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[实用新型]真空舱-CN202320370660.3有效
发明人：薛培;杨浩;戴彦收;刘斌;张雷 -专利权人：特嗨氢能检测（保定）有限公司
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空舱，所述真空舱包括：舱体；舱门；第一锁止部和第二锁止部，所述第一锁止部和所述第二锁止部分别设置于所述舱体和所述舱门，所述第一锁止部与所述第二锁止部可选择地锁止且适于在所述舱门的压力超过预设压力后解锁根据本实用新型的真空舱通过设置舱体、舱门、第一锁止部和第二锁止部，使得当舱门将舱口关闭时，第一锁止部和第二锁止部可进行锁止，以加强舱门与舱体的连接紧密性，随着对真空舱抽真空当舱门受到外部的压力逐渐增大，当超过预设压力后，第一锁止部和第二锁止部可进行解锁，进而在检测过程中发生泄露时可及时以及时打开舱口，降低真空舱压力，进而提高了真空舱的安全性。
真空

[实用新型]真空舱-CN202320136021.0有效
发明人：方彬;赵天琦;金尚忠;占春连;邹艳霞 -专利权人：中国计量大学
申请日： 2023-02-07 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：本申请提供真空舱，用于真空紫外光谱辐射检测，包括：所述真空舱包括至少两个封闭的腔体以及真空泵组；其中，第一腔体用于设置待测光源，第二腔体用于设置所述真空紫外光谱辐射计，所述第二腔体包括至少两个通孔，第一通孔与第一腔体连接，第二通孔与所述真空泵组连接。本申请提供的真空舱包括用于设置光源的第一腔体，无需利用法兰将光源固定，解决了光源接口不同所导致的装卸操作繁琐的问题。
真空

[发明专利]一种用于传感器加速寿命试验的真空校准装置及方法-CN201811592448.1有效
发明人：刘宝伟;陈宝成;吕颖;李绍凯;宗义仲;骆文鹏;姜晓龙;孙志成 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十九研究所
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：一种用于传感器加速寿命试验的真空校准装置及方法，它涉及真空压力传感器测量技术领域，它包括真空泵组、真空舱、真空计、集气瓶、减压阀及调节阀；真空舱二和真空舱四之间布置有与二者连通的真空舱三，真空舱一、真空舱二和真空舱三上分别安装有一个真空计；真空舱三与集气瓶连接且二者连接的管路上安装有减压阀、调节阀八和调节阀九；真空泵组与真空舱一之间、真空舱一与真空舱二之间、真空舱二与真空舱三之间、真空舱三与真空舱四之间分别设置有调节阀一、调节阀四、调节阀六和调节阀七校准方法包括：一、抽真空；二、被测传感器加压循环测试。本发明用以对传感器进行加速寿命试验，能实现提高传感器可靠性和稳定性的目的。
一种用于传感器加速寿命试验真空校准装置方法

[发明专利]在线高效节能真空作业系统-CN201711116086.4在审
发明人：李江;王杨扬;俞旭 -专利权人：苏州新智机电工业有限公司
申请日： 2017-11-13 - 公布日： 2018-02-16 - 主分类号： B05C9/10 文献下载
摘要：本发明是在线高效节能真空作业系统，其结构包括真空预备舱通过B矩形阀与真空作业舱连接，真空作业箱通过C矩形阀与排出舱连接，真空预备舱与A矩形阀相接，排出舱与D矩形阀相接；A真空泵通过A管路与真空预备舱连接，B真空泵通过C管路与排出舱连接，C管路通过B气动阀门与B管路的一端连通，B管路的另一端与真空作业舱连接，真空预备舱通过D管路与排出舱连接，D管路上串接有A气动阀门，真空作业箱的上方有注胶头；流水线穿过真空预备舱、真空作业舱、排出舱。
在线高效节能真空作业系统

[实用新型]在线高效节能真空作业系统-CN201721507013.3有效
发明人：李江;王杨扬;俞旭 -专利权人：苏州新智机电工业有限公司
申请日： 2017-11-13 - 公布日： 2018-06-12 - 主分类号： B05C9/10 文献下载
摘要：本实用新型是在线高效节能真空作业系统，其结构包括真空预备舱通过B矩形阀与真空作业舱连接，真空作业箱通过C矩形阀与排出舱连接，真空预备舱与A矩形阀相接，排出舱与D矩形阀相接；A真空泵通过A管路与真空预备舱连接，B真空泵通过C管路与排出舱连接，C管路通过B气动阀门与B管路的一端连通，B管路的另一端与真空作业舱连接，真空预备舱通过D管路与排出舱连接，D管路上串接有A气动阀门，真空作业箱的上方有注胶头；流水线穿过真空预备舱、真空作业舱、排出舱。
排出矩形阀预备真空作业真空作业系统真空作业箱高效节能气动阀门真空泵本实用新型设备运行生产效率注胶头串接流水线连通穿过消耗能源

