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[实用新型]一种基于OEM硅压阻式差压芯体的微压差传送器-CN201520095903.2有效
发明人：黄玺榕 -专利权人：江苏雷泰自动化仪表工程有限公司
申请日： 2015-02-11 - 公布日： 2015-06-10 - 主分类号： G01L13/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于OEM硅压阻式差压芯体的微压差传送器，该微压差传送器包括壳体、OEM硅压阻式差压芯体、第一压力接口、第二压力接口，所述的OEM硅压阻式差压芯体安装在壳体内部，该差压芯体包括左芯体和右芯体，所述的左芯体和安装在壳体上的第一压力接口连接，所述的右芯体和安装在壳体上的第二压力接口连接，所述的第一压力接口和第二压力接口为螺纹旋塞结构。本实用新型的微压差传送器两个压力接口为M10螺纹和旋塞结构，用户可以选择压力接口尺寸，可直接安装在测量管道上，设有毫伏、标准电压、电流、频率信号输出等可供选择，具有反向极性和限流保护、温度补偿和零位可调的功能
一种基于 oem 硅压阻式差压芯体微压差传送

[实用新型]水植机械设备压差压力传感器-CN201620674546.X有效
发明人：王伟 -专利权人：福州外语外贸学院
申请日： 2016-06-30 - 公布日： 2016-12-21 - 主分类号： G01L13/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水植机械设备压差压力传感器，它涉及一种压力传感器。它包括外壳、硅压阻式正负差压芯体、连接接口和螺纹，外壳内设置有硅压阻式正负差压芯体，外壳一侧设置有连接接口，连接接口内端设置有螺纹；所述的连接接口为旋塞式结构。
机械设备压力传感器

[实用新型]硅压阻小体积高静压高差压变送器-CN200820031602.3有效
发明人：黄标;高扬 -专利权人：南京高华科技有限公司
申请日： 2008-01-31 - 公布日： 2008-12-17 - 主分类号： G01L13/06 文献下载
摘要：本实用新型是硅压阻小体积高静压高差压变送器，其特征是两个硅压力敏感芯体安装在安装壳体中，用压环压紧密封“O”型圈，硅压力敏感芯体的信号输出接放大电路板上的信号输入端，胶木支架和放大电路板粘接在安装壳体上优点：采用两个独立硅压阻式压力敏感芯体合并封装的方式实现小体积结构，并联两个压力敏感芯体压阻桥路并调整桥路的零点输出和灵敏度输出，做温度补偿，使并联后的传感桥路输出与差压大小成线性映射关系，用AD693运算放大电路将弱的差压电量信号放大为标准的4～20mA，差压量程范围宽，耐静压高。
硅压阻小体积静压高差变送器

[发明专利]一种小型硅蓝宝石压差传感器-CN201710720153.7在审
发明人：王臻;李文璋;杨明;王伟;余菲;王彦奎 -专利权人：北京精密机电控制设备研究所;中国运载火箭技术研究院
申请日： 2017-08-21 - 公布日： 2017-12-22 - 主分类号： G01L13/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种小型硅蓝宝石压差传感器，用于液压或气压的压力压差测量，其中，敏感芯体的顶部加工出金属膜片，金属膜片上设置硅蓝宝石芯片，金属膜片和硅蓝宝石芯片高温烧结为一体并通过转接板和第一导线与电路板相连，敏感芯体整体置于基座内，敏感芯体上段为螺纹段，与基座螺纹连接，敏感芯体下段为密封段，与基座密封连接。本发明的小型硅蓝宝石压差传感器不仅避免了目前油封式硅压阻压差传感器中硅油泄露带来的隐患，还具有小型化、精度高、抗干扰能力强、可靠性高、环境适应性强的特点。
一种小型蓝宝石传感器

[发明专利]芯体复合式硅压阻压力传感器-CN201910808376.8有效
发明人：朱晓;柏楠;谢耀;韩士超 -专利权人：北京自动化控制设备研究所
申请日： 2019-08-29 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： G01L9/06 文献下载
摘要：本发明提供一种芯体复合式硅压阻压力传感器，以解决现有硅压阻式压力传感器进行压力测量时所存在的全量程精度缺陷问题。该压力传感器包括：多个硅压阻压力传感器芯体，所述硅压阻压力传感器芯体包括硅压阻压力传感器芯片，用于对待测件进行压力采集；多个所述硅压阻压力传感器芯片的量程不同，且多个所述硅压阻压力传感器芯片的量程覆盖使用的全量程；芯体复合外壳，所述芯体复合外壳用于对多个硅压阻压力传感器芯体组件进行封装，并对所述多个硅压阻压力传感器芯体组件提供统一测试压力介质；信息处理电路板，所述信息处理电路板设置在所述芯体复合外壳上，所述信息处理电路板用于控制并实现多个硅压阻压力传感器芯体的协同测量和切换输出
复合式硅压阻压力传感器

