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[发明专利]一种三维真空激光加工装置及采用该装置进行激光加工的方法-CN201510666421.2有效
发明人：陶汪;陈彦宾;姜梦;乔亮;刘申 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-10-15 - 公布日： 2016-01-27 - 主分类号： B23K26/12 文献下载
摘要：一种三维真空激光加工装置及采用该装置进行激光加工的方法，涉及真空条件下三维激光加工技术。它为了解决现有的真空激光加工装置机械运动装置复杂、难以快速精确地实现三维真空激光加工的问题。本发明采用激光振镜装置控制激光束的移动，能够快速精确地实现三维激光真空加工，而且真空室内部结构设计合理，不存在机器人或联动装置等机械装置，真空空间利用率高；采用机械泵和分子泵相配合的抽真空方式，并且由数字化控制系统控制，可快速实现不同真空度的真空环境；采用水冷循环装置保证三维真空激光加工装置长时间稳定工作。本发明适用于真空激光焊接、真空激光增材制造和真空激光修复等多种真空激光加工。
一种三维真空激光加工装置采用进行方法

[实用新型]激光能量无衰减的激光传导真空管装置-CN202022276129.9有效
发明人：初雅杰;李振红 -专利权人：南京玄铁自动化科技有限公司
申请日： 2020-10-13 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种激光能量无衰减的激光传导真空管装置，包括真空管，所述真空管呈两端封闭的圆管形状，两端面与圆管的轴向垂直，所述真空管的两端面的外表面均镀有增透膜，所述真空管的一端设置有激光罩，所述激光罩与真空管通过磁性夹持件连接，所述磁性夹持件与真空管磁性吸附连接，所述激光罩固定在激光发射枪的枪头上，激光穿过真空管射出。本实用新型专利实现了激光传导真空管快速安装，采用磁性连接方式，真空管的顶端与激光发射枪的末端紧密连接，利用配套的磁性夹持件将真空管紧固在激光发射枪的枪头前端。
激光能量衰减传导真空管装置

[发明专利]一种真空激光填丝加工装置及真空激光填丝方法-CN201610256016.8有效
发明人：陶汪;姜梦;陈彦宾;王树良;郝雨;蒋振国;苏轩 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2016-04-22 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： B23K26/21 文献下载
摘要：一种真空激光填丝加工装置及真空激光填丝方法，本发明涉及一种激光加工装置及方法，本发明为了解决现有技术中还没有出现在焊接过程引入随焊自动合金化的模式下实现真空激光填丝焊接的装置以及利用该装置实现激光填丝的方法，它包括激光器、激光加工头、真空室组件、送丝组件、抽真空机构、水冷循环机构和数字化控制机构，真空室组件设置在抽真空机构上，激光加工头设置在真空室组件的上方，送丝组件安装在真空室组件内，激光器通过光纤线与激光加工头连接，水冷循环机构的水冷循环管安装在真空室组件的顶端上，激光器和水冷循环机构靠近抽真空机构设置，数字化控制机构分别通过电缆线与真空室组件、送丝组件和抽真空机构连接。本发明属真空激光加工范畴。
真空激光真空室抽真空机构填丝水冷循环机构激光加工头激光器送丝数字化控制加工装置激光加工装置焊接过程激光填丝水冷循环填丝焊接装置实现组件安装组件设置电缆线光纤线合金化引入加工

[发明专利]一种多功能激光加工设备-CN201811372901.8在审
发明人：陆鑫;宋海浩;郭敏;周瑞顶 -专利权人：南京中科煜宸激光技术有限公司
申请日： 2018-11-17 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多功能激光加工设备，包括真空室以及位于真空室内的激光熔覆头，所述真空室与一真空机组相连，所述移动机构包括X轴机体、X轴左右运动机构、Z轴机体、Z轴上下运动机构、Y轴机体及Y轴前后运动机构，所述激光熔覆头设置在Y轴前后运动机构上，在所述Y轴机体上还设置有激光扫描振镜头和测温头；当所述激光扫面振镜头执行激光真空钎焊时，所述真空机组为真空室提供并维持高真空环境；当所述激光熔覆头执行激光融化沉积成型时，所述真空机组先对真空室抽高真空，然后再向真空室内冲入惰性气体，提供惰性气体保护环境。本发明是一种既能在真空环境下激光加热钎焊又能在惰性气体环境下激光融化沉积成型的多功能激光加工设备。
真空室多功能激光激光熔覆头加工设备真空机组前后运动机构激光振镜头钎焊沉积成型融化室内惰性气体保护惰性气体环境上下运动机构左右运动机构高真空环境抽高真空惰性气体激光加热激光扫描激光真空移动机构真空环境测温头

