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- [发明专利]研磨装置-CN201710405613.7有效
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袁志辉;尹盛星;邹晓洪;史旭峰
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广东长盈精密技术有限公司
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2017-06-01
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2019-11-05
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B24B31/027
- 本发明涉及一种研磨装置，包括：机架；摇摆机构，包括设置在所述机架上的驱动机构及可转动设置在所述机架上的安装座，所述驱动机构驱动所述安装座来回摆动；旋转机构，固定在所述安装座上；研磨桶，与所述旋转机构连接，所述研磨桶用于放置研磨石、研磨液及待加工工件，所述旋转机构驱动所述研磨桶旋转，所述安装座的旋转中心轴线与所述研磨桶的旋转中心轴线具有夹角，所述安装座的来回摆动及所述研磨桶的旋转使放置于所述研磨桶内的待加工工件被研磨上述研磨装置，在机架上设置有旋转机构和摇摆机构，研磨桶的旋转中心轴线和安装座的旋转中心轴线具有夹角，使研磨桶内的研磨液在对工件更能全方位地研磨，研磨效率高且研磨效果好。
- 研磨装置
- [发明专利]研磨装置-CN201810930041.9有效
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杨俊铖;蒋阳波;高林;王光毅
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长江存储科技有限责任公司
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2018-08-15
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2020-11-13
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B24B37/00
- 本申请公开了一种研磨装置，包括：研磨平台；研磨垫，位于研磨平台上；研磨液输出结构，位于研磨垫上方，用于将初始的研磨液输出并置于研磨垫上；以及研磨头，位于研磨垫上方，用于固定待研磨产品，并使待研磨产品与研磨垫接触，其中，研磨液输出结构包括阻挡部件，阻挡部件与研磨垫接触，当研磨平台带动研磨垫转动时，初始的研磨液与待研磨产品接触，阻挡部件用于防止被使用后的研磨液与初始的研磨液混合。本发明解决了由于使用后的研磨液稀释了初始研磨液的浓度造成的研磨速率降低的问题，达到了防止被使用后的研磨液与初始的研磨液混合的技术效果。
- 研磨装置
- [发明专利]研磨装置-CN201710576177.X有效
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前原英信;井上裕介;吉原秀明;山浦徹
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创技股份有限公司
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2017-07-14
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2021-01-12
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B24B37/005
- 本发明提供一种能够根据研磨加工过程中的晶片的截面形状而将晶片研磨成目标的截面形状的研磨装置。研磨装置(10)具备上定盘(21)、下定盘(22)、太阳齿轮(23)、内啮合齿轮(24)以及游星轮板(30)，游星轮板(30)通过太阳齿轮(23)及内啮合齿轮(24)而进行自转及公转，从而对配置在游星轮板(30)的工件保持孔(30A)内的晶片W的双面进行研磨，研磨装置(10)还具备：形状测量装置(100),其对研磨加工过程中的晶片W的截面形状进行测量；控制装置(300)，其根据该形状测量装置(100)所测量出的截面形状而对研磨加工进行控制
- 研磨装置
- [实用新型]研磨装置-CN202120181695.3有效
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李相厚
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匹科精工公司
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2021-01-22
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2022-02-08
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B24B3/10
- 本实用新型提供一种研磨装置，包括框架，框架包括相互连接并划分研磨空间的第一架杆至第四架杆；枢轴配置于研磨空间，通过旋转装置传递过来的旋转力进行旋转；研磨轮与枢轴的旋转联动的同时对所接触的研磨对象的研磨面进行研磨；间隔调节部分别连接于相互平行配置的第一架杆和第二架杆，使得研磨对象定位在研磨轮沿着第一架杆和第二架杆的长度方向移动的同时改变研磨轮的位置；研磨轮倾斜部连接于枢轴和两侧的间隔调节部之间，使得枢轴连接于框架，为了能够对应研磨对象的研磨面角度，通过倾斜枢轴使得研磨轮倾斜；夹具安装部设置于与研磨轮倾斜的方向相面对的至少一个方向上，并安装有夹具，夹具支撑研磨对象的同时，向研磨轮侧引导研磨对象。
- 研磨装置
- [实用新型]研磨装置-CN201921551889.7有效
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杨振;杨剑
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苏州三值精密仪器有限公司
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2019-09-18
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2020-09-18
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B02C19/10
- 本实用新型揭示了一种研磨装置，包括：机架；摆动组件，设于所述机架上并以与机架的连接处为支点，相对于所述机架摆动；研磨组件，安装于所述摆动组件上，包括上下设置的研磨头结构、研磨罐以及托座，所述研磨罐可拆卸设于所述托座上，还包括驱动所述托座靠近或远离所述研磨头结构的动力装置、驱动所述研磨头结构旋转的驱动装置。本实用新型结构简单，便于组装、拆卸与维修，方便安全，灵活快捷，工作效率高，可以用于土壤重金属检测前的土壤研磨。
- 研磨装置
- [实用新型]研磨装置-CN202120592648.8有效
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李洪爱
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霸州市云谷电子科技有限公司
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2021-03-24
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2021-10-22
