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- [发明专利]一种二硒化钯的制备方法-CN202210703529.4有效
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逄金波;李玉芬;孙德辉;周伟家;刘宏
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济南大学
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2022-06-21
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2023-06-30
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C23C14/16
- 本发明公开了一种二硒化钯的制备方法,包括以下步骤:(1)在基底表面进行钯金属镀膜,得到基底/钯薄膜;(2)在基底/钯薄膜的表面旋涂含硒分散液,干燥后在保护气氛中,利用等离子体辅助热退火制备得到二硒化钯薄膜所述制备方法还包括:将步骤(2)得到的二硒化钯薄膜转移至目标基底的步骤。本发明利用钯薄膜蒸镀‑硒分子涂覆‑加热反应制备二硒化钯薄膜的方法,不但钯金属膜与硒分子膜固相反应制备方法简单直接、生长速率快,而且利用了钯薄膜前驱体的完整涂覆特点,可以得到完整的二硒化钯薄膜,可获取晶圆级二硒化钯的规模化生产
- 一种二硒化钯制备方法
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