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2021-07-22
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2021-11-12
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H01L31/18
- 本发明公开一种太阳能电池硼硅玻璃钝化方法,S1、对太阳能电池片进行表面处理,形成有效的绒面结构;S2、通过热扩散工艺,在形成绒面结构的所述太阳能电池片上生成一层厚度为80‑120nm的硼硅玻璃层;S3、使用低浓度的氢氟酸腐蚀掉部分所述的硼硅玻璃层,保留厚度为10‑25nm的硼硅玻璃层,即完成钝化。本发明的钝化方法保留了厚度为10‑25nm的硼硅玻璃介质层,这层介质层会有类似于氧化硅的钝化作用,能够很好地提高电池片的效率;常规N型电池在完全去除硼硅玻璃层后,通常采用热氧或湿氧方式,在正面生成一层氧化硅钝化层,本发明的钝化方法取消了这一步骤,直接用扩散形成的硼硅玻璃层进行钝化,在减少工艺步骤的同时,确保电池品的效率,也降低的电池制作成本。
- 一种太阳能电池玻璃钝化方法
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