[发明专利]一种硅压阻式单芯体差压传感器-CN202211609549.1在审
发明人：马明宇;王俊巍;方建雷 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十九研究所
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01L13/06 文献下载
摘要：一种硅压阻式单芯体差压传感器，属于传感器制造技术领域，本发明为解决现有差压传感器存在高静压环境中无法测量，工作温度范围窄，不能用于腐蚀性的流体介质测量的问题。它包括：陶瓷环和压力敏感芯片粘接在管座一端上，压力敏感芯片置于陶瓷环内环里，陶瓷环、压力敏感芯片和管座同轴相接，压力敏感芯片电极连接到管座引脚上；陶瓷环外部设置有波纹膜片，波纹膜片通过压环焊接在管座上，波纹膜片和压环对管座的感压腔室进行密封，构成正压腔；管座另一端设置有波纹膜片，波纹膜片和压环对管座感压腔室进行密封，构成负压腔；正压腔和负压腔的波纹膜片接触被测介质，被测介质压力差作用在压力敏感芯片上形成压差输出本发明用于差压检测。
一种硅压阻式单芯体差压传感器

[发明专利]汽车通用压力传感器-CN201010187894.1有效
发明人：王文襄;王冰;毛超民;石桥;李威;汪超 -专利权人：昆山双桥传感器测控技术有限公司;王文襄;上海文襄汽车传感器有限公司
申请日： 2010-05-31 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：一种汽车通用压力传感器由传感器壳体、硅压阻敏感芯体、传感器芯座、信号调理电路和汽车电器接口组成，硅压阻敏感芯体、传感器芯座和信号调理电路位于传感器壳体的内腔室，传感器壳体安装于该汽车电器接口，硅压阻敏感芯体由硅压阻敏感元件和玻璃环片组成，硅压阻敏感元件设有惠斯顿电桥，惠斯顿电桥上应变电阻通过焊接金丝内引线引出，硅压阻敏感元件和玻璃环片正面形成绝缘氧化层；玻璃环片另一面密封固定于传感器芯座上设有的环形凹坑面，传感器芯座密封旋固于传感器壳体上的进压端口，硅压阻敏感芯体上金丝内引线通过该传感器芯座之环形凹坑面上中心孔，引入到设于中心孔另一端的转接板后，并经信号调理电路由该汽车电器接口上引出。
汽车通用压力传感器

[实用新型]双面冲油、膜片结构的硅压阻式压力传感器-CN02220467.9无效
发明人：黄标;佘德群;李维平;高峰;赵建立 -专利权人：黄标;佘德群;李维平;高峰;赵建立
申请日： 2002-05-10 - 公布日： 2003-03-19 - 主分类号： G01L9/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及的是一种是由硅压力芯体和外部接口封装的采用双面冲油双面膜片结构的硅压阻式压力传感器，被测介质的压力是通过外部接口传递给硅压力芯体，属于仪表测量技术领域。结构主要由差压主体和焊环、膜片、硅油、芯片、瓷片、引脚、金丝、玻璃绝缘子、“O”型密封圈组成，其中差压主体和引脚通过玻璃绝缘子烧结一起，玻璃绝缘子起绝缘作用，瓷片和差压主体通过胶粘接一起，芯片和瓷片粘接一起，芯片和引脚由金丝通过超声焊接一起，焊环、膜片和差压主体通过激光焊接一起，腔体内部充满硅油。本实用新型的优点两端都可以测量液体，防腐性能强、差压测量精确度高，稳定性能好。
双面膜片结构硅压阻式压力传感器

[实用新型]埋入式压力传感器-CN201920487809.X有效
发明人：崔启洲 -专利权人：南京测勤电子科技有限公司
申请日： 2019-04-11 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： G01L9/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种埋入式压力传感器，包括壳体、流体探头、输水管、硅压阻式压力芯体、安装支撑部、PCB线路板、无线发射天线、天线安装部，壳体内设有两个前后并排的容纳槽，流体探头设于前部的容纳槽内，硅压阻式压力芯体、安装支撑部和PCB线路板设于后部的容纳槽内，硅压阻式压力芯体和PCB线路板安装于安装支撑部的两侧，硅压阻式压力芯体连接PCB线路板，两容纳槽通过输水管相连通，壳体的前端部开设有流体入口，流体入口通过输水管连通前容纳槽
容纳槽硅压阻式压力芯体无线发射天线安装支撑部天线安装部输水管壳体流体入口探头流体本实用新型压力传感器导线连接灵敏度传感器后端部埋入式前端部前部连通体内响应

[发明专利]一种压阻式压力传感器输出超差自判断的方法-CN202310397358.1有效
发明人：李正安;孙志;李旺宾;王世宁;宋卫平;马利杰;李攀;王世宗;李凯;荆德杰;郝青显 -专利权人：新乡北方车辆仪表有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01L25/00 文献下载
摘要：一种压阻式压力传感器输出超差自判断的方法，压阻式压力传感器包括压阻式压力敏感芯体、滤波放大模块、温度采集模块和MCU，压阻式压力敏感芯体经滤波放大模块与MCU电连接，MCU与温度采集模块电连接，所通过MCUImage file="zy_3.JPG" imgContent="drawing" imgFormat="JPEG" orientation="portrait" inline="yes" />时，则压阻式压力传感器不超差，并通过MCU输出超差判断结果；当压阻式压力传感器MCU采集的U1和U满足不等式，则压阻式压力传感器不超差；反之，压阻式压力传感器超差；解决了需要专用设备获取特征参数的问题，实现压阻式压力传感器超差自判断工作
一种压阻式压力传感器输出判断方法

