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[发明专利]一种硅基仿生微纳结构表面的制备方法-CN201310708220.5无效
发明人：王富国;张俊彦 -专利权人：中国科学院兰州化学物理研究所
申请日： 2013-12-20 - 公布日： 2015-06-24 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅基仿生微纳结构表面的制备方法。该方法是通过在HF乙醇溶液中电化学刻蚀的方法（而非光刻技术）在单晶硅表面上制备多孔硅仿生微纳结构的。所获得的多孔硅仿生微纳结构分布均匀、有序，微米结构尺寸在1-30um范围内可调。本发明成本较低，工艺简单、制备时间较短，对于硅基仿生微纳结构表面在生物芯片和微流体器件等方面都有应用前景。
一种仿生结构表面制备方法

[发明专利]一种新的硅基微纳结构的修饰方法-CN202110769121.2在审
发明人：郑德印;王玮 -专利权人：北京大学
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种硅基微纳结构的修饰方法，包括：提供具有微纳结构的重度掺杂硅衬底；对所述重度掺杂硅衬底进行电化学腐蚀，从而在所述微纳结构上形成多孔层；以及用碱性溶液进行清洗，从而去除所述多孔层。本发明方法通过精确控制电化学腐蚀工艺的过程参数，可以对已经成型的硅基微纳结构进行灵活修饰，弥补了常规微纳加工技术无法对微纳结构进行有效修饰的不足。本发明方法为功能表面的制备提供了新的思路，即通过对已经成型的硅基微纳结构进行灵活修饰来制备具有更优性能或者特殊性能的功能表面。
一种硅基微纳结构修饰方法

[发明专利]一种硅基生物活性墨水、天然无机硅基材料柔性三维多孔支架和应用-CN202210488949.5有效
发明人：吴成铁;马景阁 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： A61L27/02 文献下载
摘要：本发明公开一种硅基生物活性墨水、天然无机硅基材料柔性三维多孔支架和应用。所述硅基生物活性墨水包括凝胶基质和嵌入所述凝胶基质的硬质硅基矿物微纳颗粒，所述硬质硅基矿物微纳颗粒的质量为凝胶基质的30%以下，优选为1‑20%。所述天然无机硅基材料柔性三维多孔支架具有规则多孔结构，内部的硬质硅基矿物微纳颗粒能够缓慢降解并释放生物活性离子促进血管生成进而加速皮肤修复，对于重度烧伤、烫伤创面的治疗具有重要意义。
一种生物活性墨水天然无机基材柔性三维多孔支架应用

[发明专利]一种水泥基表面超疏水性微纳结构氧化硅及基于其的涂层及制备方法和应用-CN201811216118.2在审
发明人：王程;冷少争;郭慧东;黄剑锋;曹丽云 -专利权人：陕西科技大学
申请日： 2018-10-18 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： C04B41/85 文献下载
摘要：本发明涉及水泥基表面超疏水性微纳结构氧化硅涂层合成，具体涉及一种水泥基表面超疏水性微纳结构氧化硅及基于其的涂层及制备方法和应用，制备水泥基表面超疏水性微纳结构氧化硅涂层的方法，包括如下步骤：先对硅灰与纳米氧化硅进行混合，得到微纳氧化硅，再对微纳氧化硅进行改性，得到超疏水微纳结构氧化硅，最后涂在水泥上，得到水泥基表面超疏水性微纳结构氧化硅涂层。本发明的制备水泥基表面超疏水性微纳结构氧化硅涂层的方法首先通过对廉价的硅灰与纳米氧化硅混合，使其结构变成微纳结构；再对微纳氧化硅进行改性，提高其表面疏水性，通过本发明的方法制备的沸石具有较高的疏水性，且价格低
微纳结构水泥基表面超疏水性氧化硅氧化硅涂层制备制备方法和应用纳米氧化硅改性硅灰表面疏水性超疏水防覆冰疏水性沸石合成水泥应用

[发明专利]一种仿生微纳结构多孔硅超疏水表面的制备方法-CN201310708141.4在审
发明人：王富国;张俊彦 -专利权人：中国科学院兰州化学物理研究所
申请日： 2013-12-20 - 公布日： 2015-06-24 - 主分类号： C25F3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种仿生微纳结构多孔硅超疏水表面的制备方法。本发明首先采用电化学刻蚀法在单晶硅表面制备多孔硅仿生微纳结构表面，然后通过有机分子修饰获得仿生微纳结构超疏水多孔硅表面。本发明成本较低，工艺简单、制备时间较短，对于硅基仿生微纳结构表面在生物芯片和微流体器件等方面都有应用前景。
一种仿生结构多孔疏水表面制备方法