[发明专利]一种高产率的真空激光处理装置及处理方法-CN201110056224.0有效
发明人：严利人;周卫;刘朋;窦维治;刘志弘 -专利权人：清华大学
申请日： 2011-03-09 - 公布日： 2011-08-31 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明公开了属于半导体制造设备和技术范围的一种高产率的真空激光处理装置及处理方法。所述装置由多个真空激光处理腔构成。并在多个真空的激光处理腔外，配置了环形轨道和取送片机械手，机械手在环形轨道上运行；激光光束位于多个真空激光处理腔之间，通过机械部件带动，可处于欲处理真空激光处理腔的上方，并且进行扫描移动，使激光光束在各真空激光处理腔顶面通过激光透明窗口轮转对真空激光处理腔内的晶圆片进行激光辐照处理，极大地提高了激光光束的利用效率；并且环形轨道上的机械手与其配合，不停地将晶圆片送入、取出，在各真空激光处理腔之间轮转工作，使整个装置处在充分并行的工作状态下，从而提高真空激光处理装置加工效率。
一种高产真空激光处理装置方法

[发明专利]一种大功率真空激光焊接装置-CN201510822928.2在审
发明人：陶汪;陈彦宾;姜梦;乔亮;刘申;王树良 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-11-23 - 公布日： 2016-01-20 - 主分类号： B23K26/24 文献下载
摘要：一种大功率真空激光焊接装置，它涉及一种激光焊接装置，具体涉及一种大功率真空激光焊接装置。本发明为了解决现有真空激光焊接装置激光透射窗口保护不足，激光焊接喷射的等离子体蒸汽影响激光传输的问题。本发明包括激光头、激光透射组件、真空室组件和工作台组件，工作台组件设置在真空室组件内，激光透射组件安装在真空室组件上，激光头发出的激光束通过激光透射组件透射到工作台组件上的工件上。本发明属于焊接领域。
一种大功率真空激光焊接装置

[发明专利]真空玻璃激光侧封装置-CN201210019504.9有效
发明人：缪宏;张瑞宏;孙敢;张剑峰;王洪亮;杨新春;王红军;赵映;朱河霖 -专利权人：扬州大学
申请日： 2012-01-21 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： C03B23/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空玻璃激光侧封装置，由真空玻璃放置炉、激光头、激光头操纵控制器、真空玻璃加热平台、制造真空环境装置，所述真空玻璃放置炉上设有窗口，真空玻璃加热平台设置在真空玻璃放置炉内，侧封部位放置于真空玻璃加热平台上，实现侧封部位加热，制造真空环境装置通过管道连接真空玻璃放置炉，制造真空玻璃放置炉内真空环境，激光头和激光头操纵控制器设置在所述真空玻璃放置炉的窗口外，激光头操纵控制器驱动连接控制激光头，通过程序实现激光头操纵控制器的运动，激光头通过放置炉的窗口从真空室外部进行侧封部位侧封。本发明克服了现有真空玻璃侧封存在的效率低、能耗高的问题，节省了能耗，降低了污染，减轻了对操作人员的危害。
真空玻璃激光装置

