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[实用新型]一种低真空压力测试平台-CN202020277408.4有效
发明人：刘飞翔 -专利权人：湖南博云新材料股份有限公司
申请日： 2020-03-09 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种低真空压力测试平台，包括真空测量腔体、设于所述真空测量腔体的真空压力表和连接于所述真空测量腔体的测量管道，所述测量管道设有用以连接待检测真空动力源的第一连接口，还包括连通所述真空测量腔体、用以向所述真空测量腔体输送气体的气体流量检测装置。本实用新型所提供的低真空压力测试平台能够提高真空动力源性能检测的效率和便利性，同时不影响生产设备的正常运行。
一种真空压力测试平台

[发明专利]真空测量装置控制系统及半导体加工装置-CN200910078368.9无效
发明人：武小娟 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2009-02-26 - 公布日： 2010-09-01 - 主分类号： G05B23/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空测量装置控制系统及半导体加工装置，真空测量装置控制系统包括真空测量装置、真空获得装置，真空测量装置通过电源供电，真空测量装置与电源之间连接有监控复位电路；当真空测量装置向真空获得装置发出的开关信号失效时，监控复位电路对真空测量装置进行一次断电、上电的复位过程，对于真空规由于环境因素波动引起的瞬间故障，能够通过复位过程排除，避免造成分子泵的频繁起停，增强了机台的可靠性和在线故障诊断性能。
真空测量装置控制系统半导体加工

[实用新型]一种评估绝缘气体临界绝缘强度的汤森实验平台-CN202021516082.2有效
发明人：郭立平;龙云翔;邓显雄;沈震宇 -专利权人：武汉大学
申请日： 2020-07-28 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： G01R31/16 文献下载
摘要：一种评估绝缘气体临界绝缘强度的汤森实验平台，包括电磁屏蔽箱、放电腔本体、真空控制装置、微电流测量装置、极板调节装置、放电控制装置和多通道混合气路，真空控制装置包括真空泵、低真空测量计、高真空测量计，微电流测量装置包括第一电极、第二电极、电流计，放电控制装置包括高压电源，多通道混合气路包括气路一、气路二；低真空测量计、高真空测量计、第一电极、第二电极、气路一、气路二设置在放电腔本体侧壁上的安装孔内，第一电极与第二电极相对安装在安装孔中
一种评估绝缘气体临界强度实验平台

[实用新型]一种通过湿度测量确定被测物质含水量的装置-CN201920073254.4有效
发明人：徐立杰 -专利权人：徐立杰
申请日： 2019-01-16 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及含水量测量领域，一种通过湿度测量确定被测物质含水量的装置，其中第一加热源用于加热预真空室内气体，预真空室壳体上具有电动真空阀，所述真空泵的吸气口通过电动真空阀与预真空室连通；所述真空测量室包括用于测量真空测量室内部温度的第二温度传感器、用于测量真空测量室内气压的第二压力传感器和用于测量真空测量室内气体湿度的第二湿度传感器；所述预真空室和真空测量室通过连接管路内部连通，所述连接管路上设有可切换关闭或连通内部连通的电动蒸汽流量调节阀。本装置能通过湿度测量准确计算被测物质含水量。
物质含水量测量真空湿度测量预真空室电动真空阀真空测量室连接管路内部连通室内气体测量连通第二温度传感器第二压力传感器本实用新型含水量测量流量调节阀湿度传感器电动蒸汽室内气压加热源可切换室内部吸气口预真空真空泵壳体加热

[发明专利]一种通过湿度测量确定被测物质含水量的装置和方法-CN201910042349.4在审
发明人：徐立杰 -专利权人：徐立杰
申请日： 2019-01-16 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明涉及含水量测量领域，一种通过湿度测量确定被测物质含水量的装置，其中第一加热源用于加热预真空室内气体，预真空室壳体上具有电动真空阀，所述真空泵的吸气口通过电动真空阀与预真空室连通；所述真空测量室包括用于测量真空测量室内部温度的第二温度传感器、用于测量真空测量室内气压的第二压力传感器和用于测量真空测量室内气体湿度的第二湿度传感器；所述预真空室和真空测量室通过连接管路内部连通，所述连接管路上设有可切换关闭或连通内部连通的电动蒸汽流量调节阀。本装置能通过湿度测量准确计算被测物质含水量。同时本发明还提供一种通过湿度测量确定被测物质含水量的方法。
物质含水量湿度测量测量真空预真空室电动真空阀真空测量室连接管路内部连通室内气体测量连通第二温度传感器第二压力传感器含水量测量流量调节阀湿度传感器电动蒸汽室内气压加热源可切换室内部吸气口预真空真空泵壳体加热

