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[发明专利]一种太阳电池用多晶硅片的微液滴刻蚀制绒方法-CN201510956665.4有效
发明人：周浪;肖志刚;陈文浩;耿国营 -专利权人：南昌大学
申请日： 2015-12-21 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种太阳电池用多晶硅片的微液滴刻蚀制绒方法，通过密布多晶硅片表面的混合酸溶液微液滴与硅进行化学反应来刻蚀多晶硅片表面的方法。微液滴通过加热混合酸溶液产生的蒸气在一定温度条件下的多晶硅片表面凝结而成。本发明的微液滴刻蚀制绒方法使刻蚀反应仅在表面有微液滴处发生，有很强的选择性，不仅使得刻蚀绒面的减反射效果优于上述常规湿法制绒方法，而且可以对难于制绒的金刚石线锯切割多晶硅表面进行制绒，形成高质量的绒面，
一种太阳电池多晶硅片微液滴刻蚀方法

[发明专利]一种多晶硅片制绒辅助剂及其应用方法-CN201510731594.8在审
发明人：刘锋;季根华;李翔 -专利权人：苏州旭环光伏科技有限公司
申请日： 2015-11-03 - 公布日： 2016-02-03 - 主分类号： H01L31/0236 文献下载
摘要：本发明提供了一种多晶硅片制绒辅助剂及其应用方法，该辅助剂由银诱导剂、氧化剂、缓冲剂、分散剂以及去离子水组成。将该辅助剂加入由氢氟酸和硝酸混合液组成的传统的各向同性制绒液中，然后将多晶硅片浸入该制绒液中，硅片表面将发生各向同性腐蚀和各向异性腐蚀，从而得到了反射率低于10%的同向腐蚀坑和异向倒金字塔形貌共存的硅表面其中缓冲剂的作用是维持制绒液PH值的稳定；氧化剂可以抑制银诱导剂各向异性腐蚀，避免形成过深的孔洞；分散剂不仅可以避免“雨点”缺陷，还会包裹附着在硅片表面的纳米银颗粒，大幅降低了制绒后硅片的清洗难度。本发明克服了现有多晶硅制绒方法的一些不足，尤其适合金刚线切割多晶硅片的制绒。
一种多晶硅片辅助剂及其应用方法

[发明专利]太阳电池硅片的制绒方法及制造太阳电池的方法-CN201010183525.5无效
发明人：陈东波;王子丰;范琼;杨健;张光春 -专利权人：无锡尚德太阳能电力有限公司
申请日： 2010-05-14 - 公布日： 2010-10-27 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了太阳电池硅片的制绒方法及制造太阳电池的方法。太阳电池硅片的制绒方法，包含背面抛光、制绒和清洗。利用本发明可在不破坏硅片正面的绒面结构的前提下，获得表面状态非常平坦的电池背面，减少金属电极和硅之间的复合，从而提升电池效率。
太阳电池硅片方法制造

[发明专利]一种多晶链式多步制绒工艺-CN201310224208.7有效
发明人：张风雷;苗成祥;魏青竹;保罗;连维飞;何伟 -专利权人：中利腾晖光伏科技有限公司
申请日： 2013-06-07 - 公布日： 2013-10-09 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种多晶链式多步制绒工艺，所述工艺至少包括以下步骤：（1）第一步制绒：高浓度腐蚀；（2）第二步制绒：中浓度腐蚀；（3）第三步制绒：低浓度腐蚀；其中，所述每一步制绒所使用的制绒液均是硝酸、氢氟酸和水的混合溶液；每后一步骤所使用的制绒液中酸液浓度小于前一步骤制绒液中的酸液浓度。本发明的有益效果是：通过多步制绒方式实现硅表面损伤层的去除并制得小尺寸、低反射率绒面，从而有效提高电池短路电流，提升电池效率。
一种多晶链式多步制绒工艺

[实用新型]多晶硅薄膜太阳能电池-CN201120288448.X有效
发明人：陈一鸣 -专利权人：温州索乐新能源科技有限公司
申请日： 2011-08-10 - 公布日： 2012-02-22 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多晶硅薄膜太阳能电池，包括硅片，硅片是由制绒层和氮化硅膜复合而成，所述的氮化硅膜是具有一层作为制绒阻挡层的氮化硅膜，所述的氮化硅膜的厚度为5nm-200nm。本实用新型的有益效果是：使通过传统酸、碱制绒方法进行太阳能电池硅片的单面制绒成为可能，相对于RIE制绒和光刻制绒，节约了成本。
多晶薄膜太阳能电池