[实用新型]一种多功能激光加工设备-CN201821894289.6有效
发明人：陆鑫;宋海浩;郭敏;周瑞顶 -专利权人：南京中科煜宸激光技术有限公司
申请日： 2018-11-17 - 公布日： 2019-07-02 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多功能激光加工设备，包括真空室以及位于真空室内的激光熔覆头，所述真空室与一真空机组相连，所述移动机构包括X轴机体、X轴左右运动机构、Z轴机体、Z轴上下运动机构、Y轴机体及Y轴前后运动机构，所述激光熔覆头设置在Y轴前后运动机构上，在所述Y轴机体上还设置有激光扫描振镜头和测温头；当所述激光扫面振镜头执行激光真空钎焊时，所述真空机组为真空室提供并维持高真空环境；当所述激光熔覆头执行激光融化沉积成型时，所述真空机组先对真空室抽高真空，然后再向真空室内冲入惰性气体，提供惰性气体保护环境。本实用新型是一种既能在真空环境下激光加热钎焊又能在惰性气体环境下激光融化沉积成型的多功能激光加工设备。
真空室多功能激光激光熔覆头加工设备真空机组前后运动机构本实用新型激光振镜头钎焊沉积成型融化室内惰性气体保护惰性气体环境上下运动机构左右运动机构高真空环境抽高真空惰性气体激光加热激光扫描激光真空移动机构真空环境测温头

[发明专利]一种可真空原位监测激光工艺参数的激光脉冲沉积系统及方法-CN202111587268.6在审
发明人：陈骏;李天宇;霍传瑞;邓世清 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： C23C14/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种可真空原位监测激光工艺参数的激光脉冲沉积系统及方法，该系统包括脉冲激光光源、光路结构、真空原位激光能量监测模块和真空沉积模块；真空沉积模块包括真空腔室，其设置有入射筒，入射筒一端与真空腔室连通，另一端设置有入射窗；脉冲激光光源发出的激光经光路结构，通过入射窗和入射筒入射至真空腔室内；真空原位激光能量监测模块用于按照需求监测激光工艺参数。本发明通过真空线缆贯穿件和磁力传递杆控制真空腔室内能量监测探头原位监测真空内激光能量、频率、波长、平均功率等工艺参数，保证相同体系加工在不同时间和批次加工过程中激光保持相同的真空内能量，实现对外延薄膜的稳定可靠加工和工艺稳定性
一种真空原位监测激光工艺参数脉冲沉积系统方法

[发明专利]光刻设备以及光刻方法-CN201810973109.1有效
发明人：张俊霖;张汉龙;傅中其;刘柏村;陈立锐;郑博中 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-08-24 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本公开提供一种光刻设备，包括一激发腔、一标的发射器、一主激光发射器、以及一激光真空装置。标的发射器用以朝向激发腔内的一激发区域发射一标的。主激光发射器用以发射一主脉冲激光至激发区域内的标的。激光真空装置用以发射一真空激光至至激发腔内，且以于激发腔内形成一真空通道。激光真空装置发射真空激光之后，标的发射器发射标的通过真空通道进入激发区域。本公开提供的光刻设备可增加主激光发射器击中标的的精准度。
光刻设备以及方法

[发明专利]自动化真空玻璃激光封口装置-CN201510990202.X在审
发明人：顾黎明;徐峰 -专利权人：太仓耀华玻璃有限公司
申请日： 2015-12-28 - 公布日： 2016-04-20 - 主分类号： C03C27/06 文献下载
摘要：本发明所述的自动化真空玻璃激光封口装置，包括传送带及激光封口装置，其特征在于，所述激光封口装置包括真空玻璃放置炉、激光系统及真空泵；其中，所述激光系统设置有激光头、激光头操纵控制器、导轨、滑块及机械手，所述激光头通过激光头操纵控制器连接与滑块，通过激光头操纵控制器沿滑轨滑动，所述机械手位于激光头的上方或下方。本发明提供的自动化真空玻璃激光封口装置，通过机械手将传送带上的真空玻璃转移至真空玻璃放置炉内，本发明结构简单，生产制造容易，避免激光装置对操作人员的健康造成危害，且有利于真空玻璃的机械化生产。
自动化真空玻璃激光封口装置