[实用新型]一种水冷真空测量缓冲管-CN201720399245.5有效
发明人：武海军;时刚;刘统青 -专利权人：西安创联新能源设备有限公司
申请日： 2017-04-17 - 公布日： 2017-11-28 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种水冷真空测量缓冲管，包括安装在气路管道和真空测量规管之间的缓冲管本体，所述缓冲管本体包括螺旋缓冲管以及螺旋缓冲管延伸出的上延伸管路和下延伸管路，所述下延伸管路上设置有冷却管路；所述下延伸管路上设置有第一真空快卸卡箍，该第一真空快卸卡箍与气路管道连接；所述上延伸管路上设置有第二真空快卸卡箍，该第二真空快卸卡箍与真空测量规管连接。本实用新型真空测量缓冲管为螺旋结构，减缓了挥发物对真空测量规管的直冲和运动速度，冷却管路使挥发物凝结在螺旋缓冲管侧壁上，从而保护了真空测量规管。
一种水冷真空测量缓冲

[发明专利]真空溅射镀膜设备-CN201010168800.6无效
发明人：黄国兴 -专利权人：赫得纳米科技(昆山)有限公司
申请日： 2010-05-11 - 公布日： 2010-12-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空溅射镀膜设备，涉及真空溅射镀膜设备技术领域，特别是涉及对真空溅射镀膜设备中连接管的结构改造。包括真空测量装置、箱体、真空腔体，箱体内包裹有真空腔体，其特征在于：还包括连接管，所述连接管的一端通过箱体与真空腔体贯通连接，所述连接管的另一端向上弯曲与真空测量装置相连接。所述真空测量装置可以为真空计。本发明解决了现有技术真空溅射镀膜设备中，与真空测量装置连接的连接管为水平结构，靶材溅射时，中性的靶原子(或分子)容易通过连接管沉积于真空测量装置中的问题，本发明提供了一种新型连接管，在连接管上设计一个弯头结构、延长了管道，使飞溅的靶原子(或分子)不能直接沉积于真空测量装置中。
真空溅射镀膜设备

[实用新型]真空溅射镀膜设备-CN201020186334.X有效
发明人：黄国兴 -专利权人：赫得纳米科技(昆山)有限公司
申请日： 2010-05-11 - 公布日： 2011-01-12 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空溅射镀膜设备，涉及真空溅射镀膜设备技术领域，特别是涉及对真空溅射镀膜设备中连接管的结构改造。包括真空测量装置、箱体、真空腔体，箱体内包裹有真空腔体，其特征在于：还包括连接管，所述连接管的一端通过箱体与真空腔体贯通连接，所述连接管的另一端向上弯曲与真空测量装置相连接。所述真空测量装置可以为真空计。本实用新型解决了现有技术真空溅射镀膜设备中，与真空测量装置连接的连接管为水平结构，靶材溅射时，中性的靶原子(或分子)容易通过连接管沉积于真空测量装置中的问题，本实用新型提供了一种新型连接管，在连接管上设计一个弯头结构、延长了管道，使飞溅的靶原子(或分子)不能直接沉积于真空测量装置中。
真空溅射镀膜设备

[实用新型]一种晶圆测量机台-CN202122960745.0有效
发明人：彭超 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆测量机台，该测量机台包括清洁室、过渡室、抽真空机构和真空测量室。清洁室用于对晶圆进行清洁处理。过渡室与清洁室连接，用于接收清洁室内的晶圆，并对所述晶圆进行清洁处理。抽真空机构与过渡室连通，用于对过渡室进行抽真空处理。真空测量室与过渡室连接，用于接收过渡室内晶圆，并对晶圆进行检测。晶圆在清洁室的清洁作用下，其表面上的微粒会被清洁掉，并被过渡室接收，待过渡室处于真空状态后晶圆会被运送至真空测量室内进行测量。通过这样的设计，可以防止微粒随着晶圆进入真空测量室内进行污染，以保证真空测量室内的清洁以及晶圆测量工序的顺利进行。
一种测量机台

[实用新型]一种放射性气溶胶采样及测量装置-CN201621004643.4有效
发明人：刘涛;张斌;杨彬华;邓云跃;赵锋涛;曾国强 -专利权人：中广核久源（成都）科技有限公司
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：一种放射性气溶胶采样及测量装置，包括常规采样测量室及其下部腔体、直线运动机构、真空测量室及其下部腔体、滤纸走纸部件、采样泵和真空泵，常规采样测量室内安装有气体切割器、α探测器及测量系统，真空测量室内安装有α探测器及测量系统，常规采样测量室和真空测量室分别与直线运动机构固定连接，滤纸走纸部件由主动轮、从动轮、导向轮和计数轮组成，采样泵和真空泵分别安装在相对应的常规采样测量室下部腔体和真空测量室下部腔体的下方该装置向上移动可实现滤纸走纸，向下移动形成密闭环境实现气溶胶采集通路；真空测量室在真空泵的作用下产生真空环境，减小对α射线的衰减和拖尾、提高测量效率，降低本底干扰，并且能够给出精确的测量值。
一种放射性气溶胶采样测量装置