[发明专利]单晶硅双面太阳电池及其制备方法-CN201610328025.3有效
发明人：盛赟;陈奕峰;崔艳峰;袁声召;端伟元;王子港 -专利权人：常州天合光能有限公司
申请日： 2016-05-17 - 公布日： 2017-12-08 - 主分类号： H01L31/0236 文献下载
摘要：本发明公开了一种单晶硅双面太阳电池，在单晶硅衬底的正面依次形成正面制绒形貌结构、正面PN发射结、正面钝化减反介质层以及正面电极，在单晶硅衬底的背面依次形成背面制绒形貌结构、背表面场、背面钝化减反介质层以及背面电极，其特征在于所述背面制绒形貌结构为平台形绒面，各平台结构分散，或者，平铺，或者，部分分散、部分平铺、部分相连、部分交叠地分布在硅衬底上，平台结构具有与硅衬底相连接的下平面及下平面相对的上平面，下平面的尺寸大于上平面本发明还公开了一种单晶硅双面太阳电池的制备方法。本发明可优化双面太阳电池的少数载流子表面复合和光学吸收特性，提高量子转换效率。
单晶硅双面太阳电池及其制备方法

[发明专利]一种绒面单晶硅太阳能电池及其制备方法和制备系统-CN200910088732.X无效
发明人：贾士亮 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2009-07-10 - 公布日： 2009-12-09 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种绒面单晶硅太阳能电池的制备方法，包括：在单晶硅片的一面上制备保护膜，形成具有单面保护膜的单晶硅片；将具有单面保护膜的单晶硅片置于腐蚀液中进行制绒处理，使单晶硅片的另一面腐蚀为绒面；将一面为绒面、一面为保护膜的单晶硅片置于除膜液中进行保护膜去除处理，形成单面绒面的单晶硅片；单面绒面的单晶硅片经过扩散制结过程形成单晶硅太阳能电池。本发明还提供了一种根据所述方法制备的绒面单晶硅太阳能电池和绒面单晶硅太阳能电池的制备系统。根据本发明制备出了单面绒面结构的单晶硅太阳能电池，提高了电池的转换效率，避免了“铝泡”现象的发生；同时利用生产线上的现有设备，提高了设备的利用率。
一种单晶硅太阳能电池及其制备方法系统

[实用新型]一种RIE制绒的晶体硅太阳能电池-CN201520355805.8有效
发明人：龙维绪;王栩生;邢国强 -专利权人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
申请日： 2015-05-28 - 公布日： 2015-09-09 - 主分类号： H01L31/0236 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种RIE制绒的晶体硅太阳能电池，包括硅衬底、以及设于硅衬底上的绒面层；所述绒面层为亚微米绒面；所述绒面层上依次设有第一SiNx膜层、第二SiNx膜层、第三SiNx膜层和第四SiNx膜层本实用新型在亚微米级的RIE绒面层上设置四层SiNx膜层结构，可以使最小波长红移，有利于组件光学上的增益，从而可以获得更高的组件电流和组件CTM。
一种 rie 晶体太阳能电池

[实用新型]一种用于多晶硅小绒面太阳能电池片生产的制绒装置-CN201621303270.0有效
发明人：杨国强;姚春梅;孙林飞;江泓 -专利权人：浙江贝盛光伏股份有限公司
申请日： 2016-11-30 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： H01L31/0236 文献下载
摘要：本实用新型涉及太阳能电池片技术领域，具体为一种用于多晶硅小绒面太阳能电池片生产的制绒装置，包括开口朝上的制绒槽，所述制绒槽由三个槽侧壁包围而成且形成呈倒置的三棱锥状的槽体，所述制绒槽靠槽底部的位置设有鼓泡板，所述鼓泡板上形成若干向下延伸的凹坑，所述凹坑上开设有鼓泡孔，所述鼓泡板的下方设有气管，所述气管连接有气体通入设备，制绒过程稳定可靠、安全性高、制绒效果好。
一种用于多晶硅小绒面太阳能电池生产装置

[发明专利]一种多晶硅太阳电池及太阳电池多晶硅片制绒方法-CN201210091858.4在审
发明人：凌俊;缪若文;艾凡凡;陈如龙;杨健 -专利权人：无锡尚德太阳能电力有限公司
申请日： 2012-03-29 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： C30B33/10 文献下载
摘要：本发明提供一种多晶硅太阳电池及太阳电池多晶硅片制绒方法。现有技术通过刻槽或等离子刻蚀对多晶硅片制绒导致成本较高，而通过同性酸腐蚀对多晶硅片制绒导致反射率仍较高。本发明的太阳电池多晶硅片制绒方法先进行喷砂制绒，再通过腐蚀液去除损伤层，最后进行减洗和酸洗，或在喷砂制绒前也进行去损伤层的步骤。本发明可获得较低的反射率和较高的太阳电池效率。
一种多晶太阳电池硅片方法