[发明专利]一种侧油封式硅压阻敏感芯体-CN201710718967.7有效
发明人：王臻;孙楠;任海燕;王继鹏;胡晓萍 -专利权人：北京精密机电控制设备研究所;中国运载火箭技术研究院
申请日： 2017-08-21 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种侧油封式硅压阻敏感芯体，其钢球设置在管座的侧面，且位于芯体与结构件焊接处与密封槽之间，当波纹膜片受力时，钢球以其焊接处为分界线，外部处于被测介质中，受到被测介质的压力作用，内部处于硅油中，本发明通过改变现有技术中的油封式硅压阻敏感芯体中钢球焊接处的位置，改变了钢球焊接处的受力方式，使钢球焊接处基本不受力，大大降低了油封式硅压阻敏感芯体硅油泄露的概率，提高敏感芯体耐压能力和可靠性。
一种侧油封式硅压阻敏感

[发明专利]一种基于高温硅压阻传感器的防雷装置及其防雷方法-CN202210228307.1有效
发明人：王光泽 -专利权人：成都凯天电子股份有限公司
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： H02H9/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于高温硅压阻传感器的防雷装置及其防雷方法，防雷装置为屏蔽结构，所述屏蔽结构内设有防雷电路；屏蔽结构的输入输出接口与硅压阻传感器芯体的激励电压连接，防雷电路包括第一TVS器件、第二TVS器件、硅压阻传感器芯体，以及高温运算放大器；硅压阻传感器芯体的输出信号与所述第一TVS器件连接，并通过高温运算放大器与第二TVS器件连接。本发明利用高温运算放大器在硅压阻传感器和TVS器件之间的隔离作用，使得硅压阻传感器的输出信号不与TVS器件直接连接，即使在高温时，TVS器件漏电流增大不至于影响硅压阻传感器的输出性能。
一种基于高温硅压阻传感器防雷装置及其方法

[发明专利]电磁－压阻式微机械谐振梁结构-CN200610114275.3无效
发明人：樊尚春;邢维巍;蔡晨光 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2006-11-03 - 公布日： 2007-04-11 - 主分类号： G01D5/12 文献下载
摘要：电磁－压阻式微机械谐振梁结构，单梁两端固支于弹性基体上并被置于沿其宽度方向的磁场中，单梁固有频率受基体形变控制；单梁包括梁体和电阻层，电阻层包括压阻膜和导电膜；梁体为近似补偿掺杂的[100]单晶硅，压阻膜为N型外延膜，导电膜为重掺杂外延膜或溅射金属膜；压阻膜完整覆盖梁体表面，导电膜覆盖压阻膜表面中段短于梁体的部分。本发明的电阻层兼有电磁激振和压阻拾振功能，简化了结构；采用SOI晶圆加工单梁与基体的单晶硅整体结构，通过不同的掺杂调节单梁各层的预应力并控制结构稳定性。
电磁式微机械谐振结构

[发明专利]一种硅压阻式压力传感器芯体及其制备方法-CN202111327696.5在审
发明人：吴佐飞;尚瑛琦;顾博;丁文波;尹延昭;刘智辉;齐虹;夏露 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十九研究所
申请日： 2021-11-10 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：一种硅压阻式压力传感器芯体及其制备方法，涉及传感器技术领域。本发明是为了解决现有硅压阻式压力传感器应力应变的非线性影响小量程压力传感器对压力信号的高灵敏度的问题。本发明所述的一种硅压阻式压力传感器芯体，上盖和下盖相互盖合在一起、并形成中空腔体结构，下盖底部开有将中空腔与外部连通的通孔，上盖侧壁开有将中空腔与外部连通的引压通道，敏感芯片位于中空腔体内部，且覆盖在通孔上
一种硅压阻式压力传感器及其制备方法

[实用新型]一种扩散硅充油差压芯体-CN202123443035.7有效
发明人：谭佳欢;赵颖;孙鹏;高航 -专利权人：中航光电华亿（沈阳）电子科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G01L13/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种扩散硅充油差压芯体。所述扩散硅充油差压芯体包括陶瓷板，开设有通孔；芯片，设置在所述陶瓷板的一侧并贴合所述通孔；第一基座，所述第一基座的侧壁开设有充油孔，所述第一基座安装在所述陶瓷板的一侧；以及第二基座，所述第二基座的侧壁开设有充油孔根据本实用新型的扩散硅充油差压芯体，通过将扩散硅充油差压芯体设计为组装式的封装结构，使得物料和封装成本降低、尺寸和重量减小、补偿成本降低和工作效率增加。
一种扩散硅充油差压芯体

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