[发明专利]一种真空系统-CN202310070866.9在审
发明人：占春连;赵天琦;金尚忠;邹艳霞;方彬;石岩;陈义 -专利权人：中国计量大学
申请日： 2023-02-07 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：本申请提供一种真空系统，用于紫外光谱辐射检测，真空系统包括：真空舱和抽真空装置，抽真空装置用于对真空舱进行抽真空；真空舱包括真空舱体和真空舱盖，真空舱体与真空舱盖围合成一密闭容纳腔；真空舱采用屈服应力高于5.050×108N/m2的金属材料制成，并在真空舱的外表面采用加强筋进行加固，真空舱的体积大于或等于1.8375×104cm3，并且真空舱的体积小于或等于4.5×104cm3本申请提供的真空舱在6×10‑3Pa的工作真空度依旧不会发生明显变形，满足真空紫外光谱辐射的检测需求。
一种真空系统

[发明专利]一种连续型石墨化设备-CN202111521849.X在审
发明人：鞠兴全;毛新涛;宰守刚;吴庆越;张博;张爱新 -专利权人：北京轩宇空间科技有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： C01B32/205 文献下载
摘要：本发明公开了一种连续型石墨化设备，包括若干制块机、上料机械臂、进舱输送装置、进料真空过渡舱、舱体自动密封装置、若干抽真空装置、真空石墨化舱、若干磁等离子体发生器、热沉装置、若干测温装置、出料真空过渡舱、出舱输送装置、下料机械臂、电源系统、控制系统。进料真空过渡舱、真空石墨化舱、出料真空过渡舱通过舱体自动密封装置依次连接，构成真空舱；若干磁等离子体发生器设于真空石墨化舱顶部，若干测温装置设于真空石墨化舱舱内外两侧，热沉装置用于提供冷却水；上料机械臂用于衔接制块机和进舱输送装置，下料机械臂用于衔接出舱输送装置和成品托架。
一种连续石墨设备

[发明专利]一种用于半导体芯片真空焊接或退火用的真空设备-CN202011304949.2有效
发明人：赵永先;张延忠;邓燕 -专利权人：北京仝志伟业科技有限公司
申请日： 2020-11-20 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于半导体芯片真空焊接或退火用的真空设备，包括真空舱和真空舱上盖，还包括平移机构，所述平移机构与真空舱上盖连接，可驱动真空舱上盖相对真空舱水平移动；升降机构，所述升降机构与真空舱上盖连接，可驱动真空舱上盖相对真空舱上下移动。本发明真空舱上盖可相对真空舱升降移动、水平移动，开关门不占用投入口位置，更加方便机器人自动上料，产品可垂直自动投入，可以增大真空舱内焊接区顶部空间，方便机器人或者机械手自动上下料，有效解决重载产品水平投入容易造成治具载台划伤等问题
一种用于半导体芯片真空焊接退火真空设备

[发明专利]一种离子推力器试验设备的真空抽气系统-CN201510419434.X有效
发明人：杨建斌;柏树;徐金林;刘玉魁;骆水莲 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2015-07-16 - 公布日： 2015-10-28 - 主分类号： B64G7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子推力器试验设备的真空抽气系统。使用本发明能够为离子推力器地面试验设备提供真空环境，并满足离子推力器地面试验设备无油真空、大抽气能力、防溅射、等离子体防护、可靠性高的特殊要求。本发明包括主舱真空容器真空抽气装置和副舱真空容器真空抽气装置；主舱真空容器真空抽气装置包括主舱真空容器粗抽组件、主舱真空容器过渡抽气组件和主舱真空容器高真空抽吸组件；首先用主舱真空容器粗抽组件将主舱真空容器抽至10Pa，然后用主舱真空容器过渡抽气系统抽至10^-2Pa时，最后用主舱真空容器高真空抽吸系统抽至1.0×10^-4Pa以下，开始实验。
一种离子推力试验设备真空系统

[发明专利]一种镜片双舱真空镀膜工艺-CN202110715201.X有效
发明人：李时代 -专利权人：丹阳市鼎新机械设备有限公司
申请日： 2021-06-26 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明涉及一种镜片双舱真空镀膜工艺，当镜片双舱真空镀膜机的主舱与辅舱真空环境一致且阀门开启连通时，将辅舱内的待镀膜镜片向主舱转运、或将主舱内的已镀膜镜片向辅舱转运；当主舱与辅舱之间的阀门关闭时，在主舱内对镜片真空镀膜、在辅舱内放真空、放入待镀膜镜片或取出已镀膜镜片、并在放入或取出操作后抽真空至辅舱与主舱真空环境一致；重复转运、取放操作进行连续镜片真空镀膜，通过待镀膜与已镀膜镜片在镜片双舱真空镀膜机可启闭的主舱与辅舱之间转换、使主舱始终处于真空环境进行连续镀膜，减小生产周期，真空下插板阀门、主舱平台、辅舱平台、转运机构、旋转抓手驱动结构可靠、显著提高镜片真空自动化镀膜效率、稳定性和镀膜质量。
一种镜片真空镀膜工艺