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B24B37/10
- 本实用新型提供一种研磨装置，所述研磨装置包括：载台，所述载台用于承载待研磨件；气道组件，所述气道组件设置于所述载台的上侧或者下侧；以及压力装置，所述压力装置与所述气道组件连通以向所述气道组件提供压力源，从而使得所述气道组件形成真空吸附通道或者吹气通道；其中，所述真空吸附通道或者所述吹气通道用于移除所述待研磨件周边的研磨液。通过相互连通的压力装置和气道组件，在待研磨件的边缘处形成真空吸附力或者高压风幕以移除待研磨件的边缘处多于的研磨液。
- 研磨装置
- [发明专利]研磨装置-CN201980084462.7有效
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马塞尔.施密德;马丁.施密德
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福伊特专利有限公司
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2019-10-09
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2023-03-10
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D21D1/22
- 本发明涉及一种研磨装置，所述研磨装置用于在形成研磨间隙(1)并且相对彼此旋转的两个研磨面之间研磨水性悬浮的纤维材料，所述研磨面由研磨条(2)和在它们之间延伸的槽(3)形成，其中，研磨条(2)至少以一个方向分量相对于旋转轴线(4)径向地延伸，并且纤维悬浮液(5)穿流过从径向内部的圆形的入口(6)到径向外部的圆形的出口(7)的研磨间隙(1)。在此应该如下地实现有效的研磨，即在至少一个研磨面下方布置多个连接出口(7)与入口(6)的回流通道(8)。
- 研磨装置
- [发明专利]研磨装置-CN201611076656.7有效
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邱晓明;田篠文照;介川直哉
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株式会社迪思科
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2016-11-29
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2021-03-05
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B24B53/017
- 提供一种研磨装置，在进行研磨垫的研磨面的修整时，使将修整部推抵于研磨面的力为恒定。该研磨装置具有：弹性波检测传感器(80)，其对当研磨面(401a)与对研磨垫(401)的研磨面(401a)进行修整的修整部的上表面接触时所产生的弹性波进行检测；以及控制部(82)，当弹性波检测传感器(80)检测出预先设定的输出信号的设定值时，该控制部(82)停止研磨单元(4)的移动，在通过控制部(82)的控制使研磨单元(4)的移动停止之后，对研磨单元(4)与修整机构(6)相对地进行修整进给而对研磨面(401a)进行修整，因此能够在修整时使将修整板(601)推抵于研磨面(401a)的力为恒定。
- 研磨装置
- [实用新型]研磨装置-CN201620078237.6有效
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周景星
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周景星
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2016-01-27
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2016-08-31
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B24B37/07
- 本实用新型公开了一种研磨装置，其包含承载盘、至少一个被研磨物、砂轮盘及多个研磨齿。至少一个被研磨物连接承载盘。砂轮盘相对承载盘位移且具有中心。多个研磨齿连接砂轮盘且接触研磨被研磨物。各研磨齿包含近端与远端，近端具有近端宽度，而远端具有远端宽度。近端与砂轮盘的中心相隔一近端距离，远端与砂轮盘的中心相隔一远端距离。近端距离小于远端距离，且近端宽度大于远端宽度。借此，本实用新型的研磨装置，利用研磨齿内宽外窄的特殊形状来补偿研磨齿的近端磨耗量较远端大的差异，不但能降低研磨比值，还可有效缩小研磨后晶圆的总厚度变异。
- 研磨装置
- [发明专利]研磨装置-CN202310485969.1在审
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姚杰
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中广核核电运营有限公司
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2023-04-28
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2023-08-01
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B24B37/04
- 本申请涉及一种研磨装置，其包括支撑机构、加载机构和研磨机构。支撑机构用于与待研磨阀体连接；加载机构包括滑动组件和与滑动组件连接的对中件；滑动组件与支撑机构滑动连接，对中件背离滑动组件的一侧构造有第一凸型球面；研磨机构包括研磨轴与研磨盘；研磨轴的一端构造有腔壁呈凹型球面状的第一容纳腔，第一容纳腔用于容设第一凸型球面，且第一容纳腔的腔壁与第一凸型球面抵接，研磨轴的另一端与研磨盘连接；研磨盘用于与待研磨阀体的密封面抵接。当通过本研磨装置对核电厂核级阀门的密封面进行研磨操作时，加载机构施加给研磨轴的研磨力能够与研磨轴的轴线重合度较高，进而使得最终施加给密封面的研磨力较为均衡，对密封面的研磨效果也较好。
- 研磨装置
- [实用新型]研磨装置-CN201320022804.2有效
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前田将克
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苏州住友电木有限公司
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2013-01-16
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2013-07-10
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B24B37/04
- 一种研磨装置，具有：研磨部件，具有平坦的研磨面；保持部，具有朝研磨面且向下开口的收容部，在收容部保持被研磨物并将其按压到研磨面；旋转机构，通过使研磨部件绕相对研磨面垂直的旋转轴旋转并使保持部和研磨部件在研磨面的面方向上相对移动，而研磨被研磨物；支撑部，通过支撑保持部的侧面而对保持部绕旋转轴的旋转进行限制。从相对于研磨面垂直的方向看时，保持部在从旋转轴偏移的位置上将被研磨物按压在研磨面上，保持部具有圆柱形状部，支撑部具有在圆柱形状部的侧周面的周向上的相互不同的位置上分别支撑该侧周面的至少两个旋转辊，旋转辊分别支撑成可绕相对旋转轴平行的辊旋转轴旋转上述研磨装置能够抑制被研磨物的研磨量误差。
- 研磨装置
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