[发明专利]一种激光触发多级真空开关-CN201711240735.1有效
发明人：廖敏夫;陈占清;段雄英;黄智慧;张豪;刘旭 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： H03K17/54 文献下载
摘要：本发明属于高压大功率脉冲功率开关技术领域，具体涉及一种激光触发多级真空开关。一种激光触发多级真空开关，包括激光触发真空间隙、多级自击穿真空间隙和触发系统；多级自击穿真空间隙通过紧固连接件固定在激光触发真空间隙的上端，均压环套装于上绝缘外壳外部；本发明采用激光触发真空间隙和多级自击穿真空间隙串联技术，二者相互配合实现激光触发多级真空开关在高压、高重频、大功率脉冲功率系统中的应用；采用多路激光同时轰击触发靶材，增大激光对靶材的作用面积，产生更多初始等离子体，进一步提升激光触发真空开关的导通性能，采用激光触发多级真空开关
一种激光触发多级真空开关

[实用新型]一种激光触发多级真空开关-CN201721638537.6有效
发明人：廖敏夫;陈占清;段雄英;黄智慧;张豪;刘旭 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： H03K17/54 文献下载
摘要：本实用新型属于高压大功率脉冲功率开关技术领域，具体涉及一种激光触发多级真空开关。一种激光触发多级真空开关，包括激光触发真空间隙、多级自击穿真空间隙和触发系统；多级自击穿真空间隙通过紧固连接件固定在激光触发真空间隙的上端，均压环套装于上绝缘外壳外部；本实用新型采用激光触发真空间隙和多级自击穿真空间隙串联技术，二者相互配合实现激光触发多级真空开关在高压、高重频、大功率脉冲功率系统中的应用；采用多路激光同时轰击触发靶材，增大激光对靶材的作用面积，产生更多初始等离子体，进一步提升激光触发真空开关的导通性能，采用激光触发多级真空开关
激光触发真空间隙真空开关击穿本实用新型激光触发真空开关等离子体激光脉冲功率开关大功率脉冲高压大功率紧固连接件上绝缘外壳触发系统导通性能复杂工艺功率系统均压环上端靶材触发对靶多路轰击串联外部配合应用维护

[发明专利]激光器的净化方法、系统及装置-CN202110838769.0在审
发明人：张寅虎;刘斌;黄春亮;王庆军;陈文斌 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-07-23 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01S3/02 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种激光器的净化方法、系统及装置。在本申请实施例中，通过第一真空泵进行抽气，向对应连接的第二真空泵提供预置压力；当预置压力低于阈值后，开启第二真空泵，通过第二真空泵向对应连接的激光器进行抽气，以使激光器达到对应的压力值，从而净化激光器。通过第一真空泵以及第二真空泵向激光器进行抽气，从而提高激光器内部真空度，将激光器内气体或水汽有效的从激光器内清除，达到净化激光器的目的。
激光器净化方法系统装置

[发明专利]一种钠硫电池真空激光焊接保护镜片防护装置-CN201410079396.3有效
发明人：潘红涛;王国林;韩金铎;刘宇;祝铭;徐中超 -专利权人：上海电气钠硫储能技术有限公司
申请日： 2014-03-06 - 公布日： 2014-05-28 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本发明公开了化学储能领域的一种钠硫电池真空激光焊接保护镜片防护装置，安装于真空箱内侧壁的一个安装槽内，该真空激光焊接保护镜片固定在所述安装槽的外端，该钠硫电池真空激光焊接保护镜片防护装置包括固定在所述安装槽内端的一块防激光反射保护挡板，所述防激光反射保护挡板的中心设有中心孔，所述防激光反射保护挡板与所述真空激光焊接保护镜片之间设有防护筒，所述防护筒的第一端部与所述防激光反射保护挡板的中心固定，所述防护筒的第二端部与所述真空激光焊接保护镜片分离其技术效果是：其能有效延长真空箱的内侧壁上的真空激光焊接保护镜片的使用寿命，从而提高真空激光焊接质量的一致性和可靠性。
一种电池真空激光焊接保护镜片防护装置

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