[发明专利]一种仿生微纳结构多孔硅超疏水表面的制备方法-CN201711119392.3在审
发明人：宋丛恺 -专利权人：青岛凯玉盈商贸有限公司
申请日： 2017-11-14 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： C30B33/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种仿生微纳结构多孔硅超疏水表面的制备方法。本发明首先采用电化学刻蚀法在单晶硅表面制备多孔硅仿生微纳结构表面，然后通过有机分子修饰获得仿生微纳结构超疏水多孔硅表面。本发明成本较低，工艺简单、制备时间较短，对于硅基仿生微纳结构表面在生物芯片和微流体器件等方面都有应用前景。
制备微纳结构多孔硅微纳结构表面超疏水表单晶硅表面电化学刻蚀多孔硅表面微流体器件生物芯片有机分子超疏水硅基修饰应用

[发明专利]一种仿生微纳结构超亲水硅表面的制备方法-CN201310708142.9无效
发明人：王富国;张俊彦 -专利权人：中国科学院兰州化学物理研究所
申请日： 2013-12-20 - 公布日： 2015-06-24 - 主分类号： C04B41/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种仿生微纳结构超亲水硅表面的制备方法。该方法首先采用电化学刻蚀的方法在单晶硅表面制备多孔硅仿生微纳结构表面的，然后通过羟基化处理或者多巴胺修饰获得仿生微纳结构超亲水硅表面。本发明成本较低，工艺简单、制备时间较短，对于硅基仿生微纳结构表面在生物芯片和微流体器件等方面都有应用前景。
一种仿生结构超亲水硅表面制备方法

[发明专利]微纳结构的制备方法、微纳结构、电子元器件-CN202211074853.0在审
发明人：李海亮;姚楚豪;张晓萌;谢常青 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种微纳结构的制备方法，包括如下步骤：提供硅基，于硅基表面沉积具有第一预定厚度的第一金属层；于所述第一金属层上旋涂光刻胶，光刻所述光刻胶形成图案，并暴露所述第一金属层；刻蚀暴露的第一金属层以暴露硅基表面；刻蚀暴露的硅基表面形成微米结构；于所述硅基表面沉积具有第二预定厚度的第二金属层；去除光刻胶；对整片硅基于预定温度下退火，使得所述第二金属层上形成纳米孔；提供第一腐蚀液，对所述硅基与所述第二金属层相接处进行腐蚀，形成纳米结构；去除所述第一金属层、去除所述第二金属层，得到所述微纳结构。本申请在硅基上制备了微纳结构，且简单便捷，成本低廉。
结构制备方法电子元器件

[发明专利]一种超表面硅基液晶复合空间光调制器-CN201911071777.6有效
发明人：陶金;郑国兴;李子乐;刘子晨;尤全;邱英;肖希;余少华 -专利权人：武汉邮电科学研究院有限公司
申请日： 2019-11-05 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G02F1/29 文献下载
摘要：本发明公开了一种超表面硅基液晶复合空间光调制器，涉及微纳光学领域，包括硅基液晶空间光调制器和超表面微纳芯片，硅基液晶空间光调制器其用于在接收入射光波后，将其反射的光波偏转一定的角度后进行输出，以完成第一次相位调制；超表面微纳芯片用于接收所述硅基液晶空间光调制器输出的光波，并将接收到的光波按照预设的位相梯度进行透射，以完成第二次相位调制。本发明提供的超表面硅基液晶复合空间光调制器，光束偏转角度较大，从而实现大角度范围对光场进行调控，适用范围更广。
一种表面液晶复合空间调制器

[发明专利]双面微纳复合结构的太阳能电池及其制备方法-CN201010543469.1有效
发明人：张晓升;邸千力;朱福运;张海霞 -专利权人：北京大学
申请日： 2010-11-12 - 公布日： 2011-06-29 - 主分类号： H01L31/042 文献下载
摘要：本发明公开了一种双面微纳复合结构的太阳能电池及其制备方法。其中，太阳能电池包括位于太阳能电池的正面的第一微纳复合结构和位于太阳能电池的背面的第二微纳复合结构；第一微纳复合结构包括在硅基衬底上表面制作的掺杂扩散层、在掺杂扩散层上腐蚀获取的正面微米尺度吸光层；以及在正面微米尺度吸光层上刻蚀获得的正面纳米尺度黑硅减反射层；第二微纳复合结构包括在硅基衬底下表面上腐蚀获取的背面微米尺度吸光层；以及在背面微米尺度吸光层上刻蚀获得的背面纳米尺度黑硅减反射层。本发明解决了传统黑硅太阳能电池结构中，将黑硅材料层代替微米尺度吸光层，虽然拓展了对太阳光谱的吸收范围，但转化效率低的问题。
双面复合结构太阳能电池及其制备方法