[实用新型]一种连续型石墨化设备-CN202123128204.8有效
发明人：鞠兴全;毛新涛;宰守刚;吴庆越;张博;张爱新 -专利权人：北京轩宇空间科技有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C01B32/205 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种连续型石墨化设备，包括若干制块机、上料机械臂、进舱输送装置、进料真空过渡舱、舱体自动密封装置、若干抽真空装置、真空石墨化舱、若干磁等离子体发生器、热沉装置、若干测温装置、出料真空过渡舱、出舱输送装置、下料机械臂、电源系统、控制系统。进料真空过渡舱、真空石墨化舱、出料真空过渡舱通过舱体自动密封装置依次连接，构成真空舱；若干磁等离子体发生器设于真空石墨化舱顶部，若干测温装置设于真空石墨化舱舱内外两侧，热沉装置用于提供冷却水；上料机械臂用于衔接制块机和进舱输送装置，下料机械臂用于衔接出舱输送装置和成品托架。
一种连续石墨设备

[实用新型]真空舱组件-CN202320367585.5有效
发明人：薛培;武晓飞;杨浩;马东亮;田恒亮 -专利权人：特嗨氢能检测（保定）有限公司
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空舱组件。根据本实用新型的真空舱组件包括舱体、舱门和注气装置，舱体内形成有真空腔；舱门可移动地设置于舱体以可选择地打开或封闭真空腔；注气装置设置于舱体，注气装置的至少部分延伸至真空腔内且适于对真空腔内所承载的待检气瓶进行加压和根据本实用新型的真空舱组件通过设置舱体形成容纳待检气瓶的真空腔，并在舱体上可移动地设置舱门，以实现真空腔的打开或封闭，便于放置或取出待检气瓶，当待检气瓶发生泄漏时，舱门能对真空腔进行泄压，提高了真空舱组件的安全性此外，真空舱组件还设置注气装置对待检气瓶进行加压和/或泄压，以实现真空舱组件对待检气瓶的检测，结构简单且安全。
真空组件

[实用新型]一种动态真空蒸发镀膜装置-CN202221543442.7有效
发明人：李双双;张敏;范顺学;李佳琲 -专利权人：洛阳微米光电技术有限公司
申请日： 2022-06-20 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种动态真空蒸发镀膜装置，包括真空舱体，所述真空舱体前端开口处铰接有舱门，舱门上安装有观察窗，方便观测真空舱体内部，真空舱体的舱壁上安装有石英晶体膜厚仪，真空舱体顶端安装有驱动电机，驱动电机连接驱动轴，且驱动轴通过密封轴承转动连接真空舱体，驱动轴位于真空舱体内部处安装有工件架，真空舱体底部处安装有动态蒸发机构，本实用新型中，通过动态蒸发机构带动蒸发源往返运动，配合工件转动，膜层更加均匀。
一种动态真空蒸发镀膜装置

[发明专利]隧道式真空干燥生产线及隧道式真空干燥方法-CN201910311150.7在审
发明人：田歌;田汉溶;陈飞;杨毅 -专利权人：深圳市时代高科技设备股份有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： F26B5/04 文献下载
摘要：本发明公开一种隧道式真空干燥生产线及隧道式真空干燥方法，该隧道式真空干燥生产线用于干燥托盘上装载的电池，所述隧道式真空干燥生产线包括运料机构，所述运料机构用于驱动所述托盘移动；所述隧道式真空干燥生产线还包括多个真空舱，多个所述真空舱包括沿所述物料的移动方向依次连通的真空预热舱、第一真空过渡舱、真空干燥舱、第二真空过渡舱以及真空冷却舱，各所述真空舱设置有用于打开或关闭所述真空舱的密封门。本发明采用先进行初步干燥，经过真空过渡后再进行二次干燥的电池干燥方式，采用该隧道式真空干燥生产线保证了电池干燥后的水分含量，提高了生产效率，节约能源，降低了生产成本。
隧道式真空舱运料机构电池过渡舱初步干燥二次干燥干燥方式干燥托盘生产效率托盘移动依次连通移动方向真空冷却密封门预热生产成本装载驱动节约能源保证

[实用新型]隧道式真空干燥生产线-CN201920528068.5有效
发明人：田歌;田汉溶;陈飞;杨毅 -专利权人：深圳市时代高科技设备股份有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： F26B5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开一种隧道式真空干燥生产线，该隧道式真空干燥生产线用于干燥托盘上装载的电池，所述隧道式真空干燥生产线包括运料机构，所述运料机构用于驱动所述托盘移动；所述隧道式真空干燥生产线还包括多个真空舱，多个所述真空舱包括沿所述电池的移动方向依次连通的真空预热舱、第一真空过渡舱、真空干燥舱、第二真空过渡舱以及真空冷却舱，各所述真空舱设置有用于打开或关闭所述真空舱的密封门。本实用新型采用先进行初步干燥，经过真空过渡后再进行二次干燥的电池干燥方式，采用该隧道式真空干燥生产线保证了电池干燥后的水分含量，提高了生产效率，节约能源，降低了生产成本。
隧道式真空舱电池本实用新型运料机构过渡舱初步干燥二次干燥干燥方式干燥托盘生产效率托盘移动依次连通移动方向真空冷却密封门预热生产成本装载驱动节约能源保证

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