[发明专利]硅衬底的制造方法、硅衬底及太阳能电池-CN202211582689.4在审
发明人：徐冠超;张学玲;陈奕峰 -专利权人：天合光能股份有限公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了硅衬底的制造方法，包括以下步骤：提供包括受光面和背光面的衬底；同时对所述受光面和所述背光面进行抛光；同时地对所述受光面和所述背光面进行制绒以在所述受光面上形成减反射绒面且在所述背光面的一部分上形成绒面区域，使得制绒后的所述背光面上包括抛光面区域和所述绒面区域。本发明还公开了一种采用上述制造方法制造的硅衬底和太阳能电池。
衬底制造方法太阳能电池

[发明专利]一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理液、制绒预处理方法和制绒预处理硅片及其应用-CN201410844067.3有效
发明人：章金兵;付红平;彭也庆 -专利权人：江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
申请日： 2014-12-30 - 公布日： 2015-04-08 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理液，所述制绒预处理液为硝酸、氢氟酸、醋酸和水的混合溶液，其中，硝酸、氢氟酸、醋酸和水的体积比10-15:1-5:2-6:10-30。本发明还提供了一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法，采用所述制绒预处理液在金刚线切割多晶硅片表面进行处理，形成多孔硅结构，即更深的一层损伤层，得到制绒预处理硅片。本发明还提供了一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，对所述制绒预处理硅片进行常规制绒处理，在所述硅片表面形成均匀、低反射率的绒面，得到金刚线切割多晶硅片制绒产品。本发明还提供了一种制绒预处理硅片和金刚线切割多晶硅片制绒产品。
一种金刚切割多晶硅片预处理方法及其应用

[发明专利]一种硅表面纳米金字塔绒面的全溶液制备方法-CN201611012727.7在审
发明人：沈文忠;钟思华;王闻捷;谭杪;庄宇峰 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2016-11-17 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： C30B33/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅表面纳米金字塔绒面的全溶液制备方法，第一步，将硅片置于含金属离子和氢氟酸的混合溶液中，使硅片表面沉积一层金属纳米颗粒，得到附有金属纳米颗粒的硅片；第二步，将附有金属纳米颗粒的硅片浸入含有添加剂的碱溶液中，在一定的温度下经过一定的反应时间形成硅纳米金字塔绒面，得到制绒的硅片；第三步，将制绒的硅片浸泡于酸性溶液中，去除表面附着的金属纳米颗粒。本发明的方法将金属颗粒用于萃取硅与碱溶液反应产生的电子，从而改变氢气泡产生位置，使得硅表面能均匀受到腐蚀，从而产生致密的纳米金字塔绒面。其工艺简单、成本低廉而且绒面效果完美，在超薄晶硅电池中具有重要应用。
一种表面纳米金字塔溶液制备方法

[发明专利]单晶硅制绒工艺及装置-CN201910772647.9在审
发明人：常纪鹏;何凤琴;张志郢;陈燕;杨超;王冬冬;张敏;李得银 -专利权人：青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司;黄河水电光伏产业技术有限公司
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种单晶硅制绒工艺，将硅片依次进行前酸清洗→纯水清洗→预清洗→粗抛→碱清洗→纯水清洗→制绒→纯水清洗→后清洗→纯水清洗→后酸清洗→纯水清洗→慢提拉→烘干处理。本发明可以有效解决绒面脏污问题，同时制备的金字塔大小均匀、尺寸一致且密集分布于硅片表面，绒面反射率低。而且制绒工序整体时间短，提高了产量。
纯水清洗酸清洗制绒单晶硅绒面反射率尺寸一致硅片表面烘干处理密集分布有效解决脏污问题制绒工艺碱清洗预清洗硅片粗抛绒面提拉制备金字塔清洗

[发明专利]一种P型单晶制绒方法-CN202210298425.X在审
发明人：郭金城 -专利权人：江苏润阳悦达光伏科技有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H01L31/0236 文献下载
摘要：本发明提供一种P型单晶制绒方法，该方法步骤依次是预清洗‑水洗‑第一次制绒‑第二次制绒‑水洗‑后碱洗‑水洗‑酸洗‑水洗‑慢提拉‑烘干。该方法将制绒过程分两次制绒完成，第一次制绒在硅衬底初步形成金字塔，第二次制绒时利用低浓度碱和相对高浓度添加剂及水的混合液，进行慢反应，对金字塔绒面进行修饰，从而可得到均匀的绒面，较大比表面积，且在金字塔上出现更多的微观结构
一种型单晶制绒方法