[发明专利]一种蓝光带通硅基探测芯片-CN202210435059.8在审
发明人：高丹;张军 -专利权人：暨南大学
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本发明公开了一种蓝光带通硅基探测芯片，该器件包括基底、铝金属层、硅层、二氧化硅圆柱阵列和金微纳结构阵列，所述基底上表面覆盖铝金属层，所述铝金属层的上表面设有硅层，所述硅层内设置二氧化硅圆柱阵列，所述硅层上表面设置金微纳结构阵列本发明通过在硅层的外延层内部制备二氧化硅圆柱阵列，改变探测芯片对入射可见光的反射效率，进一步通过在硅层的外延层上表面制备金微纳结构阵列，提高器件的性能同时使芯片具有蓝光带通的效果。本发明作为一种蓝光带通硅基探测芯片，可广泛应用于光电技术领域。
一种光带通硅基探测芯片

[发明专利]高强度多级微纳结构硅基骨修复支架材料、其制备方法及应用-CN201310723815.8有效
发明人：刘昌胜;袁媛;唐为;林丹;牛浩一 -专利权人：华东理工大学
申请日： 2013-12-24 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： A61L27/56 文献下载
摘要：本发明涉及高强度多级微纳结构硅基骨修复支架材料、其制备方法及应用。本发明以介孔硅基干凝胶为基质，加入介孔氧化硅微球增强剂，制备出具有优异力学性能的多级结构支架材料。本发明所制备的硅基骨修复支架材料兼具高度连通的200‑500μm、微米级大孔和2‑22nm纳米介孔，孔隙率高达60～90%，且力学性能可达10MPa。本发明的多级微纳结构硅基骨修复支架材料可以用作骨组织工程支架和药物缓释载体等。
骨修复支架硅基制备微纳结构力学性能骨组织工程支架介孔氧化硅微球药物缓释载体微米级大孔多级结构纳米介孔支架材料孔隙率增强剂基质介孔凝胶连通应用

[发明专利]一种有机硅弹性微球的制备方法-CN201310352872.X无效
发明人：杨成;钱璟茹;李琛;孙培冬;曹光群 -专利权人：江南大学
申请日： 2013-08-14 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： C08G77/38 文献下载
摘要：一种有机硅弹性微球的制备方法，属于有机硅或乳液聚合技术领域。本发明通过微纳淀粉颗粒或疏水改性微纳淀粉颗粒乳化稳定含乙烯基硅油（或α,ω-线性双烯烃）和含氢硅油形成固体粒子稳定的乳液，再通过硅氢加成交联制备得到有机硅弹性微球。该有机硅弹性微球表面吸附有无毒可降解的微纳淀粉颗粒，易于分散，具有优异的油脂吸收性能和干爽光滑性，可广泛用于化妆品中改善肤感、负载和控放活性物质，也可用于生物医药中负载和控放药物，还可用于涂料和橡胶领域
一种有机硅弹性制备方法

[发明专利]一种三维硅基微纳光子晶体太阳能电池-CN201710875369.0有效
发明人：万勇;高竞;徐胜;姜澄溢;刘浩楠 -专利权人：青岛大学
申请日： 2017-09-25 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： H01L31/068 文献下载
摘要：本发明属于太阳能电池技术领域，涉及一种三维硅基微纳光子晶体太阳能电池，前接触层下侧面上设有前电极；前电极和背电极之间是三维硅基微纳光子晶体太阳能电池结构，三维硅基微纳光子晶体太阳能电池结构的上层为n型硅半导体层，下层为p型硅半导体层，前电极嵌入在n型硅半导体层的线缺陷波导底部，p型硅半导体能与背电极构成平面；背电极的底部设有背接触层，背电极设置在p型硅半导体层的慢光区或禁带区；其厚度小，节省材料，载流子扩散距离短
一种三维硅基微纳光子晶体太阳能电池

[发明专利]一种二维硅基微纳光子晶体太阳能电池-CN201410504341.2有效
发明人：万勇;刘培晨;韩文娟;贾明辉;孙蕾 -专利权人：青岛大学
申请日： 2014-09-28 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： H01L31/055 文献下载
摘要：本发明属于太阳能电池技术领域，涉及一种二维硅基微纳光子晶体太阳能电池，前接触层的下侧面上设有周期性排列的前电极；前电极和背电极之间设有二维硅基微纳光子晶体太阳能电池结构，二维硅基微纳光子晶体太阳能电池结构的上层为n型硅半导体层，下层为p型硅半导体层，n型硅半导体层和p型硅半导体层形成PN结；背电极的底部设有背接触层，背接触层的材料与前接触层的材料相同；铝薄层结构的背电极设置在p型硅半导体层的慢光区域或禁带区域；其结构简单，厚度远低于传统硅太阳能电池的厚度，体积小，阈值低，载流子扩散距离短，稳定性、光的耦合和传输效率高，加工和复合技术成熟，成为新一代最有潜力、低成本、高效太阳能电池器件。
一种二维硅基微纳光子晶体太阳能电池

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