[实用新型]一种用于测试气体绝缘性的高压放电装置-CN202220251214.6有效
发明人：宋风宽;邱迎迎 -专利权人：郑州科探仪器设备有限公司
申请日： 2022-01-29 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G01R31/12 文献下载
摘要：该装置包括测试平台，测试平台上设有真空测试腔体，真空测试腔体上设有进气接头和出气接头，真空测试腔体上相对设置有第一电极杆和第二电极杆，第一电极杆的端部设有第一电极，第二电极杆的端部设有第二电极。真空测试腔体上设有供第一电极杆装入的第一装入口，第一装入口处设置有真空波纹管，真空波纹管通过套设于第一电极杆外的第一绝缘套密封链接。测试平台上设有调节第一电极杆朝向第二电极杆靠近或远离的调节结构。通过移动第一电极杆来调节第一电极和第二电极之间的距离微量，不仅可以测量绝缘气体的安全距离，而且适用于不同绝缘气体的测试，适用范围广，具有很好的发展前景。
一种用于测试气体绝缘性高压放电装置

[实用新型]一种便携式真空测量装置-CN202222623711.7有效
发明人：李姗;赵娇 -专利权人：北京超品科技有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便携式真空测量装置，包括真空测量装置本体，所述真空测量装置本体连接进气管，真空测量装置本体的下部套装有外壳，外壳对称设有两个，外壳位于进气管处设有套管，套管的外侧呈密封状，套管呈半圆柱状外壳的两侧外壁固定连接挡板，外壳内侧边缘处开设有凹槽，凹槽内固定连接上活动板，上活动板插装有贯穿的紧固旋钮，且上活动板转动连接紧固旋钮，不使用时，拧紧紧固旋钮，将上活动板位置固定，使得外壳和套管固定，利用外壳对真空测量装置本体起到保护的作用
一种便携式真空测量装置

[实用新型]一种保护罩及储运装备-CN202122345471.4有效
发明人：何远新;卢海;黄政贤;吕长乐;李永莉;熊珍艳;费锦华 -专利权人：中车长江车辆有限公司
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： B65D90/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种保护罩及储运装备，保护罩包括：半封闭罩体，套在真空测量装置的外部；筋板，安装在储运装备的罐体上，所述筋板位于所述半封闭罩体的内侧；所述半封闭罩体可拆卸地固定在所述筋板外；如此，如此，在实际使用中，筋板的一侧可安装在储运装备的罐体上，半封闭罩体可拆卸地固定在筋板外，相当于半封闭罩体可拆卸固定在真空测量装置外部；由于真空测量装置外部安装有半封闭罩体，因此可避免真空测量装置受到外界碰撞及海水的腐蚀，进而避免真空测量装置受到损伤，确保测量精度。
一种护罩储运装备

[实用新型]真空测量系统及其排水装置-CN202320244463.7有效
发明人：颜绍霖;杨光茂;钟传兵;颜江叡;王跃飞;王家沛 -专利权人：贵州西电电力股份有限公司黔北发电厂
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： F17D3/01 文献下载
摘要：提供了一种用于真空测量系统的排水装置，其包括：第一管道，用于连通真空测量系统和测量变送器；第二管道，用于连通所述第一管道和积水罐；第三管道，用于连通所述积水罐和收集池；第一阀门，安装在所述第一管道上，且位于所述真空测量系统和所述第二管道之间；第二阀门，安装在所述第一管道上，且位于所述第二管道和所述测量变送器之间；第三阀门，安装在所述第二管道上；第四阀门，安装在所述第三管道上。真空测量系统使用本实用新型的排水装置之后，真空测量系统不停运，不做安全措施，安全可靠，并且操作简单。
真空测量系统及其排水装置

[发明专利]一种离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置-CN201910469599.6有效
发明人：李娜;冯伟群;胡冬冬;程实然;陈兆超;侯永刚;王铖熠;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器有限公司
申请日： 2019-05-31 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，所述离子束刻蚀系统包括反应腔体和用于测量反应腔体的内部真空度的真空测量工具，所述反应腔体壁上设置有通气接口，所述真空测量工具连接在通气接口上；所述保护装置包括塞在通气接口内的金属颗粒吸附块本发明通过金属颗粒吸附块和卡环，阻隔了固体颗粒和离子束经通气接口进入真空测量工具；卡环上设置有若干通气孔，保证真空测量工具和反应腔体通气。
一种离子束刻蚀系统真空测量工具保护装置

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